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    一種通過(guò)摩擦誘導(dǎo)滑動(dòng)界面重構(gòu)調(diào)控碳基薄膜摩擦系數(shù)的方法技術(shù)

    技術(shù)編號(hào):44237147 閱讀:6 留言:0更新日期:2025-02-11 13:38
    本發(fā)明專利技術(shù)提供了一種通過(guò)摩擦誘導(dǎo)滑動(dòng)界面重構(gòu)調(diào)控碳基薄膜摩擦系數(shù)的方法,屬于碳基薄膜材料技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明專利技術(shù)首先在預(yù)處理的基體表面沉積一層過(guò)渡族金屬中間層作為粘結(jié)層,以碳和過(guò)渡族金屬碳化物分別作為濺射靶材,通過(guò)調(diào)節(jié)第二濺射的條件,以獲得含不同尺寸的過(guò)渡族金屬碳化物納米晶的碳基薄膜,然后進(jìn)行摩擦處理,激發(fā)過(guò)渡族金屬碳化物納米晶進(jìn)行氧化反應(yīng)形成氧化產(chǎn)物,并同時(shí)驅(qū)動(dòng)所述氧化產(chǎn)物篩分遷移,自發(fā)構(gòu)筑過(guò)渡族金屬氧化物轉(zhuǎn)移膜,構(gòu)建得到具有低剪切力與弱黏附特性的滑動(dòng)界面,從而實(shí)現(xiàn)通過(guò)摩擦誘導(dǎo)滑動(dòng)界面重構(gòu)調(diào)控碳基薄膜摩擦系數(shù)。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)涉及調(diào)控碳基薄膜摩擦系數(shù),尤其涉及一種通過(guò)摩擦誘導(dǎo)滑動(dòng)界面重構(gòu)調(diào)控碳基薄膜摩擦系數(shù)的方法


    技術(shù)介紹

    1、隨著工業(yè)裝備的迅猛發(fā)展,機(jī)械零部件在極端工況下實(shí)現(xiàn)高效、長(zhǎng)壽命運(yùn)行的需求日益增長(zhǎng)。在這一背景下,具有卓越摩擦學(xué)性能的材料成為先進(jìn)材料科學(xué)的前沿研究重點(diǎn)。摩擦學(xué)性能不僅直接關(guān)系到機(jī)械系統(tǒng)的運(yùn)行效率和能量消耗,還極大影響零部件的使用壽命。因此,如何開(kāi)發(fā)兼具低摩擦、高耐磨性能的材料,成為學(xué)術(shù)界與工業(yè)界共同關(guān)注的課題。無(wú)氫碳基薄膜憑借其在摩擦與耐磨方面的優(yōu)異表現(xiàn),逐漸成為固體潤(rùn)滑材料領(lǐng)域的研究熱點(diǎn),尤其是在嚴(yán)苛條件下展現(xiàn)出的潛在應(yīng)用前景使其備受矚目。

    2、無(wú)氫碳基薄膜的摩擦學(xué)性能主要依賴于兩大機(jī)制的協(xié)同作用:“摩擦引發(fā)的滑動(dòng)界面石墨化”和“環(huán)境濕度影響下的懸掛碳鍵鈍化”。具體來(lái)說(shuō),就是在摩擦過(guò)程中,無(wú)氫碳基薄膜的無(wú)定形結(jié)構(gòu)受局部高溫和高壓的作用,逐漸轉(zhuǎn)變?yōu)橛行虻氖珜樱诨瑒?dòng)界面上形成一層低剪切力的潤(rùn)滑層,顯著降低摩擦系數(shù)。同時(shí),在潮濕環(huán)境中,碳基薄膜表面懸掛的活性碳鍵通過(guò)與環(huán)境中的水分發(fā)生鈍化反應(yīng),生成穩(wěn)定的低能表面,進(jìn)一步減少界面黏附效應(yīng),從而提升薄膜的耐磨性能。這些物理和化學(xué)變化協(xié)同作用,使無(wú)氫碳基薄膜表現(xiàn)出良好的摩擦學(xué)性能。

