【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體加工，具體涉及一種foup門的移動裝置。
技術(shù)介紹
1、在半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中，前開式晶圓傳送盒又稱foup，它是一種晶圓存儲容器，在鍍膜時需要打開foup門，拿取晶圓進行鍍膜，鍍膜完成后再放回foup中，因整個過程需要在設(shè)備內(nèi)部完成，這時就需要一個裝置完成所有的過程，因裝置在設(shè)備內(nèi)部，所以對裝置的大小有很高要求，還要有很嚴格的密封要求。
2、現(xiàn)有技術(shù)中裝置分為前、中、后三個部分，前端為foup接收口，裝置上有foup感應(yīng)式傳感器，放入foup后，上側(cè)夾緊氣缸開始固定，防止氣體泄漏。中間部分為上下底板，每一個底板上有一個控制foup裝置，兩個裝置同時作用可以縮短抓取時間，底板上安裝密封膠條，防止氣體泄漏。后端部分有打開foup門裝置，鑰匙對應(yīng)foup門鎖孔，氣缸控制鑰匙的轉(zhuǎn)動，打開foup門后，吸盤緊吸foup門，再豎向通過氣缸開始推動，將foup門向后拉動，使得foup門打開，上側(cè)安裝有第二氣缸，此氣缸推動整個開門裝置向后，側(cè)邊有第三氣缸，將開門裝置推離foup口，之后可以抓取foup內(nèi)的晶圓進行反應(yīng)。當前裝置中推動foup門向后拉動的氣缸大多是豎直移動的，從而導(dǎo)致整個裝置做的比較厚重，也就會導(dǎo)致設(shè)備空間利用率比較低，并且產(chǎn)生的噪音比較大，使得整個設(shè)備的使用限制性比較多，為此提出一種foup門的移動裝置。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本技術(shù)的目的在于：為解決裝置中推動foup門向后拉動的氣缸大多是豎直移動的，從而導(dǎo)致整個裝置做的比較厚重，也就會導(dǎo)致設(shè)備空間利用率比較
2、本技術(shù)為了實現(xiàn)上述目的具體采用以下技術(shù)方案：
3、一種foup門的移動裝置，包括底板，所述底板上設(shè)置有移動架，且移動架上設(shè)置有foup定位點，所述底板上設(shè)置有銜接箱，且銜接箱的一側(cè)開設(shè)有吸盤口，所述銜接箱內(nèi)位于吸盤口的一側(cè)設(shè)置有動力輸出機構(gòu)，且動力輸出機構(gòu)的一側(cè)設(shè)置有移動換向機構(gòu)，所述移動換向機構(gòu)上設(shè)置有控制吸盤，所述銜接箱內(nèi)位于移動換向機構(gòu)的下側(cè)設(shè)置有開鎖機構(gòu)。
4、優(yōu)選地，所述動力輸出機構(gòu)包括側(cè)向氣缸，所述側(cè)向氣缸的一側(cè)固定安裝在銜接箱上，且側(cè)向氣缸的一側(cè)固定安裝有銜接板。
5、優(yōu)選地，所述移動換向機構(gòu)包括l形支架板，所述l形支架板的一側(cè)固定安裝有銜接板上，且l形支架板上固定安裝有兩個前側(cè)轉(zhuǎn)軸，兩個所述前側(cè)轉(zhuǎn)軸上均轉(zhuǎn)動安裝有平行板，且兩個平行板的一端均轉(zhuǎn)動安裝有后側(cè)轉(zhuǎn)軸，所述后側(cè)轉(zhuǎn)軸的一端固定安裝有連接塊，且連接塊的一側(cè)與控制吸盤相連接。
6、優(yōu)選地，所述開鎖機構(gòu)包括推動氣缸，所述推動氣缸的一側(cè)固定安裝在銜接箱上，且推動氣缸的一側(cè)固定安裝有移動板，所述移動板的兩端側(cè)壁上均轉(zhuǎn)動安裝有連接桿，且連接桿的一端轉(zhuǎn)動安裝有鑰匙夾具，所述鑰匙夾具上設(shè)置有機械鑰匙。
7、優(yōu)選地，所述銜接箱的側(cè)壁上開設(shè)有兩個開鎖孔，兩個所述開鎖孔均與foup門鎖孔相對應(yīng)設(shè)置，所述鑰匙夾具上的機械鑰匙貫穿開鎖孔設(shè)置。
8、優(yōu)選地，所述移動架的側(cè)壁上固定安裝有第一回轉(zhuǎn)夾緊氣缸，所述底板上位于銜接箱的一側(cè)設(shè)置有第二回轉(zhuǎn)夾緊氣缸。
9、本技術(shù)的有益效果如下：
10、1、在本技術(shù)中，通過將側(cè)向氣缸在側(cè)向上進行安裝，然后利用側(cè)向氣缸推動銜接板和l形支架板進行移動，利用平行四邊型原理，通過l形支架板和平行板推動兩個連接塊進行前后移動，從而借助連接塊和控制吸盤帶動foup門移動開啟，這樣通過側(cè)向安裝氣缸可以減少十毫米高度，對于空間利用更為合理，從而減少設(shè)備整體的厚度，讓設(shè)備內(nèi)部可用空間更多。
