【技術實現步驟摘要】
本技術屬于石墨舟領域,特別涉及一種石墨舟卡點。
技術介紹
1、pecvd(plasma?enhanced?chemical?vapor?deposition,等離子體增強化學氣相沉積法)其原理為借助微波或射頻等方法使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,由于等離子提化學性很強,很容易發生反應,因此在基片上沉積出所期待的薄膜。
2、pecvd在鍍膜過程中利用石墨為材料制備的石墨舟盛裝硅片,為了將硅片穩定的固定在石墨舟內,在石墨舟壁上設有用于固定硅片的石墨舟卡點。
3、隨著原始硅片切割技術的提高及太陽能電池制造設備技術的提高,原始硅片市場存在不同厚度規格的硅片出現,導致產線經常切換不同規格硅片進行生產,pecvd工序自動化在對石墨舟進行插取片時會對石墨舟卡點造成劃傷、損傷,導致石墨舟卡點槽內部會出現磕痕及凹槽,若切換不同厚度規格的硅片會導致自動化插曲片困難,石墨舟卡點使用壽命降低,碎片率增加,影響產能。
技術實現思路
1、針對上述問題,本技術公開一種石墨舟卡點,包括依次連接為一體結構的卡點帽、緩沖部位、卡接部和底座;
2、所述卡點帽與所述緩沖部位相接形成鈍角,所述緩沖部位與所述卡接部相接形成鈍角;
3、處于一側的所述卡點帽與所述緩沖部位、以及處于另一側的所述底座與處于中間的所述卡接部形成凹槽。
4、進一步的,所述緩沖部位為緩沖面,所述緩沖面分別于所述卡點帽、卡接部的表面連接。
5、進一步的,所述緩沖面與所
6、進一步的,所述的緩沖面為高強度、耐高溫且具有良好抗磨損能力的材料。
7、進一步的,所述緩沖面為陶瓷材料。
8、進一步的,所述的緩沖部位為弧面。
9、進一步的,將所述弧面與所述卡點帽的連接點、卡接部的連接點連接輔助線,所述輔助線與所述緩沖部位之間的夾角不小于150°。
10、進一步的,所述的緩沖部位包括第一緩沖面與第二緩沖面,所述第一緩沖面與第二緩沖面之間的夾角不小于175°。
11、進一步的,所述第一緩沖面與所述卡點帽連接,所述第二緩沖面與所述第一緩沖面、卡接部連接;
12、將所述第一緩沖面與所述卡點帽的連接點、所述第二緩沖面與所述卡接部的連接點連接輔助線,所述輔助線與所述緩沖面之間的夾角不小于150°。
13、進一步的,所述第一緩沖面為彈性材料,所述第二緩沖面為剛性材料。
14、本技術的有益效果在于,在所述的卡點帽與卡接座之間設置所述緩沖部位,可以顯著提高硅片處理的效率和安全性。這種緩沖部位的減少了硅片直接與卡點帽和卡接座接觸時的沖擊,從而減輕了這些部位的磨損,延長了石墨舟卡點的使用壽命,還降低了硅片在處理過程中破損的風險。
15、并且,緩沖部位的存在使得硅片在自動化設備插取時更加平穩地滑入卡接座,降低了硅片卡在卡點帽與卡接座的連接處的可能性。
16、本技術的其它特征和優點將在隨后的說明書中闡述,并且,部分地從說明書中變得顯而易見,或者通過實施本技術而了解。本技術的目的和其他優點可通過在說明書、權利要求書以及附圖中所指出的結構來實現和獲得。
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1.一種石墨舟卡點,其特征在于:包括依次連接為一體結構的卡點帽、緩沖部位、卡接部和底座;
2.根據權利要求1所述的石墨舟卡點,其特征在于:所述緩沖部位為緩沖面,所述緩沖面分別于所述卡點帽、卡接部的表面連接。
3.根據權利要求2所述的石墨舟卡點,其特征在于:所述緩沖面與所述卡點帽的表面直接的夾角不小于150°。
4.根據權利要求2所述的石墨舟卡點,其特征在于:所述的緩沖面為高強度、耐高溫且具有良好抗磨損能力的材料。
5.根據權利要求4所述的石墨舟卡點,其特征在于:所述緩沖面為陶瓷材料。
6.根據權利要求1所述的石墨舟卡點,其特征在于:所述的緩沖部位為弧面。
7.根據權利要求6所述的石墨舟卡點,其特征在于:將所述弧面與所述卡點帽的連接點、卡接部的連接點連接輔助線,所述輔助線與所述緩沖部位之間的夾角不小于150°。
8.根據權利要求1所述的石墨舟卡點,其特征在于:所述的緩沖部位包括第一緩沖面與第二緩沖面,所述第一緩沖面與第二緩沖面之間的夾角不小于175°。
9.根據權利要求8所述的石墨舟卡點
10.根據權利要求8所述的石墨舟卡點,其特征在于:所述第一緩沖面為彈性材料,所述第二緩沖面為剛性材料。
...【技術特征摘要】
1.一種石墨舟卡點,其特征在于:包括依次連接為一體結構的卡點帽、緩沖部位、卡接部和底座;
2.根據權利要求1所述的石墨舟卡點,其特征在于:所述緩沖部位為緩沖面,所述緩沖面分別于所述卡點帽、卡接部的表面連接。
3.根據權利要求2所述的石墨舟卡點,其特征在于:所述緩沖面與所述卡點帽的表面直接的夾角不小于150°。
4.根據權利要求2所述的石墨舟卡點,其特征在于:所述的緩沖面為高強度、耐高溫且具有良好抗磨損能力的材料。
5.根據權利要求4所述的石墨舟卡點,其特征在于:所述緩沖面為陶瓷材料。
6.根據權利要求1所述的石墨舟卡點,其特征在于:所...
【專利技術屬性】
技術研發人員:趙有棟,雷有林,趙慧林,
申請(專利權)人:青海黃河上游水電開發有限責任公司西寧太陽能電力分公司,
類型:新型
國別省市:
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