【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體加工設備，尤其涉及一種用于預裝載腔室上的管道及預裝載設備。
技術介紹
1、預裝載腔室（load?lock?chamber，llc）模組用于連接設備前端模塊（equipmentfront?end?module，efem）和傳遞模塊（transfer?module，tm），llc模組的作用是將腔體內的環境在真空和大氣狀態下不停切換。
2、llc模組的腔體通過管路直接與真空泵連接，真空泵通過管路對腔體進行抽真空處理。llc模組在長時間工作下，其腔體內部會產生大量的污染顆粒，并且該污染顆粒會進入管路內并附著在管路的內壁上不容易清除，并且在腔體內進行抽吸處理時，還會使管路上的部分污染顆粒被氣流帶入至腔體內污染晶圓。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供一種用于預裝載腔室上的管道及預裝載設備，保證了預裝載腔室內部的清潔度，避免了晶圓被污染，提高了對晶圓處理的可靠性。
2、為實現上述目的，第一方面，本專利技術提供了一種用于預裝載腔室上的管道，包括：
3、管體，一端用于連接預裝載腔室，另一端用于連接真空泵；
4、阻擋件，嵌設于所述管體內，所述阻擋件具有第一端部、第二端部、氣體通道；所述第一端部和所述第二端部分別位于所述阻擋件的兩端，所述第一端部的直徑大于所述第二端部的直徑，且所述第一端部靠近所述預裝載腔室，所述第二端部靠近所述真空泵；所述氣體通道從所述第一端部至所述第二端部延伸并將所述管體的內部導通，且所述氣體通道的內徑從所
5、本專利技術提供的用于預裝載腔室上的管道的有益效果在于：通過在管體內設置阻擋件，由于阻擋件上的氣體通道從第一端部至第二端部延伸并將管體的內部導通，且氣體通道的內徑從所述第一端部至第二端部逐漸減小，所以當氣體從管體內回流至預裝載腔室內時，可以有效阻止管體內的污染顆粒回流，保證了預裝載腔室內部的清潔度，避免污染顆粒將預裝載腔室內的晶圓污染。
6、在一些實施例中，所述阻擋件的外壁與所述管體的內壁之間的夾角范圍在0-90°。其有益效果在于：通過將阻擋件的外壁與管體的內壁之間的夾角范圍在0-90°，保證氣體流通性的同時，可以有效阻止污染顆粒的回流。
7、在一些實施例中，所述管體包括若干個可拆卸的子管體，每個所述子管體內均可設有所述阻擋件。其有益效果在于：管體包括若干個可拆卸的子管體，所以管體的長度可根據需要適當調節，增加了管道的適用性。另外采用多個可拆卸的子管體拼接設置，便于對管體內部的清洗，降低了生產成本。
8、在一些實施例中，所述阻擋件與所述子管體可拆卸連接。其有益效果在于：每個子管體內均設置有阻擋件，以進一步提高對管體內污染顆粒的阻擋效果。另外，將阻擋件與子管體可拆卸設置，便于對管體內部和阻擋件的清洗。
9、在一些實施例中，所述第一端部的外壁沿其周向設有環形的嵌入部；
10、所述子管體的內壁設有插槽，所述插槽與所述嵌入部配合，以使所述阻擋件固定在所述子管體內。其有益效果在于：通過在第一端部的外壁沿其周向設有環形的嵌入部，以及在子管體的內壁設有環形的插槽，通過嵌入部與插槽的配合，實現了阻擋件與子管體的可拆卸連接。
11、在一些實施例中，所述子管體的一端依次設有第一連接部和抵接部，所述子管體的另一端的內側壁設有第二連接部；
12、當將兩個所述子管體連接時，其中一個所述子管體的第一連接部和另一個所述子管體的第二連接部配合連接，所述抵接部抵接所述嵌入部，以使所述嵌入部插入所述插槽內。其有益效果在于：子管體的一端依次設置有第一連接部和抵接部，所以抵接部位于第一連接部的前端，子管體的另一端的內側壁設有第二連接部，并且第一連接部和第二連接部的結構可以相互配合連接。所以當一個子管體的第一連接部和另一個子管體的第二連接部配合連接時，位于第一連接部前端的抵接部可對嵌入部的尾部進行抵接，以保證阻擋件設置在子管體內的穩定性，避免氣流回吸時，阻擋件從子管體內脫離，從而提高了阻擋件阻擋污染顆粒的可靠性。
13、在一些實施例中，所述第一連接部為設置在所述子管體的一端外側壁上的外螺紋結構，所述第二連接部為設置在所述子管體的另一端內側壁上的內螺紋結構，所述外螺紋結構與所述內螺紋結構可螺紋連接。其有益效果在于：第一連接部為設置在子管體的一端外側壁上的外螺紋結構，第二連接部為設置在子管體的另一端內側壁上的內螺紋結構，通過采用螺紋連接的方式實現多個子管體的相互固定連接。
