【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及拋光墊用粘接材料領(lǐng)域，特別涉及一種拋光墊粘接固定用雙面膠帶及其制備方法。
技術(shù)介紹
1、cmp，即化學(xué)機(jī)械拋光，是一種通過化學(xué)和機(jī)械相結(jié)合的方式對硅片表面進(jìn)行精細(xì)研磨和拋光的技術(shù)，是半導(dǎo)體制造關(guān)鍵工藝。
2、cmp工藝過程涉及輔料包括：拋光墊，拋光基臺，拋光液等。拋光機(jī)臺常用材質(zhì)有sic，ptfe等，材質(zhì)的極性差異較大；拋光墊目前有硬墊和軟墊兩種，一般先使用硬墊用于圓晶粗拋，再使用軟墊進(jìn)行精拋，實(shí)現(xiàn)圓晶平坦化。拋光墊表面一般設(shè)計(jì)為規(guī)整的凹凸結(jié)構(gòu)，以達(dá)到拋光目的。凹凸結(jié)構(gòu)的存在，容易導(dǎo)致拋光墊在貼合拋光基臺時(shí)，存在貼合不平整，殘留空隙等問題，從而影響整體拋光質(zhì)量，甚至設(shè)備損壞的風(fēng)險(xiǎn)，另外針對拋光墊的使用時(shí)間具有特別嚴(yán)格的要求，需要定時(shí)進(jìn)行更換，否則也會帶來產(chǎn)品的質(zhì)量問題。
3、因此對于粘接拋光基臺與拋光墊之間的膠帶具有較高的性能要求，兼顧高低表面能材料的粘接，高效的貼合排氣性，優(yōu)異的耐溫、耐水性，同時(shí)整個(gè)拋光過程需要保持高粘接，耐剪切性能，最后需要易移除，且不殘膠的特性。
4、專利號cn114921204a制備了一種橡膠型壓敏膠粘帶，基材為聚酯薄膜，兩面差異化剝離力設(shè)計(jì)。此類設(shè)計(jì)的缺陷在于：橡膠型壓敏膠本身極性偏低，而基材為高極性聚酯材料，壓敏膠與基材之間的極性差異非常大，因此存在膠層與基材層分層風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)不具備排氣性能，貼合拋光基臺容易產(chǎn)生氣泡點(diǎn)，影響整體產(chǎn)品的質(zhì)量。
5、專利號cn104169384b制備了一種丙烯酸酯壓敏膠粘帶，未明確的說明整體膠帶結(jié)構(gòu)，易沒有體現(xiàn)
6、所以，現(xiàn)在有必要對現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行改進(jìn)，以提供更可靠的方案。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)所要解決的技術(shù)問題在于針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種拋光墊粘接固定用雙面膠帶及其制備方法。
2、為解決上述技術(shù)問題，本專利技術(shù)采用的技術(shù)方案是：本專利技術(shù)的第一方面，提供一種拋光墊粘接固定用雙面膠帶，包括依次層疊設(shè)置的第一離型層、第一壓敏膠粘層、基材層、第二壓敏膠粘層和第二離型層；
3、所述第一壓敏膠粘層通過涂布第一膠粘預(yù)涂液后經(jīng)固化得到，所述第一膠粘預(yù)涂液的制備原料包括按重量份計(jì)的以下組分：丙烯酸酯聚合物100份、增粘樹脂15-30份、固化劑0.25-1.5份。
4、優(yōu)選的是，所述丙烯酸酯聚合物由丙烯酸類軟單體、丙烯酸類硬單體、丙烯酸類功能單體采用溶液聚合方法制備得到，所述丙烯酸酯聚合物的dsc玻璃化溫度為-30～-50℃，重均分子量為450000-600000，分子量分布為5-15。
5、優(yōu)選的是，所述丙烯酸酯聚合物通過以下方法制備得到：
6、1)按重量份計(jì)，將丙烯酸丁酯40-60份、丙烯酸異辛酯30-50份、β-羧乙基丙烯酸酯1-4份、丙烯酸1.5-6份、丙烯酸-2-羥乙酯0.15-0.6份、醋酸乙烯2.5-9份混合均勻，得到混合單體，按照質(zhì)量比3:2分為第一部分單體和第二部分單體；
7、2)將第一部分單體投入至反應(yīng)釜中，加入占第一部分單體總質(zhì)量20％的甲苯和與甲苯等量的乙酸乙酯，通氮?dú)饧訜嶂?5-70℃，加入占第一部分單體總質(zhì)量0.1％的偶氮二異丁氰，反應(yīng)1-3h，升溫至75℃-80℃開始滴加剩余的第二部分單體，1-3h滴完；然后繼續(xù)反應(yīng)15-60min，加入占混合單體總質(zhì)量的0.2％的偶氮二異丁氰，78-82℃下繼續(xù)反應(yīng)1-4h，降溫出料，得到丙烯酸酯聚合物。