    3、然而,現(xiàn)有的無(wú)氫碳基薄膜在多變的工作環(huán)境下,摩擦導(dǎo)致薄膜與對(duì)偶材料之間形成的滑動(dòng)界面的強(qiáng)黏附使其摩擦系數(shù)波動(dòng)較大,極易受到外界因素如溫度、濕度及滑動(dòng)速度等的影響,導(dǎo)致摩擦學(xué)行為難以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定可控。在低濕度或高速滑動(dòng)的苛刻條件下,無(wú)氫碳基薄膜更易出現(xiàn)顯著磨損和使用壽命縮短等問(wèn)題,嚴(yán)重限制了其在嚴(yán)苛工作環(huán)境中的可靠應(yīng)用。現(xiàn)有的無(wú)氫碳基薄膜的摩擦學(xué)性能往往依賴于材料固有的化學(xué)成分與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),其摩擦學(xué)行為主要受到強(qiáng)黏附滑動(dòng)界面的主導(dǎo)。然而,這種滑動(dòng)界面的固有局限性,導(dǎo)致其摩擦系數(shù)難以顯著降低,限制了進(jìn)一步優(yōu)化摩擦性能的可能性。


    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

    1、本專利技術(shù)的目的在于提供一種通過(guò)摩擦誘導(dǎo)滑動(dòng)界面重構(gòu)調(diào)控碳基薄膜摩擦系數(shù)的方法,構(gòu)建出具有卓越自潤(rùn)滑性能的滑動(dòng)界面,賦予了所述碳基薄膜在低濕度條件下極佳的摩擦學(xué)性能,大幅降低了摩擦系數(shù),實(shí)現(xiàn)了碳基薄膜低摩擦的進(jìn)一步突破。

    2、為了實(shí)現(xiàn)上述專利技術(shù)目的,本專利技術(shù)提供以下技術(shù)方案:

    3、本專利技術(shù)提供了一種通過(guò)摩擦誘導(dǎo)滑動(dòng)界面重構(gòu)調(diào)控碳基薄膜摩擦系數(shù)的方法,其特征在于,包括以下步驟:

    4、(1)將基體進(jìn)行預(yù)處理,然后進(jìn)行第一濺射,在預(yù)處理的基體表面沉積一層過(guò)渡族金屬中間層;

    5、(2)以碳和過(guò)渡族金屬碳化物分別作為濺射靶材,在所述步驟(1)得到的過(guò)渡族金屬中間層表面進(jìn)行第二濺射,得到過(guò)渡族金屬碳化物增強(qiáng)碳基薄膜;

    6、(3)采用摩擦對(duì)偶材料球在所述步驟(2)得到的過(guò)渡族金屬碳化物增強(qiáng)碳基薄膜表面進(jìn)行摩擦處理,激發(fā)過(guò)渡族金屬碳化物納米晶進(jìn)行氧化反應(yīng)形成氧化產(chǎn)物,并同時(shí)驅(qū)動(dòng)所述氧化產(chǎn)物篩分遷移,自發(fā)構(gòu)筑過(guò)渡族金屬氧化物轉(zhuǎn)移膜,從而構(gòu)建具有低剪切力與弱黏附特性的滑動(dòng)界面,實(shí)現(xiàn)通過(guò)摩擦誘導(dǎo)滑動(dòng)界面重構(gòu)調(diào)控碳基薄膜摩擦系數(shù)。

    7、優(yōu)選地,所述步驟(1)中預(yù)處理包括:將所述基體依次進(jìn)行拋光、超聲脫脂處理和ar+離子清洗,得到預(yù)處理的基體。

    8、優(yōu)選地,所述步驟(1)中過(guò)渡族金屬中間層為cr或ti層;所述過(guò)渡族金屬中間層的厚度為180~240nm。

    9、優(yōu)選地,所述步驟(2)中過(guò)渡族金屬碳化物為碳化鎢、碳化鈦中的至少一種。

    10、優(yōu)選地,所述步驟(2)中第二濺射的條件為:利用非平衡磁控濺射技術(shù),壓力為2×10-3~5×10-3pa,基底脈沖偏壓為-50~-100v,頻率為200~350khz,氬氣壓力為0.1~0.6pa,過(guò)渡族金屬碳化物靶的功率為0~500w,碳靶的功率為1500~2500w。

