【技術實現步驟摘要】
本技術涉及石英舟領域,特別是一種耐用的石英舟結構。
技術介紹
1、目前石英舟上設置的卡槽為矩形槽,硅片在插入時不容易定位,容易破壞硅片兩邊的結構,影響硅片的質量,適用范圍較窄。石英舟,作為一種廣泛應用于高溫環境、化學處理等領域的重要工具,其耐用性對于提高生產效率、降低維護成本具有關鍵意義。然而,傳統的石英舟結構在應對高溫、化學腐蝕等惡劣條件時,往往容易出現破損、老化等問題,影響了其使用壽命和性能穩定性。因此,有必要設計一種耐用的石英舟結構,以提高其適應惡劣環境的能力。
技術實現思路
1、基于上述
技術介紹
中存在的問題,本技術提出了一種耐用的石英舟結構,包括有基底,所述基底上陣列開有若干矩形槽,所述基底兩側向上彎曲成型有支桿,所述支桿上陣列開有若干定位槽,所述支桿端部、中部和后部分別連接有第一加強筋、第二加強筋和第三加強筋的一端,所述第一加強筋、第二加強筋和第三加強筋的另一端連接支撐桿,所述支撐桿向上延伸成型有擋板,所述擋板上端向內90°彎曲成型有凸緣,所述凸緣上陣列開有若干放置槽,所述第一加強筋、第二加強筋和第三加強筋的中部分別對應向下延伸成型有第一支撐柱、第二支撐柱和第三支撐柱,所述第一支撐柱、第二支撐柱和第三支撐柱下端連接有支座。
2、優選地,所述定位槽的槽深貫穿于所述支桿。
3、優選地,所述加強筋呈l形,所述加強筋的一端與所述支桿一側固定連接,另一端與所述支撐桿固定連接。
4、優選地,所述放置槽與所述定位槽的前端在同一平面上,所述放置槽與所述
5、優選地,所述相鄰的兩個放置槽的間距為2.25mm~2.35mm,所述相鄰的兩個定位槽槽的間距為2.25mm~2.35mm。
6、優選地,所述基底上的矩形槽開有4個。
7、優選地,所述支桿呈開口向下的圓弧形。
8、相對于現有技術而言,本技術的有益效果是:本技術設計的一種耐用的石英舟結構,主要解決了傳統石英舟在惡劣環境下易破損、老化等問題。本專利技術采用高強度、高純度的石英玻璃為基材,通過優化結構設計,增強了石英舟的抗熱應力和化學腐蝕能力。本專利技術具有顯著提高的耐用性、穩定的性能、降低的維護成本以及廣泛的應用場景,適用于各種需要高性能石英舟的領域。
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1.一種耐用的石英舟結構,其特征在于:包括有基底,所述基底上陣列開有若干矩形槽,所述基底兩側向上彎曲成型有支桿,所述支桿上陣列開有若干定位槽,所述支桿端部、中部和后部分別連接有第一加強筋、第二加強筋和第三加強筋的一端,所述第一加強筋、第二加強筋和第三加強筋的另一端連接支撐桿,所述支撐桿向上延伸成型有擋板,所述擋板上端向內90°彎曲成型有凸緣,所述凸緣上陣列開有若干放置槽,所述第一加強筋、第二加強筋和第三加強筋的中部分別對應向下延伸成型有第一支撐柱、第二支撐柱和第三支撐柱,所述第一支撐柱、第二支撐柱和第三支撐柱下端連接有支座。
2.根據權利要求1所述的一種耐用的石英舟結構,其特征在于:所述定位槽的槽深貫穿于所述支桿。
3.根據權利要求1所述的一種耐用的石英舟結構,其特征在于:所述加強筋呈L形,所述加強筋的一端與所述支桿一側固定連接,另一端與所述支撐桿固定連接。
4.根據權利要求1所述的一種耐用的石英舟結構,其特征在于:所述放置槽與所述定位槽的前端在同一平面上,所述放置槽與所述定位槽的后端在同一平面上。
5.根據權利要求1所述的一種耐用
6.根據權利要求1所述的一種耐用的石英舟結構,其特征在于:所述基底上的矩形槽開有4個。
7.根據權利要求1所述的一種耐用的石英舟結構,其特征在于:所述支桿呈開口向下的圓弧形。
...【技術特征摘要】
1.一種耐用的石英舟結構,其特征在于:包括有基底,所述基底上陣列開有若干矩形槽,所述基底兩側向上彎曲成型有支桿,所述支桿上陣列開有若干定位槽,所述支桿端部、中部和后部分別連接有第一加強筋、第二加強筋和第三加強筋的一端,所述第一加強筋、第二加強筋和第三加強筋的另一端連接支撐桿,所述支撐桿向上延伸成型有擋板,所述擋板上端向內90°彎曲成型有凸緣,所述凸緣上陣列開有若干放置槽,所述第一加強筋、第二加強筋和第三加強筋的中部分別對應向下延伸成型有第一支撐柱、第二支撐柱和第三支撐柱,所述第一支撐柱、第二支撐柱和第三支撐柱下端連接有支座。
2.根據權利要求1所述的一種耐用的石英舟結構,其特征在于:所述定位槽的槽深貫穿于所述支桿。
3.根據權利要求1所...
【專利技術屬性】
技術研發人員:盛文彬,錢麗祥,劉克勇,
申請(專利權)人:浙江奧博石英科技股份有限公司,
類型:新型
國別省市:
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