【技術實現步驟摘要】
本技術涉及芯片固晶，尤其涉及一種雙臂式取晶設備。
技術介紹
1、晶圓來料時包括圓形的晶環、緊繃在晶環上的薄膜、以及貼附在薄膜上的多個芯片。即，芯片的來料狀態如下：晶環上緊繃著一張薄膜，薄膜上貼附有許多芯片。進行固晶作業時，只需要將薄膜上的芯片逐個取出(取出芯片的過程叫做“脫膜取晶”)，然后放入到支架中即可。
2、本技術致力于研發一種取晶設備，用于實現脫膜取晶的機械化作業，進而提高生產效率。
3、本背景部分中公開的以上信息僅被包括用于增強本公開內容的背景的理解，且因此可包含不形成對于本領域普通技術人員而言在當前已經知曉的現有技術的信息。
技術實現思路
1、本技術的一個目的在于，提供一種雙臂式取晶設備，能有效實現脫膜取晶的機械化作業，進而提高生產效率。
2、為達以上目的，本技術提供一種雙臂式取晶設備，包括用于存儲晶環的晶環存儲機構、用于驅使晶環進出所述晶環存儲機構的進出搬運機構、用于將晶環上的芯片取出的脫膜機構、以及用于進行所述進出搬運機構和所述脫膜機構之間的晶環轉移作業的雙臂機械手；
3、其中，所述雙臂機械手包括兩個用于吸附晶環的吸盤組件、以及用于驅使兩所述吸盤組件繞豎直軸線轉動以實現換位的換位旋轉驅動機構。
4、可選的，所述雙臂機械手還包括：
5、機械手縱向直線驅動機構，所述機械手縱向直線驅動機構的驅動端與所述換位旋轉驅動機構連接，驅使所述換位旋轉驅動機構上下運動；
6、機械手橫向直線驅動機構，所述
7、可選的，所述吸盤組件包括連接至所述換位旋轉驅動機構的驅動端的吸盤支架和安裝于所述吸盤支架上的若干吸盤本體。
8、可選的，所述晶環存儲機構包括：
9、晶環料盒，所述晶環料盒設有若干自上往下間隔排布的儲環槽，每一所述儲環槽用于容納一個晶環。
10、可選的，所述晶環存儲機構還包括：
11、料盒直線驅動機構，所述料盒直線驅動機構的驅動端與所述晶環料盒連接，驅使所述晶環料盒上下運動。
12、可選的，所述進出搬運機構包括用于放置晶環的晶環載板、位于所述晶環載板上方的晶環夾爪、以及驅使所述晶環夾爪于所述晶環載板和所述晶環存儲機構之間往復運動的搬運直線驅動機構。
13、可選的，所述脫膜機構包括用于固定晶環的晶環固定平臺和用于將薄膜上的芯片向上頂出所述薄膜的頂針機構。
14、可選的，所述晶環固定平臺包括用于放置晶環的旋轉晶框和驅使所述旋轉晶框轉動的晶框旋轉驅動機構。
15、可選的，所述頂針機構包括頂針本體和驅使所述頂針本體上下運動的頂針直線驅動機構。
16、本技術的有益效果在于：提供一種雙臂式取晶設備，進出搬運機構將晶環存儲機構中的未取晶晶環取出后，雙臂機械手進行進出搬運機構和脫膜機構之間的晶環轉移作業后，脫膜機構即可將未取晶晶環上的芯片取出，由此完成脫膜取晶的機械化作業，進而提升生產效率。
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1.一種雙臂式取晶設備，其特征在于，包括用于存儲晶環的晶環存儲機構(1)、用于驅使晶環進出所述晶環存儲機構(1)的進出搬運機構(2)、用于將晶環上的芯片取出的脫膜機構(3)、以及用于進行所述進出搬運機構(2)和所述脫膜機構(3)之間的晶環轉移作業的雙臂機械手(4)；
2.根據權利要求1所述的雙臂式取晶設備，其特征在于，所述雙臂機械手(4)還包括：
3.根據權利要求1所述的雙臂式取晶設備，其特征在于，所述吸盤組件(401)包括連接至所述換位旋轉驅動機構(402)的驅動端的吸盤支架(4011)和安裝于所述吸盤支架(4011)上的若干吸盤本體(4012)。
4.根據權利要求1所述的雙臂式取晶設備，其特征在于，所述晶環存儲機構(1)包括：
5.根據權利要求4所述的雙臂式取晶設備，其特征在于，所述晶環存儲機構(1)還包括：
6.根據權利要求1所述的雙臂式取晶設備，其特征在于，所述進出搬運機構(2)包括用于放置晶環的晶環載板(201)、位于所述晶環載板(201)上方的晶環夾爪(202)、以及驅使所述晶環夾爪(202)于所述晶環載板(
7.根據權利要求1所述的雙臂式取晶設備，其特征在于，所述脫膜機構(3)包括用于固定晶環的晶環固定平臺(301)和用于將薄膜上的芯片向上頂出所述薄膜的頂針機構(302)。
8.根據權利要求7所述的雙臂式取晶設備，其特征在于，所述晶環固定平臺(301)包括用于放置晶環的旋轉晶框(3011)和驅使所述旋轉晶框(3011)轉動的晶框旋轉驅動機構(3012)。
9.根據權利要求7所述的雙臂式取晶設備，其特征在于，所述頂針機構(302)包括頂針本體(3021)和驅使所述頂針本體(3021)上下運動的頂針直線驅動機構(3022)。
...【技術特征摘要】
1.一種雙臂式取晶設備，其特征在于，包括用于存儲晶環的晶環存儲機構(1)、用于驅使晶環進出所述晶環存儲機構(1)的進出搬運機構(2)、用于將晶環上的芯片取出的脫膜機構(3)、以及用于進行所述進出搬運機構(2)和所述脫膜機構(3)之間的晶環轉移作業的雙臂機械手(4)；
2.根據權利要求1所述的雙臂式取晶設備，其特征在于，所述雙臂機械手(4)還包括：
3.根據權利要求1所述的雙臂式取晶設備，其特征在于，所述吸盤組件(401)包括連接至所述換位旋轉驅動機構(402)的驅動端的吸盤支架(4011)和安裝于所述吸盤支架(4011)上的若干吸盤本體(4012)。
4.根據權利要求1所述的雙臂式取晶設備，其特征在于，所述晶環存儲機構(1)包括：
5.根據權利要求4所述的雙臂式取晶設備，其特征在于，所述晶環存儲機構(1)還包括：
6.根據權利要求1所述的雙臂式...
【專利技術屬性】
技術研發人員：邱國良，宋先玖，王軍建，張曉偉，
申請(專利權)人：東莞市凱格精機股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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