【技術實現步驟摘要】
本技術涉及晶圓清洗，具體為一種晶圓高效清洗烘干一體化設備。
技術介紹
1、晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。國內晶圓生產線以8英寸和12英寸為主，晶圓的主要加工方式為片加工和批加工，即同時加工1片或多片晶圓。隨著半導體特征尺寸越來越小，加工及測量設備越來越先進，使得晶圓加工出現了新的數據特點。同時，特征尺寸的減小，使得晶圓加工時，空氣中的顆粒數對晶圓加工后質量及可靠性的影響增大，而隨著潔凈的提高，顆粒數也出現了新的數據特點。
2、例如公告號為cn114653704b，中國授權專利名稱為（一種晶圓高效清洗設備），包括：安裝架，安裝架上端固定安裝有酸洗組件，單一的晶圓通過放置環形夾具內，然后通過傳送帶裝置依次經過酸洗、兩次水洗，最后再烘干的過程，實現快速、自動化清洗過程；電機帶動撥桿、環形圈連續轉動，通過間歇盤使分隔盤作間歇性的轉動，從而通過弧形逐一將夾模進行短暫時間的駐停，電機帶動凸輪轉動，使l形推桿帶動多軸毛刷上下移動，并且通過齒輪組聯動活塞軸轉動，從而帶動多軸毛刷連續轉動，繼而能實現對晶圓本體上表面進行清洗
3、但是，現有使用的晶圓高效清洗設備在進行使用的時候，會因清洗水滴滴落點不同，導致局部溫度不同帶來對物件損壞的問題；因此，不滿足現有的需求，對此我們提出了一種晶圓高效清洗烘干一體化設備。
技術實現思路
1、
2、為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：一種晶圓高效清洗烘干一體化設備，包括：清洗烘干設備主體，所述清洗烘干設備主體的上端面設置有儲存裝置，所述清洗烘干設備主體前端面的一側設置有翻轉門板，所述翻轉門板通過旋轉軸體與清洗烘干設備主體轉動連接，所述翻轉門板的前端面設置有把手桿；
3、還包括：
4、內腔體，其安裝在所述清洗烘干設備主體的內部，所述內腔體內部的一側設置有烘干加熱機構，所述內腔體內部的上方設置有移動機構，所述移動機構的內部設置有移動槽，所述移動機構的下端面設置有開槽，所述開槽的內部設置有連接件，且連接件設置有兩個，兩個所述連接件的一端均通過轉動滑輪與移動槽內部轉動連接，且轉動滑輪設置有兩個，兩個所述連接件的另一端分別設置有吹風機構和清洗噴頭，所述清洗噴頭與儲存裝置通過軟管連接，所述吹風機構的下端面設置有輸出孔。
5、優選的，所述烘干加熱機構內部的一側設置有加熱管，所述加熱管前端面的中間位置處設置有電機，所述電機外壁的一圈設置有扇葉。
6、優選的，所述內腔體內部的下方設置有放置盤，所述放置盤的下端面設置有連接桿，且連接桿設置有兩組。
7、優選的，所述放置盤內部的下端面上設置有預留孔，且預留孔設置有若干個，若干個所述預留孔均與放置盤一體式形成。
8、優選的，所述清洗烘干設備主體前端面的另一側設置有顯示屏，所述顯示屏的下側設置有操作按鍵，且操作按鍵設置有若干個。
9、優選的，所述清洗烘干設備主體的一側設置有檢修板，所述檢修板通過六角螺栓與清洗烘干設備主體螺紋連接，且六角螺栓設置有四個。
10、與現有技術相比，本技術的有益效果是：
11、本技術通過設置的儲存裝置、烘干加熱機構、吹風機構、清洗噴頭和移動機構，儲存裝置通過軟管將其清洗水輸送到清洗噴頭，再由清洗噴頭在移動槽上進行移動，從而全面的進行多方位的清洗，清洗完成后，開啟吹風機構，而吹風機構也可隨著轉動滑輪在移動槽進行移動，從而可將晶圓上的水珠進行均勻化吹散，同時開啟的烘干加熱機構可加強內部的烘干效果，有效的避免現有使用的晶圓高效清洗設備在進行使用的時候，會因清洗水滴滴落點不同，導致局部溫度不同帶來對物件損壞的問題。
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1.一種晶圓高效清洗烘干一體化設備，包括清洗烘干設備主體（100），所述清洗烘干設備主體（100）的上端面設置有儲存裝置（300），所述清洗烘干設備主體（100）前端面的一側設置有翻轉門板（103），所述翻轉門板（103）通過旋轉軸體（104）與清洗烘干設備主體（100）轉動連接，所述翻轉門板（103）的前端面設置有把手桿（105）；
2.根據權利要求1所述的一種晶圓高效清洗烘干一體化設備，其特征在于：所述烘干加熱機構（202）內部的一側設置有加熱管（20201），所述加熱管（20201）前端面的中間位置處設置有電機（20202），所述電機（20202）外壁的一圈設置有扇葉（20203）。
3.根據權利要求1所述的一種晶圓高效清洗烘干一體化設備，其特征在于：所述內腔體（200）內部的下方設置有放置盤（204），所述放置盤（204）的下端面設置有連接桿（203），且連接桿（203）設置有兩組。
4.根據權利要求3所述的一種晶圓高效清洗烘干一體化設備，其特征在于：所述放置盤（204）內部的下端面上設置有預留孔（20401），且預留孔（20401）設
5.根據權利要求1所述的一種晶圓高效清洗烘干一體化設備，其特征在于：所述清洗烘干設備主體（100）前端面的另一側設置有顯示屏（106），所述顯示屏（106）的下側設置有操作按鍵（107），且操作按鍵（107）設置有若干個。
6.根據權利要求1所述的一種晶圓高效清洗烘干一體化設備，其特征在于：所述清洗烘干設備主體（100）的一側設置有檢修板（101），所述檢修板（101）通過六角螺栓（102）與清洗烘干設備主體（100）螺紋連接，且六角螺栓（102）設置有四個。
...【技術特征摘要】
1.一種晶圓高效清洗烘干一體化設備，包括清洗烘干設備主體（100），所述清洗烘干設備主體（100）的上端面設置有儲存裝置（300），所述清洗烘干設備主體（100）前端面的一側設置有翻轉門板（103），所述翻轉門板（103）通過旋轉軸體（104）與清洗烘干設備主體（100）轉動連接，所述翻轉門板（103）的前端面設置有把手桿（105）；
2.根據權利要求1所述的一種晶圓高效清洗烘干一體化設備，其特征在于：所述烘干加熱機構（202）內部的一側設置有加熱管（20201），所述加熱管（20201）前端面的中間位置處設置有電機（20202），所述電機（20202）外壁的一圈設置有扇葉（20203）。
3.根據權利要求1所述的一種晶圓高效清洗烘干一體化設備，其特征在于：所述內腔體（200）內部的下方設置有放置盤（204），所述放置盤（204）的下端面設置有連...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王文和，葉曲波，
申請(專利權)人：思恩半導體科技蘇州有限公司，
類型：新型
國別省市：
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