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    照明分光裝置制造方法及圖紙

    技術(shù)編號(hào):44257481 閱讀:7 留言:0更新日期:2025-02-14 22:03
    本發(fā)明專利技術(shù)提供了一種照明分光裝置,屬于成像領(lǐng)域,包括燈室,內(nèi)部設(shè)置有光源,底面為橢球反射鏡;中繼鏡組,其物面設(shè)置在橢球反射鏡的第二焦面處,用于對(duì)燈室的光線進(jìn)行分光,中繼鏡組包括匯聚準(zhǔn)直單元、分光元件、第一分光單元和第二分光單元,匯聚準(zhǔn)直單元和第一分光單元之間的間距不小于中繼鏡組的瞳面直徑,匯聚準(zhǔn)直單元對(duì)燈室的光線進(jìn)行匯聚,并準(zhǔn)直成平行光;分光元件設(shè)置在中繼鏡組的瞳面,將平行光分為與平行光平行的第一光束以及與平行光垂直的第二光束;第一分光單元對(duì)第一光束進(jìn)行處理,形成第一照明面;第二分光單元對(duì)第二光束進(jìn)行處理,形成第二照明面。通過(guò)本申請(qǐng)的處理方案,實(shí)現(xiàn)不同的分辨率成像檢測(cè),為不同工況提供不同NA照明。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)涉及成像領(lǐng)域,具體涉及一種照明分光裝置


    技術(shù)介紹

    1、在成像及檢測(cè)設(shè)備中,往往需要照明系統(tǒng)提供光源照明。隨著對(duì)成像系統(tǒng)像質(zhì)要求的提高及檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)能力的需求提升,對(duì)照明光源的要求也隨之提高,這些要求主要是對(duì)照明的照度、均勻性、出射na等需求。

    2、為了實(shí)現(xiàn)多光路照明,往往需要對(duì)光源進(jìn)行分光。傳統(tǒng)的分光方式是在像面進(jìn)行光源像點(diǎn)的切割分光,取用像面不同位置的光進(jìn)行照明。常用的方案是光纖分光和棱鏡分光。可分割后的子光源的同質(zhì)化嚴(yán)重,僅可以實(shí)現(xiàn)光能的無(wú)差別分光,不能實(shí)現(xiàn)有差別的光能分光。無(wú)差別具體是指的是分光后的各子光源的出射na都是一樣的,分光后的子光源的光學(xué)性能基本一樣,沒(méi)有差別。


    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

    1、因此,為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本專利技術(shù)提供一種可以實(shí)現(xiàn)不同的分辨率成像檢測(cè),為不同工況提供不同na照明的照明分光裝置。

    2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本專利技術(shù)提供一種照明分光裝置,包括:燈室,內(nèi)部設(shè)置有光源,底面為橢球反射鏡;中繼鏡組,其物面設(shè)置在所述橢球反射鏡的第二焦面處,用于對(duì)所述燈室的光線進(jìn)行分光,所述中繼鏡組包括匯聚準(zhǔn)直單元、分光元件、第一分光單元和第二分光單元,所述匯聚準(zhǔn)直單元和所述第一分光單元之間的間距不小于所述中繼鏡組的瞳面直徑,其中,所述匯聚準(zhǔn)直單元對(duì)所述燈室的光線進(jìn)行匯聚,并準(zhǔn)直成平行光;所述分光元件設(shè)置在所述中繼鏡組的瞳面,將所述平行光分為與所述平行光平行的第一光束以及與所述平行光垂直的第二光束;第一分光單元對(duì)所述第一光束進(jìn)行處理,形成第一照明面;第二分光單元對(duì)所述第二光束進(jìn)行處理,形成第二照明面。

    3、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述分光元件為半透半反射鏡,所述橢球反射鏡的短軸不小于所述中繼鏡組的瞳面直徑。

    4、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述半透半反射鏡的反射率取值范圍為45%~55%反射率。

    5、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述分光元件為反射鏡,所述橢球反射鏡的短軸小于所述中繼鏡組的瞳面直徑。

