【技術實現步驟摘要】
本申請涉及控制，尤其是涉及一種溫度控制方法、裝置及電子設備。
技術介紹
1、半導體溫控裝置作為半導體集成電路制造過程中的重要設備，在集成電路制造的刻蝕工藝中要求提供需要的溫度輸出用于控制刻蝕設備工藝腔的溫度。半導體溫控裝置在實際使用中通過制冷、加熱環節對溫度進行精確控制。刻蝕設備工藝腔在整個工藝制程中需要不同的溫度來滿足生產工藝，一般溫度在-20℃到90℃內周期性切換。這就需要半導體溫控裝置根據工藝需要切換不同的溫度，當工藝腔溫度到達目標值才能進行相應的工藝生產，在升降溫過程中就會出現等待時間，采用傳統的溫控裝置在高溫切換到低溫，或從低溫切換到高溫時等待時間較長，影響生產的效率。
技術實現思路
1、有鑒于此，本申請的目的在于提供一種溫度控制方法、裝置及電子設備，以解決現有溫控設備存在的升降溫等待時間較長，影響生產效率的問題。
2、本申請實施例提供了一種溫度控制方法，所述方法應用于溫度控制系統；所述系統包括制冷裝置和循環裝置；所述制冷裝置包括壓縮機、蓄熱器、蒸發器和冷卻設備；所述蒸發器中第一換熱通道的出口端連接所述壓縮機的入口端；所述壓縮機的出口端包括兩路，第一路連接所述蓄熱器中第一換熱通道的入口端，第二路與所述蓄熱器中第一換熱通道的出口端共同連接所述冷卻設備的入口端和所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述冷卻設備的出口端連接所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述蒸發器中第二換熱通道的出口端連接所述循環裝置的入口端，所述循環裝置的出口端安裝有三通閥，所述三通閥的第一通道連
3、采集所述蒸發器中第二換熱通道的入口端的第一循環溫度；
4、根據所述第一循環溫度，調節所述三通閥中所述第一通道的第一開度和所述第二通道的第二開度，以使所述循環裝置的出口端流出的循環液按照第一比例流經所述第一通道和所述蓄熱器中第二換熱通道，并與按照第二比例流經所述第二通道的循環液混合后流入所述蒸發器中第二換熱通道，以通過所述第一比例的循環液為所述蓄熱器積蓄制熱能量；其中，所述蓄熱器儲存的制熱能量用于根據升溫指令對循環液進行加熱；通過循環液對負載設備進行溫度控制。
5、進一步的，根據所述第一循環溫度，調節所述三通閥中所述第一通道的第一開度和所述第二通道的第二開度，包括：
6、當所述第一循環溫度大于預設溫度閾值時，增大所述第一通道的第一開度和/或減小所述第二通道的第二開度。
7、進一步的，所述方法還包括：
8、當確定所述蓄熱器不能再通過循環液積蓄制熱能量時，關閉所述第一通道，打開所述第二通道。
9、進一步的，通過以下方式確定所述蓄熱器不能再通過循環液積蓄制熱能量：
10、采集所述循環裝置的出口端的第二循環溫度和所述蓄熱器中第二換熱通道的出口端的第三循環溫度；
11、確定所述第二循環溫度與所述第三循環溫度之間的溫度差值；
12、當所述溫度差值小于預設閾值時，確定所述蓄熱器不能再通過循環液積蓄制熱能量。
13、進一步的，所述冷卻設備包括冷凝器和過冷儲液器；所述蒸發器中第一換熱通道的出口端連接所述壓縮機的入口端；所述壓縮機的出口端包括兩路，第一路經第一閥門連接所述蓄熱器中第一換熱通道的入口端；第二路經第二閥門與所述蓄熱器中第一換熱通道的出口端共同連接所述冷凝器中第二換熱通道的入口端，以及經第三閥門與所述蓄熱器中第一換熱通道的出口端共同連接所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述冷凝器中第二換熱通道的出口端分別連接所述過冷儲液器的入口端，經第五閥門連接所述過冷儲液器的外部冷卻管路的入口端，以及經第六閥門連接所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述過冷儲液器的出口端經第四閥門連接所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述外部冷卻管路的出口端連接所述壓縮機的入口端；所述方法還包括：
14、根據接收的所述升溫指令，關閉所述第一閥門、所述第四閥門、所述三通閥的第二通道和所述第六閥門，開啟所述第二閥門、所述第三閥門和所述三通閥的第一通道；
15、當確定所述循環液的溫度升高到滿足預設條件時，關閉所述三通閥的第一通道，打開所述三通閥的第二通道；其中，所述預設條件是指所述蓄熱器中第二換熱通道的出口端的第三循環溫度與所述循環裝置的出口端的第二循環溫度之間的溫度差值小于預設閾值。
16、進一步的，所述方法還包括：
17、根據接收的降溫指令，關閉所述第二閥門、所述第三閥門、所述三通閥的第一通道和所述第六閥門，開啟所述第一閥門、所述三通閥的第二通道和所述第四閥門。