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1.一種FOUP門的移動裝置，包括底板(1)，所述底板(1)上設(shè)置有移動架(3)，且移動架(3)上設(shè)置有FOUP定位點(6)，其特征在于，所述底板(1)上設(shè)置有銜接箱(7)，且銜接箱(7)的一側(cè)開設(shè)有吸盤口(4)，所述銜接箱(7)內(nèi)位于吸盤口(4)的一側(cè)設(shè)置有動力輸出機構(gòu)，且動力輸出機構(gòu)的一側(cè)設(shè)置有移動換向機構(gòu)，所述移動換向機構(gòu)上設(shè)置有控制吸盤，所述銜接箱(7)內(nèi)位于移動換向機構(gòu)的下側(cè)設(shè)置有開鎖機構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種FOUP門的移動裝置，其特征在于，所述動力輸出機構(gòu)包括側(cè)向氣缸(8)，所述側(cè)向氣缸(8)的一側(cè)固定安裝在銜接箱(7)上，且側(cè)向氣缸(8)的一側(cè)固定安裝有銜接板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種FOUP門的移動裝置，其特征在于，所述移動換向機構(gòu)包括L形支架板(9)，所述L形支架板(9)的一側(cè)固定安裝有銜接板上，且L形支架板(9)上固定安裝有兩個前側(cè)轉(zhuǎn)軸(10)，兩個所述前側(cè)轉(zhuǎn)軸(10)上均轉(zhuǎn)動安裝有平行板(12)，且兩個平行板(12)的一端均轉(zhuǎn)動安裝有后側(cè)轉(zhuǎn)軸(11)，所述后側(cè)轉(zhuǎn)軸(11)的一端固定安裝有連接塊(19)，且連接塊(19
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種FOUP門的移動裝置，其特征在于，所述開鎖機構(gòu)包括推動氣缸(13)，所述推動氣缸(13)的一側(cè)固定安裝在銜接箱(7)上，且推動氣缸(13)的一側(cè)固定安裝有移動板(14)，所述移動板(14)的兩端側(cè)壁上均轉(zhuǎn)動安裝有連接桿(15)，且連接桿(15)的一端轉(zhuǎn)動安裝有鑰匙夾具(16)，所述鑰匙夾具(16)上設(shè)置有機械鑰匙。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種FOUP門的移動裝置，其特征在于，所述銜接箱(7)的側(cè)壁上開設(shè)有兩個開鎖孔(5)，兩個所述開鎖孔(5)均與FOUP門鎖孔相對應(yīng)設(shè)置，所述鑰匙夾具(16)上的機械鑰匙貫穿開鎖孔(5)設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種FOUP門的移動裝置，其特征在于，所述移動架(3)的側(cè)壁上固定安裝有第一回轉(zhuǎn)夾緊氣缸(17)，所述底板(1)上位于銜接箱(7)的一側(cè)設(shè)置有第二回轉(zhuǎn)夾緊氣缸(18)。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種foup門的移動裝置，包括底板(1)，所述底板(1)上設(shè)置有移動架(3)，且移動架(3)上設(shè)置有foup定位點(6)，其特征在于，所述底板(1)上設(shè)置有銜接箱(7)，且銜接箱(7)的一側(cè)開設(shè)有吸盤口(4)，所述銜接箱(7)內(nèi)位于吸盤口(4)的一側(cè)設(shè)置有動力輸出機構(gòu)，且動力輸出機構(gòu)的一側(cè)設(shè)置有移動換向機構(gòu)，所述移動換向機構(gòu)上設(shè)置有控制吸盤，所述銜接箱(7)內(nèi)位于移動換向機構(gòu)的下側(cè)設(shè)置有開鎖機構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種foup門的移動裝置，其特征在于，所述動力輸出機構(gòu)包括側(cè)向氣缸(8)，所述側(cè)向氣缸(8)的一側(cè)固定安裝在銜接箱(7)上，且側(cè)向氣缸(8)的一側(cè)固定安裝有銜接板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種foup門的移動裝置，其特征在于，所述移動換向機構(gòu)包括l形支架板(9)，所述l形支架板(9)的一側(cè)固定安裝有銜接板上，且l形支架板(9)上固定安裝有兩個前側(cè)轉(zhuǎn)軸(10)，兩個所述前側(cè)轉(zhuǎn)軸(10)上均轉(zhuǎn)動安裝有平行板(12)，且兩個平行板(12)的一端均轉(zhuǎn)動安...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：張小強，李帥鵬，
申請(專利權(quán))人：東領(lǐng)科技裝備有限公司，
類型：新型
國別省市：
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