14、在一些實施例中，用于預裝載腔室上的管道還包括嵌設于所述子管體內的過濾盤，所述過濾盤可拆卸的位于所述抵接部和所述嵌入部之間，用于過濾所述子管體內的污染顆粒。其有益效果在于：通過在子管體內設置過濾盤，進一步起到阻擋污染顆粒的作用，進一步保證預裝載腔室內的清洗度，避免晶圓的污染。并且過濾盤位于抵接部和嵌入部之間，通過抵接部與嵌入部的配合實現對過濾盤的固定，安裝方式簡單可靠，且方便對過濾盤的拆卸清洗，降低了管道內部結構的復雜度。
15、在一些實施例中，還包括密封圈；
16、所述子管體上開設有密封槽，所述密封槽靠近所述第一連接部設置，且所述密封槽與所述抵接補分別位于所述第一連接部的兩側；
17、所述密封圈設于所述密封槽內，用于密封相連接的兩個所述子管體。其有益效果在于：通過在子管體上靠近第一連接部的區域開設密封槽，并且配合密封圈，實現相鄰兩個子管體的密封連接，保證了多個子管體相互連接的密封性。
18、在第二方面，本專利技術實施例提供一種預裝載設備，包括預裝載腔室、真空泵和所述的管道；
19、所述管道的一端與所述預裝載腔室連接，所述管道的另一端與所述真空泵連接
20、本專利技術提供的預裝載設備的有益效果在于：用于連接預裝載腔室和真空泵的管道內設置有阻擋件，由于阻擋件上的氣體通道從第一端部至第二端部延伸并將管道的內部導通，且氣體通道的內徑從所述第一端部至第二端部逐漸減小，所以當氣體從管道內回流至預裝載腔室內時，可以有效阻止管道內的污染顆粒回流，保證了預裝載腔室內部的清潔度，避免污染顆粒將預裝載腔室內的晶圓污染。
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1.一種用于預裝載腔室上的管道，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的用于預裝載腔室上的管道，其特征在于，所述阻擋件的外壁與所述管體的內壁之間的夾角范圍在0-90°。
3.根據權利要求1所述的用于預裝載腔室上的管道，其特征在于，所述管體包括若干個可拆卸的子管體，每個所述子管體內均可設有所述阻擋件。
4.根據權利要求3所述的用于預裝載腔室上的管道，其特征在于，所述阻擋件與所述子管體可拆卸連接。
5.根據權利要求4所述的用于預裝載腔室上的管道，其特征在于，所述第一端部的外壁沿其周向設有環形的嵌入部；
6.根據權利要求5所述的用于預裝載腔室上的管道，其特征在于：所述子管體的一端依次設有第一連接部和抵接部，所述子管體的另一端的內側壁設有第二連接部；
7.根據權利要求6所述的用于預裝載腔室上的管道，其特征在于，所述第一連接部為設置在所述子管體的一端外側壁上的外螺紋結構，所述第二連接部為設置在所述子管體的另一端內側壁上的內螺紋結構，所述外螺紋結構與所述內螺紋結構可螺紋連接。
8.根據權利要求6或7所述的
9.根據權利要求6所述的用于預裝載腔室上的管道，其特征在于，還包括密封圈；
10.一種預裝載設備，其特征在于，包括預裝載腔室、真空泵和權利要求1至9任一項所述的管道；
...【技術特征摘要】
1.一種用于預裝載腔室上的管道，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的用于預裝載腔室上的管道，其特征在于，所述阻擋件的外壁與所述管體的內壁之間的夾角范圍在0-90°。
3.根據權利要求1所述的用于預裝載腔室上的管道，其特征在于，所述管體包括若干個可拆卸的子管體，每個所述子管體內均可設有所述阻擋件。
4.根據權利要求3所述的用于預裝載腔室上的管道，其特征在于，所述阻擋件與所述子管體可拆卸連接。
5.根據權利要求4所述的用于預裝載腔室上的管道，其特征在于，所述第一端部的外壁沿其周向設有環形的嵌入部；
6.根據權利要求5所述的用于預裝載腔室上的管道，其特征在于：所述子管體的一端依次設有第一連接部和抵接部...
【專利技術屬性】
技術研發人員：宋彬彬，
申請(專利權)人：上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司，
類型：發明
國別省市：
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