18、進一步的，所述方法還包括：
19、在所述溫度控制系統啟動后，進入溫控準備階段并持續預定時長，以使所述蓄熱器儲存制熱能量，所述過冷儲液器對制冷劑進行過冷處理并儲存；
20、其中，在所述溫控準備階段，關閉所述第二閥門、所述第三閥門、所述三通閥的第一通道和所述第四閥門，開啟所述第一閥門和所述三通閥的第二通道；根據所述循環裝置的入口端的第四循環溫度調節所述第六閥門的開度。
21、進一步的，所述方法還包括：
22、采集所述壓縮機的入口端的第一制冷溫度和所述蒸發器中第一換熱通道的出口端的第一制冷壓力；
23、根據所述第一制冷溫度和所述第一制冷壓力，確定過熱度實際值和預設過熱度值之間的過熱度差值；
24、根據所述過熱度差值，調節所述第五閥門的開度。
25、本申請實施例還提供了一種溫度控制裝置，應用于溫度控制系統；所述系統包括制冷裝置和循環裝置；所述制冷裝置包括壓縮機、蓄熱器、蒸發器和冷卻設備；所述蒸發器中第一換熱通道的出口端連接所述壓縮機的入口端；所述壓縮機的出口端包括兩路，第一路連接所述蓄熱器中第一換熱通道的入口端，第二路與所述蓄熱器中第一換熱通道的出口端共同連接所述冷卻設備的入口端和所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述冷卻設備的出口端連接所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述蒸發器中第二換熱通道的出口端連接所述循環裝置的入口端，所述循環裝置的出口端安裝有三通閥，所述三通閥的第一通道連接所述蓄熱器中第二換熱通道的入口端，第二通道與所述蓄熱器中第二換熱通道的出口端共同連接所述蒸發器中第二換熱通道的入口端；所述裝置包括：
26、采集模塊，用于采集所述蒸發器中第二換熱通道的入口端的第一循環溫度；
27、調節模塊，用于根據所述第一循環溫度，調節所述三通閥中所述第一通道的第一開度和所述第二通道的第二開度，以使所述循環裝置的出口端流出的循環液按照第一比例流經所述第一通道和所述蓄熱器中第二換熱通道，并與按照第二比例流經所述第二通道的循環液混合后流入所述蒸發器中第二換熱通道，以通過所述第一比例的循環液為所述蓄熱器積蓄制熱能量；其中，所述蓄熱器儲存的蓄熱能量用于根據升溫指令對循環液進行加熱；通過循環液對負載設本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種溫度控制方法，其特征在于，所述方法應用于溫度控制系統；所述系統包括制冷裝置和循環裝置；所述制冷裝置包括壓縮機、蓄熱器、蒸發器和冷卻設備；所述蒸發器中第一換熱通道的出口端連接所述壓縮機的入口端；所述壓縮機的出口端包括兩路，第一路連接所述蓄熱器中第一換熱通道的入口端，第二路與所述蓄熱器中第一換熱通道的出口端共同連接所述冷卻設備的入口端和所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述冷卻設備的出口端連接所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述蒸發器中第二換熱通道的出口端連接所述循環裝置的入口端，所述循環裝置的出口端安裝有三通閥，所述三通閥的第一通道連接所述蓄熱器中第二換熱通道的入口端，第二通道與所述蓄熱器中第二換熱通道的出口端共同連接所述蒸發器中第二換熱通道的入口端；所述方法包括：
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，根據所述第一循環溫度，調節所述三通閥中所述第一通道的第一開度和所述第二通道的第二開度，包括：
3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
4.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，通過以下方式確定所述蓄熱器不
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述冷卻設備包括冷凝器和過冷儲液器；所述蒸發器中第一換熱通道的出口端連接所述壓縮機的入口端；所述壓縮機的出口端包括兩路，第一路經第一閥門連接所述蓄熱器中第一換熱通道的入口端；第二路經第二閥門與所述蓄熱器中第一換熱通道的出口端共同連接所述冷凝器中第二換熱通道的入口端，以及經第三閥門與所述蓄熱器中第一換熱通道的出口端共同連接所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述冷凝器中第二換熱通道的出口端分別連接所述過冷儲液器的入口端，經第五閥門連接所述過冷儲液器的外部冷卻管路的入口端，以及經第六閥門連接所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述過冷儲液器的出口端經第四閥門連接所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述外部冷卻管路的出口端連接所述壓縮機的入口端；所述方法還包括：
