【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及cvd鍍膜加熱板，特別是涉及一種快速拆裝的cvd鍍膜加熱板。
技術(shù)介紹
1、cvd(chemical?vapor?deposition，化學(xué)氣相沉積)，是一種化工技術(shù)，該技術(shù)主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)，在中溫或高溫條件下，在襯底表面上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)以生成薄膜的方法。傳統(tǒng)的cvd鍍膜加熱板在加工過程中，通常直接將加熱絲布設(shè)在兩塊鋁板之間，兩塊鋁板之間通過焊接密封，在加熱板升溫到400度時(shí)，鋁板會(huì)軟化、變形，從而使得平面度不良，對(duì)產(chǎn)線的正常運(yùn)行產(chǎn)生影響。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、基于此，有必要針對(duì)傳統(tǒng)的cvd鍍膜加熱板直接將加熱絲布設(shè)在兩塊鋁板之間，兩塊鋁板之間通過焊接密封，在加熱板升溫到400度時(shí)，鋁板會(huì)軟化、變形，從而使得平面度不良，對(duì)產(chǎn)線的正常運(yùn)行產(chǎn)生影響的問題，提供一種快速拆裝的cvd鍍膜加熱板。
2、本技術(shù)提供的一種快速拆裝的cvd鍍膜加熱板，包括：
3、底板，具有第一卡槽和肋條，所述肋條上具有第一通道；
4、蓋板，具有第二卡槽、第三卡槽和第二通道，所述第二通道與第一通道相互連通；
5、加熱絲，卡接在所述第一卡槽內(nèi)，且自由端具有連接頭；
6、其中，當(dāng)?shù)装迮c蓋板之間通過緊固件組裝時(shí)，底板與蓋板之間形成加熱腔，且肋條卡接在第三卡槽內(nèi)。
7、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述加熱絲包括第一異形部和第二異形部，所述第一異形部的終端與第二異形部的起始端相連，所述第一異形部和第二異形部分別位于底板中部
8、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一異形部包括第一凸起部和第一凹陷部，所述第一凹陷部位于相鄰第一凸起部之間，所述第二異形部包括第二凸起部和第二凹陷部，所述第二凹陷部位于相鄰第二凸起部之間，所述第一凸起部與第二凹陷部對(duì)應(yīng)，所述第一凹陷部與第二凸起部對(duì)應(yīng)。
9、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述肋條設(shè)置在第一凹陷部或第二凹陷部?jī)?nèi)。
10、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述底板的表面固定連接有限位框，所述限位框的高度小于肋條的高度。
11、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一通道延伸至限位框的外側(cè)。
12、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第二通道內(nèi)固定連接有調(diào)節(jié)片，所述調(diào)節(jié)片上開設(shè)有第一凹槽，所述蓋板的外壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有調(diào)節(jié)塞，所述調(diào)節(jié)塞上開設(shè)有第二凹槽，所述第二凹槽和第一凹槽均與第一通道相互連通，所述調(diào)節(jié)塞與調(diào)節(jié)片貼合。
13、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述緊固件為螺栓，所述底板和蓋板四周均開設(shè)有與螺栓過盈配合的螺紋孔。
14、上述快速拆裝的cvd鍍膜加熱板在組裝時(shí)，只需將加熱絲卡接在第一卡槽內(nèi)，然后將蓋板上的第三卡槽對(duì)準(zhǔn)肋條，使蓋板卡接在底板上，最后用緊固件將蓋板與底板固定連接，由于在使用時(shí)，該cvd鍍膜加熱板的溫度較高，為了減少cvd鍍膜加熱板在高溫條件下的變形，第二通道與第一通道相互連通，且底板與蓋板之間形成加熱腔，能夠保證蓋板與底板之間受熱均勻，同時(shí)，方便加熱腔內(nèi)的氣流流通，進(jìn)而減少高溫對(duì)蓋板和底板的損害。
15、當(dāng)加熱腔內(nèi)的溫度過高時(shí)，通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)塞，從而便于調(diào)節(jié)第二凹槽與第一凹槽之間的相對(duì)位置，當(dāng)?shù)诙疾叟c第一凹槽對(duì)準(zhǔn)時(shí)，加熱腔與外界連通，能夠迅速降低加熱腔內(nèi)的溫度，當(dāng)?shù)诙疾叟c第一凹槽錯(cuò)開時(shí)，加熱腔為封閉的空間，方便迅速提高加熱腔內(nèi)的溫度，從而便于根據(jù)需要調(diào)節(jié)加熱腔內(nèi)的溫度。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種快速拆裝的CVD鍍膜加熱板，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速拆裝的CVD鍍膜加熱板，其特征在于，所述加熱絲包括第一異形部和第二異形部，所述第一異形部的終端與第二異形部的起始端相連，所述第一異形部和第二異形部分別位于底板中部的兩側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的快速拆裝的CVD鍍膜加熱板，其特征在于，所述第一異形部包括第一凸起部和第一凹陷部，所述第一凹陷部位于相鄰第一凸起部之間，所述第二異形部包括第二凸起部和第二凹陷部，所述第二凹陷部位于相鄰第二凸起部之間，所述第一凸起部與第二凹陷部對(duì)應(yīng)，所述第一凹陷部與第二凸起部對(duì)應(yīng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的快速拆裝的CVD鍍膜加熱板，其特征在于，所述肋條設(shè)置在第一凹陷部或第二凹陷部?jī)?nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的快速拆裝的CVD鍍膜加熱板，其特征在于，所述底板的表面固定連接有限位框，所述限位框的高度小于肋條的高度。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的快速拆裝的CVD鍍膜加熱板，其特征在于，所述第一通道延伸至限位框的外側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的快速拆裝
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的快速拆裝的CVD鍍膜加熱板，其特征在于，所述緊固件為螺栓，所述底板和蓋板四周均開設(shè)有與螺栓過盈配合的螺紋孔。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種快速拆裝的cvd鍍膜加熱板，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速拆裝的cvd鍍膜加熱板，其特征在于，所述加熱絲包括第一異形部和第二異形部，所述第一異形部的終端與第二異形部的起始端相連，所述第一異形部和第二異形部分別位于底板中部的兩側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的快速拆裝的cvd鍍膜加熱板，其特征在于，所述第一異形部包括第一凸起部和第一凹陷部，所述第一凹陷部位于相鄰第一凸起部之間，所述第二異形部包括第二凸起部和第二凹陷部，所述第二凹陷部位于相鄰第二凸起部之間，所述第一凸起部與第二凹陷部對(duì)應(yīng)，所述第一凹陷部與第二凸起部對(duì)應(yīng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的快速拆裝的cvd鍍膜加熱板，其特征在于，所述肋條設(shè)置在第一凹陷部或第二凹陷...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：徐宏林，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：上海宏端精密機(jī)械有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：
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