【技術實現步驟摘要】
本技術屬于晶圓輸送，具體涉及一種傳輸裝置。
技術介紹
1、晶圓制備成芯片前，首先要將晶圓在藥液中進行清洗，確保晶圓整潔，防止晶圓表面存在污染導致晶圓報廢；在晶圓清洗時，通過機械手將晶圓與承載晶圓所用的花籃分離，機械手對晶圓進行清洗，花籃則通過電梯和天車的配合進行按順序放置，當晶圓清洗完畢后，天車上的輸送組件將花籃搬運至另一端的電梯上，使其電梯與機械手配合回收晶圓；現有的天車結構通常是采用單一的運輸臂對花籃進行搬運運輸，其效率低下，不利于大批量的晶圓清洗作業；在晶圓清洗完畢后，現有天車會將擺放離另一側電梯最近的花籃搬運至另一個電梯，并根據花籃的擺放位置循環此程序，以實現晶圓與花籃相對應；若在晶圓的清洗過程中發現晶圓存在污染，為了避免污染的晶圓繼續清洗導致清洗液體的污染，機械手會跳過后面的清洗步驟直接將晶圓放回花籃內，若天車還繼續執行上述循環程序，會導致晶圓與花籃不對應的情況出現，污染的晶圓會繼續污染新的花籃，導致清洗效率降低，清洗質量下降；
2、因此，提供一種能夠降低花籃污染以及提高清洗質量的傳輸裝置是有必要的。
技術實現思路
1、本技術的目的是提供一種傳輸裝置。
2、為了解決上述技術問題，本技術提供了一種傳輸裝置，包括：輸送部，所述輸送部包括第一輸送組件、第二輸送組件和支撐導軌；所述輸送組件包括“l”形的輸送座、升降組件和夾持組件；所述輸送座滑動設置在所述支撐導軌上，所述升降組件設置在所述輸送座的橫板上，所述夾持組件包括夾持支撐板和一對夾持臂，所述夾持支撐板
3、進一步地，所述夾持組件還包括手指氣缸，所述手指氣缸設置在所述夾持支撐板的側壁，其中，所述夾持臂與所述手指氣缸的輸出端連接。
4、進一步地，所述夾持組件還包括夾持導軌和夾持滑塊，所述夾持導軌設置在所述夾持支撐板的側壁，所述夾持滑塊設置在所述夾持臂的側壁，其中，所述夾持滑塊滑動設置在所述夾持導軌上。
5、進一步地，所述升降組件包括升降氣缸和升降拖鏈，所述升降氣缸設置在所述輸送座的橫板上，所述升降拖鏈的一端與所述升降氣缸連接，所述升降拖鏈的另一端與所述夾持支撐板連接，其中，所述夾持支撐板與所述升降氣缸的活塞桿連接。
6、進一步地，所述輸送組件還包括輸送軌道和輸送電機，所述輸送軌道設置在所述支撐導軌的后側，所述輸送電機設置在所述輸送座的頂部，所述輸送電機的輸出軸上設置有齒輪，所述輸送軌道的側壁設置有齒條，其中，所述齒輪與所述齒條嚙合。
7、進一步地，所述輸送座上設置有輸送滑塊，其中，所述輸送滑塊滑動設置在所述支撐導軌上。
8、進一步地，所述夾持臂的頂部相向設置有一對夾持缺口，其中，所述夾持缺口與所述花籃適配。
9、進一步地，所述定位部包括若干組定位塊，每組定位塊周向設置在所述支撐座的頂部，所述定位塊的頂部相向設置有定位缺口，其中，所述定位缺口適于支撐所述花籃。
10、進一步地，所述輸送部還包括若干輸送連接板和若干輸送拖鏈，所述輸送連接板設置在所述輸送座上，其中，所述輸送拖鏈的活動端與所述輸送連接板連接。
11、本技術的有益效果：
12、1、通過設置輸送部，清洗晶圓時，上升電梯將花籃和晶圓輸送至第一輸送組件的工位上，機械手取走晶圓對晶圓進行清洗，夾持臂相向滑動夾持花籃，升降組件帶動夾持支撐板上升移動到適于運輸的位置，輸送座滑動帶動花籃移動到定位部上方合適的放置工位，升降組件驅動夾持組件下降，夾持臂松開花籃，將花籃放置于放置工位上，實現花籃的定位。當發現晶圓存在污染時，機械手停止清洗，將晶圓帶走，并直接將污染的晶圓搬運至下降電梯的位置，第二運輸組件將對應的花籃搬運至下降電梯的位置，使其原有的花籃與污染晶圓配合，防止其他的花籃受到污染，提高了清洗效率和質量。
13、2、通過設置定位部，支撐座能架設放置工位，放置工位與花籃的尺寸，能避免對花籃進行位置固定，防止花籃的移動，為后續晶圓放入花籃提供了良好的放置位置，提高了工作效率。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種傳輸裝置，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的一種傳輸裝置，其特征在于，
3.如權利要求2所述的一種傳輸裝置，其特征在于，
4.如權利要求3所述的一種傳輸裝置，其特征在于，
5.如權利要求4所述的一種傳輸裝置，其特征在于，
6.如權利要求5所述的一種傳輸裝置，其特征在于，
7.如權利要求6所述的一種傳輸裝置，其特征在于，
8.如權利要求7所述的一種傳輸裝置，其特征在于，
9.如權利要求8所述的一種傳輸裝置，其特征在于，
【技術特征摘要】
1.一種傳輸裝置，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的一種傳輸裝置，其特征在于，
3.如權利要求2所述的一種傳輸裝置，其特征在于，
4.如權利要求3所述的一種傳輸裝置，其特征在于，
5.如權利要求4所述的一種傳輸...
【專利技術屬性】
技術研發人員：左國軍，李雄朋，莊海云，
申請(專利權)人：創微微電子常州有限公司，
類型：新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。