    6、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述橢球反射鏡的短軸與所述平行光的光軸垂直,所述橢球反射鏡的長(zhǎng)軸與所述光軸的夾角為30°~60°。

    7、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述橢球反射鏡的長(zhǎng)軸與短軸的比值范圍為1.2~1.8:1。

    8、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述反射鏡上設(shè)置有鍍膜區(qū)域,所述鍍膜區(qū)域的形狀是方形、圓形、橢圓形或多邊形。

    9、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述反射鏡上設(shè)置有多個(gè)鍍膜區(qū)域,每個(gè)鍍膜區(qū)域的透射率及反射率不同。

    10、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述照明分光裝置還包括設(shè)置在所述燈室和所述中繼鏡組之間的光瞳相位調(diào)制器。

    11、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述光瞳相位調(diào)制器為二極照明光瞳調(diào)試器或者四極照明光瞳調(diào)試器。

    12、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本專利技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)在于:通過(guò)在中繼鏡組的瞳面進(jìn)行分光,能夠?qū)崿F(xiàn)多光路、不同出射角度的光能分光,實(shí)現(xiàn)差別化的照明方案,同時(shí)能夠提供不同照明方案的照明質(zhì)量,滿足日益增加地子照明的照度、均勻性、出射na等差異化需求。

    本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

    1.一種照明分光裝置,其特征在于,包括:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明分光裝置,其特征在于,所述分光元件為半透半反射鏡,所述橢球反射鏡的短軸不小于所述中繼鏡組的瞳面直徑。

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的照明分光裝置,其特征在于,所述半透半反射鏡的反射率取值范圍為45%~55%反射率。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明分光裝置,其特征在于,所述分光元件為反射鏡,所述橢球反射鏡的短軸小于所述中繼鏡組的瞳面直徑。

    5.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的照明分光裝置,其特征在于,所述橢球反射鏡的短軸與所述平行光的光軸垂直,所述橢球反射鏡的長(zhǎng)軸與所述光軸的夾角為30°~60°。

    6.根據(jù)權(quán)利要求1~5任一項(xiàng)所述的照明分光裝置,其特征在于,所述橢球反射鏡的長(zhǎng)軸與短軸的比值范圍為1.2~1.8:1。

    7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明分光裝置,其特征在于,所述反射鏡上設(shè)置有鍍膜區(qū)域,所述鍍膜區(qū)域的形狀是方形、圓形、橢圓形或多邊形。

    8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明分光裝置,其特征在于,所述反射鏡上設(shè)置有多個(gè)鍍膜區(qū)域,每個(gè)鍍膜區(qū)域的透射率及反射率不同。

    9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明分光裝置,其特征在于,所述照明分光裝置還包括設(shè)置在所述燈室和所述中繼鏡組之間的光瞳相位調(diào)制器。

    10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的照明分光裝置,其特征在于,所述光瞳相位調(diào)制器為二極照明光瞳調(diào)試器或者四極照明光瞳調(diào)試器。

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種照明分光裝置,其特征在于,包括:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明分光裝置,其特征在于,所述分光元件為半透半反射鏡,所述橢球反射鏡的短軸不小于所述中繼鏡組的瞳面直徑。

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的照明分光裝置,其特征在于,所述半透半反射鏡的反射率取值范圍為45%~55%反射率。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明分光裝置,其特征在于,所述分光元件為反射鏡,所述橢球反射鏡的短軸小于所述中繼鏡組的瞳面直徑。

    5.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的照明分光裝置,其特征在于,所述橢球反射鏡的短軸與所述平行光的光軸垂直,所述橢球反射鏡的長(zhǎng)軸與所述光軸的夾角為30°~60°。

    6.根據(jù)權(quán)利要求1...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:請(qǐng)求不公布姓名請(qǐng)求不公布姓名請(qǐng)求不公布姓名
    申請(qǐng)(專利權(quán))人:智慧星空上海工程技術(shù)有限公司
    類型:發(fā)明
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