8、優(yōu)選的是，所述丙烯酸酯聚合物通過以下方法制備得到：
9、1)按重量份計(jì)，將丙烯酸丁酯50份、丙烯酸異辛酯40份、β-羧乙基丙烯酸酯2份、丙烯酸3份、丙烯酸-2-羥乙酯0.3份、醋酸乙烯4.7份混合均勻，得到混合單體，按照質(zhì)量比3:2分為第一部分單體和第二部分單體；
10、2)將第一部分單體投入至反應(yīng)釜中，加入占第一部分單體總質(zhì)量20％的甲苯和與甲苯等量的乙酸乙酯，通氮?dú)饧訜嶂?8℃，加入占第一部分單體總質(zhì)量0.1％的偶氮二異丁氰，反應(yīng)1.5h，升溫至78℃開始滴加剩余的第二部分單體，1.5h滴完；然后繼續(xù)反應(yīng)0.5h，加入占混合單體總質(zhì)量的0.2％的偶氮二異丁氰，78℃下繼續(xù)反應(yīng)2h，降溫至45℃以下出料，得到丙烯酸酯聚合物。
11、優(yōu)選的是，所述第二壓敏膠粘層通過涂布第二膠粘預(yù)涂液后經(jīng)固化得到，所述第二膠粘預(yù)涂液的制備原料包括按重量份計(jì)的以下組分：丙烯酸酯聚合物100份、固化劑0.3-1.5份。
12、優(yōu)選的是，第一離型層為平面離型層，第二離型層為網(wǎng)格離型層，網(wǎng)格形狀為正方形或者菱形中的任意一種；
13、網(wǎng)格離型層的網(wǎng)格形狀尺寸為550*550μm～2000*2000μm。
14、優(yōu)選的是，基材層為聚酯薄膜，薄面兩面的表面張力均大于44達(dá)因，厚度為12～50μm。
15、優(yōu)選的是，所述增粘樹脂為高軟化點(diǎn)增粘樹脂和低軟化點(diǎn)增粘樹脂的混合物，高軟化點(diǎn)增粘樹脂軟化點(diǎn)為100-150℃；低軟化點(diǎn)增粘樹脂的軟化點(diǎn)為70-100℃；
16、其中，高軟化點(diǎn)增粘樹脂為萜烯酚醛樹脂、松香樹脂、改性松香樹脂中的至少一種，低軟化點(diǎn)為松香樹脂、松香改性樹脂中的至少一種。
17、優(yōu)選的是，所述的固化劑為異氰酸酯類固化劑或者環(huán)氧類固化劑中的至少一種。
18、本專利技術(shù)的第二方面，提供一種如上所述的拋光墊粘接固定用雙面膠帶的制備方法，包括以下步驟：
19、s1、按重量份計(jì)，將丙烯酸酯聚合物100份、增粘樹脂15-30份混合攪拌20-30min，然后加入固化劑0.25-1.5份，攪拌20-30min，得到第一膠粘預(yù)涂液；
20、s2、將第一膠粘預(yù)涂液均勻涂布在第一離型層的離型面，60-110℃下烘干固化，形成第一壓敏膠粘層，將膠面貼合在基材層的表面，得到半成品；
21、s3、按重量份計(jì)，將丙烯酸酯聚合物100份、固化劑0.3-1.5份混合攪拌20-30min，得到第二膠粘預(yù)涂液；
22、s4、將第二膠粘預(yù)涂液均勻涂布在基材層的底面，60-110℃下烘干固化，形成第二壓敏膠粘層，在膠面上貼合第二離型層，收卷，熟化，得到所述拋光墊粘接固定用雙面膠帶。
23、本專利技術(shù)的有益效果是：
24、本專利技術(shù)通過獨(dú)特的丙烯酸酯聚合物分子結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、差異化配方設(shè)計(jì)、膠帶結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，得到了一種能夠很好的用于拋光墊粘接固定的雙面膠帶，高粘面(第一壓敏膠粘層)適用于不同軟硬程度的拋光墊，低粘面(第二壓敏膠粘層)能適用于不同極性的基臺材質(zhì)，同時(shí)與拋光基臺具備易移除，不殘膠的特性，為化學(xué)機(jī)械拋光制程提供有效保障，大大提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率和良率。本專利技術(shù)的雙面膠帶具備高效的貼合排氣性，優(yōu)異的耐溫、耐水性，同時(shí)整個(gè)拋光過程保持高粘接，耐剪切性能，易移除，且不殘膠的特性。