6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
7.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
8.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
9.一種溫度控制裝置，其特征在于，應用于溫度控制系統；所述系統包括制冷裝置和循環裝置；所述制冷裝置包括壓縮機、蓄熱器、蒸發器和冷卻設備；所述蒸發器中第一換熱通道的出口端連接所述壓縮機的入口端；所述壓縮機的出口端包括兩路，第一路連接所述蓄熱器中第一換熱通道的入口端，第二路與所述蓄熱器中第一換熱通道的出口端共同連接所述冷卻設備的入口端和所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述冷卻設備的出口端連接所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述蒸發器中第二換熱通道的出口端連接所述循環裝置的入口端，所述循環裝置的出口端安裝有三通閥，所述三通閥的第一通道連接所述蓄熱器中第二換熱通道的入口端，第二通道與所述蓄熱器中第二換熱通道的出口端共同連接所述蒸發器中第二換熱通道的入口端；所述裝置包括：
10.一種電子設備，其特征在于，包括：處理器、存儲器和總線，所述存儲器存儲有所述處理器可執行的機器可讀指令，當電子設備運行時，所述處理器與所述存儲器之間通過所述總線進行通信，所述機器可讀指令被所述處理器運行時執行如權利要求1至8任一所述的溫度控制方法的步驟。
...【技術特征摘要】
1.一種溫度控制方法，其特征在于，所述方法應用于溫度控制系統；所述系統包括制冷裝置和循環裝置；所述制冷裝置包括壓縮機、蓄熱器、蒸發器和冷卻設備；所述蒸發器中第一換熱通道的出口端連接所述壓縮機的入口端；所述壓縮機的出口端包括兩路，第一路連接所述蓄熱器中第一換熱通道的入口端，第二路與所述蓄熱器中第一換熱通道的出口端共同連接所述冷卻設備的入口端和所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述冷卻設備的出口端連接所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述蒸發器中第二換熱通道的出口端連接所述循環裝置的入口端，所述循環裝置的出口端安裝有三通閥，所述三通閥的第一通道連接所述蓄熱器中第二換熱通道的入口端，第二通道與所述蓄熱器中第二換熱通道的出口端共同連接所述蒸發器中第二換熱通道的入口端；所述方法包括：
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，根據所述第一循環溫度，調節所述三通閥中所述第一通道的第一開度和所述第二通道的第二開度，包括：
3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
4.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，通過以下方式確定所述蓄熱器不能再通過循環液積蓄制熱能量：
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述冷卻設備包括冷凝器和過冷儲液器；所述蒸發器中第一換熱通道的出口端連接所述壓縮機的入口端；所述壓縮機的出口端包括兩路，第一路經第一閥門連接所述蓄熱器中第一換熱通道的入口端；第二路經第二閥門與所述蓄熱器中第一換熱通道的出口端共同連接所述冷凝器中第二換熱通道的入口端，以及經第三閥門與所述蓄熱器中第一換熱通道的出口端共同連接所述蒸發器中第一換熱通道的入口端；所述冷凝器中第二換熱通...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張偉，
申請(專利權)人：北京京儀自動化裝備技術股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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