    11、優(yōu)選地,所述步驟(2)中過(guò)渡族金屬碳化物增強(qiáng)碳基薄膜的厚度為2~3μm,所述過(guò)渡族金屬碳化物增強(qiáng)碳基薄膜中過(guò)渡族金屬碳化物納米晶的平均粒徑為1~10nm。

    12、優(yōu)選地,所述步驟(3)中摩擦對(duì)偶材料球?yàn)間cr15球或al2o3球;所述摩擦對(duì)偶材料球的粗糙度為0.05~0.2μm;所述摩擦對(duì)偶材料球的洛氏硬度為60~80。

    13、優(yōu)選地,所述步驟(3)中摩擦處理過(guò)程中,環(huán)境中氧氣分壓為20%~50%,環(huán)境的相對(duì)濕度為5%~50%;所述摩擦處理的摩擦系統(tǒng)溫度為20~35℃,所述。

    14、優(yōu)選地,所述步驟(3)中摩擦處理的載荷為10~15n。

    15、優(yōu)選地,所述步驟(3)中摩擦處理過(guò)程中,所述摩擦對(duì)偶材料球的滑動(dòng)頻率為1~7hz,所述摩擦對(duì)偶材料球的滑動(dòng)往復(fù)距離為3~7mm,所述摩擦處理的時(shí)間為30~60min。

    16、本專利技術(shù)提供了一種通過(guò)摩擦誘導(dǎo)滑動(dòng)界面重構(gòu)調(diào)控碳基薄膜摩擦系數(shù)的方法,首先在預(yù)處理的基體表面沉積一層過(guò)渡族金屬中間層作為粘結(jié)層,以碳和過(guò)渡族金屬碳化物分別作為濺射靶材,通過(guò)調(diào)節(jié)第二濺射的條件,以獲得含不同尺寸的過(guò)渡族金屬碳化物納米晶的碳基薄膜(即過(guò)渡族金屬碳化物增強(qiáng)碳基薄膜),然后進(jìn)行摩擦處理,通過(guò)摩擦誘導(dǎo)滑動(dòng)界面重構(gòu)以精確調(diào)控碳基薄膜摩擦學(xué)行為,并且通過(guò)控制外部因素(如氧氣分壓、溫度、濕度、載荷、滑動(dòng)頻率、摩擦對(duì)偶材料等)對(duì)摩擦系數(shù)的多重影響,并結(jié)合滑動(dòng)界面微觀結(jié)構(gòu)在摩擦過(guò)程中的演變規(guī)律,在摩擦處理過(guò)程中,激發(fā)過(guò)渡族金屬碳化物納米晶進(jìn)行氧化反應(yīng)形成氧化產(chǎn)物,并同時(shí)驅(qū)動(dòng)所述氧化產(chǎn)物篩分遷移,自發(fā)構(gòu)筑過(guò)渡族金屬氧化物轉(zhuǎn)移膜,最終在摩擦處理下,實(shí)現(xiàn)滑動(dòng)界面重構(gòu),構(gòu)建得到具有低剪切力與弱黏附特性的滑動(dòng)界面,從而實(shí)現(xiàn)碳基薄膜摩擦系數(shù)的自適應(yīng)調(diào)控。本專利技術(shù)提供的方法不僅顯著降低碳基薄膜的摩擦系數(shù),還將大幅提升碳基薄膜在極端工作條件下的耐久性與穩(wěn)定性;尤其在低濕度大氣環(huán)境下,在上述摩擦處理過(guò)程中所述碳基薄膜中的過(guò)渡族金屬碳化物納米晶顆粒受摩擦熱和應(yīng)力的誘導(dǎo),逐漸發(fā)生氧化反應(yīng),生成相應(yīng)的氧化產(chǎn)物(即氧化物),這些氧化物通過(guò)摩擦界面的選擇性遷移,逐步轉(zhuǎn)移至對(duì)偶表面上,形成連續(xù)且穩(wěn)定的所述轉(zhuǎn)移膜。所述轉(zhuǎn)移膜與薄膜表面石墨化層相互作用,構(gòu)建出具有卓越自潤(rùn)滑性能的滑動(dòng)界面。正是這種界面重構(gòu)機(jī)制,賦予了所述碳基薄膜在低濕度條件下極佳的摩擦學(xué)性能,大幅降低了摩擦系數(shù),增強(qiáng)了所述碳基薄膜的耐磨性與穩(wěn)定性。此外,本專利技術(shù)提供的方法為實(shí)現(xiàn)碳基薄膜的超低摩擦性能提供了全新的理論支撐與實(shí)踐基礎(chǔ)。