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1.一種拋光墊粘接固定用雙面膠帶，其特征在于，包括依次層疊設(shè)置的第一離型層、第一壓敏膠粘層、基材層、第二壓敏膠粘層和第二離型層；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光墊粘接固定用雙面膠帶，其特征在于，所述丙烯酸酯聚合物由丙烯酸類軟單體、丙烯酸類硬單體、丙烯酸類功能單體采用溶液聚合方法制備得到，所述丙烯酸酯聚合物的DSC玻璃化溫度為-30～-50℃，重均分子量為450000-600000，分子量分布為5-15。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拋光墊粘接固定用雙面膠帶，其特征在于，所述丙烯酸酯聚合物通過以下方法制備得到：
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光墊粘接固定用雙面膠帶，其特征在于，所述丙烯酸酯聚合物通過以下方法制備得到：
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光墊粘接固定用雙面膠帶，其特征在于，所述第二壓敏膠粘層通過涂布第二膠粘預(yù)涂液后經(jīng)固化得到，所述第二膠粘預(yù)涂液的制備原料包括按重量份計(jì)的以下組分：丙烯酸酯聚合物100份、固化劑0.3-1.5份。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光墊粘接固定用雙面膠帶，其特征在于，第一離型層為平面離型層，第二離型層為網(wǎng)
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光墊粘接固定用雙面膠帶，其特征在于，基材層為聚酯薄膜，薄面兩面的表面張力均大于44達(dá)因，厚度為12～50μm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光墊粘接固定用雙面膠帶，其特征在于，所述增粘樹脂為高軟化點(diǎn)增粘樹脂和低軟化點(diǎn)增粘樹脂的混合物，高軟化點(diǎn)增粘樹脂軟化點(diǎn)為100-150℃；低軟化點(diǎn)增粘樹脂的軟化點(diǎn)為70-100℃；
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光墊粘接固定用雙面膠帶，其特征在于，所述的固化劑為異氰酸酯類固化劑或者環(huán)氧類固化劑中的至少一種。
10.一種如權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)所述的拋光墊粘接固定用雙面膠帶的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種拋光墊粘接固定用雙面膠帶，其特征在于，包括依次層疊設(shè)置的第一離型層、第一壓敏膠粘層、基材層、第二壓敏膠粘層和第二離型層；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光墊粘接固定用雙面膠帶，其特征在于，所述丙烯酸酯聚合物由丙烯酸類軟單體、丙烯酸類硬單體、丙烯酸類功能單體采用溶液聚合方法制備得到，所述丙烯酸酯聚合物的dsc玻璃化溫度為-30～-50℃，重均分子量為450000-600000，分子量分布為5-15。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拋光墊粘接固定用雙面膠帶，其特征在于，所述丙烯酸酯聚合物通過以下方法制備得到：
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光墊粘接固定用雙面膠帶，其特征在于，所述丙烯酸酯聚合物通過以下方法制備得到：
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光墊粘接固定用雙面膠帶，其特征在于，所述第二壓敏膠粘層通過涂布第二膠粘預(yù)涂液后經(jīng)固化得到，所述第二膠粘預(yù)涂液的制備原料包括按重量份計(jì)的以下組分：...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：金闖，許齊行，嵇正宇，
申請(專利權(quán))人：江蘇斯迪克新材料科技股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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