    本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

    1.一種通過(guò)摩擦誘導(dǎo)滑動(dòng)界面重構(gòu)調(diào)控碳基薄膜摩擦系數(shù)的方法,其特征在于,包括以下步驟:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(1)中預(yù)處理包括:將所述基體依次進(jìn)行拋光、超聲脫脂處理和Ar+離子清洗,得到預(yù)處理的基體。

    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(1)中過(guò)渡族金屬中間層為Cr或Ti層;所述過(guò)渡族金屬中間層的厚度為180~240nm。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(2)中過(guò)渡族金屬碳化物為碳化鎢、碳化鈦中的至少一種。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(2)中第二濺射的條件為:利用非平衡磁控濺射技術(shù),壓力為2×10-3~5×10-3Pa,基底脈沖偏壓為-50~-100V,頻率為200~350kHz,氬氣壓力為0.1~0.6Pa,過(guò)渡族金屬碳化物靶的功率為0~500W,碳靶的功率為1500~2500W。

    6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(2)中過(guò)渡族金屬碳化物增強(qiáng)碳基薄膜的厚度為2~3μm,所述過(guò)渡族金屬碳化物增強(qiáng)碳基薄膜中過(guò)渡族金屬碳化物納米晶的平均粒徑為1~10nm。

    7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(3)中摩擦對(duì)偶材料球?yàn)镚Cr15球或Al2O3球;所述摩擦對(duì)偶材料球的粗糙度為0.05~0.2μm;所述摩擦對(duì)偶材料球的洛氏硬度為60~80。

    8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(3)中摩擦處理過(guò)程中,環(huán)境中氧氣分壓為20%~50%,環(huán)境的相對(duì)濕度為5%~50%;所述摩擦處理的摩擦系統(tǒng)溫度為20~35℃,所述。

    9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(3)中摩擦處理的載荷為10~15N。

    10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(3)中摩擦處理過(guò)程中,所述摩擦對(duì)偶材料球的滑動(dòng)頻率為1~7Hz,所述摩擦對(duì)偶材料球的滑動(dòng)往復(fù)距離為3~7mm,所述摩擦處理的時(shí)間為30~60min。

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種通過(guò)摩擦誘導(dǎo)滑動(dòng)界面重構(gòu)調(diào)控碳基薄膜摩擦系數(shù)的方法,其特征在于,包括以下步驟:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(1)中預(yù)處理包括:將所述基體依次進(jìn)行拋光、超聲脫脂處理和ar+離子清洗,得到預(yù)處理的基體。

    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(1)中過(guò)渡族金屬中間層為cr或ti層;所述過(guò)渡族金屬中間層的厚度為180~240nm。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(2)中過(guò)渡族金屬碳化物為碳化鎢、碳化鈦中的至少一種。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟(2)中第二濺射的條件為:利用非平衡磁控濺射技術(shù),壓力為2×10-3~5×10-3pa,基底脈沖偏壓為-50~-100v,頻率為200~350khz,氬氣壓力為0.1~0.6pa,過(guò)渡族金屬碳化物靶的功率為0~500w,碳靶的功率為1500~2500w。

    6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:何東青潘翔翔成波翟海民張辛健梁瑞瑞毛鋒
    申請(qǐng)(專利權(quán))人:蘭州理工大學(xué)
    類型:發(fā)明
    國(guó)別省市:

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