【技術實現步驟摘要】
本技術涉及真空鍍膜，特別涉及一種靜密封磁力耦合旋轉裝置。
技術介紹
1、鈣鈦礦太陽能電池的生產過程中，需要采用真空蒸鍍的方式進行鍍膜。在其蒸鍍的時候需要在基片上沉積不同的蒸鍍材料，且蒸鍍具有不同的范圍和厚度，所以需要在不同的蒸鍍步驟中采用不同的掩膜板遮蓋基片的蒸鍍面，從而使需要蒸鍍的范圍選擇性地露出。膜層均勻性以及基片取放的快捷性會影響其商業價值。
2、中國專利cn109837509a公開了一種基片樣品架和鍍膜設備，其鍍膜原理是通過樣品架單元承載基片和掩膜板，通過旋轉單元驅動樣品架單元繞自身內軸轉動，從而讓下方蒸發出的材料均勻鍍膜在基片未被掩膜板遮擋的下表面。因為蒸鍍時不能有雜質進入，所以鍍膜過程中樣品架單元位于真空室內，而旋轉單元位于真空室外，在旋轉單元與真空室連接位置需要進行密封。在該專利中使用的是磁流體軸承進行動密封，成本較高，而且真空密封的穩定性不夠高。
3、因此需要改進旋轉驅動方式來解決以上問題。
技術實現思路
1、本技術的主要目的在于提供一種靜密封磁力耦合旋轉裝置，能夠利用磁力聯軸器傳遞透磁套筒內外的轉矩，采用更可靠的靜密封方式，成本低。
2、本技術通過如下技術方案實現上述目的：一種靜密封磁力耦合旋轉裝置，包括樣品架、驅動所述樣品架旋轉的旋轉驅動組件和傳遞旋轉動力的傳動組件，所述傳動組件包括透磁套筒、軸向穿過所述透磁套筒內部的轉軸、位于所述透磁套筒外的從動齒輪以及將所述從動齒輪的轉矩傳遞給所述轉軸的磁力聯軸器，所述樣品架固定于所述轉軸
3、具體的，所述旋轉驅動組件包括電機、連接在所述電機主軸上的主動齒輪以及繞在所述主動齒輪與所述從動齒輪上的傳動皮帶。
4、進一步的，所述磁力聯軸器包括位于所述透磁套筒外的外磁轉子和位于所述透磁套筒內的內磁轉子，所述外磁轉子與所述從動齒輪連接，所述內磁轉子與所述轉軸連接，所述外磁轉子與所述內磁轉子的磁極均間隔分布。
5、進一步的，所述透磁套筒與所述電機均連接在固定支架上，所述樣品架位于真空室內，所述轉軸穿過波紋管，所述波紋管的兩端分別與所述固定支架的下壁以及所述真空室的外壁密封連接。
6、進一步的，所述固定支架上還設有旋轉接頭，所述轉軸內設有兩條冷卻水通道，所述冷卻水通道連通所述旋轉接頭和所述樣品架的內部。
7、本技術技術方案的有益效果是：
8、本裝置旋轉驅動組件通過磁力聯軸器帶動轉軸旋轉，透磁套筒不會阻擋磁力透過，所以磁力聯軸器能夠在內外不直接接觸的情況下完成轉矩的傳動。透磁套筒能夠將真空室的內部與大氣隔開，本身處于不動狀態，所以屬于靜密封方式，相比應用磁流體軸承成本較低，真空的穩定性更高。
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1.一種靜密封磁力耦合旋轉裝置，包括樣品架、驅動所述樣品架旋轉的旋轉驅動組件和傳遞旋轉動力的傳動組件，其特征在于：所述傳動組件包括透磁套筒、軸向穿過所述透磁套筒內部的轉軸、位于所述透磁套筒外的從動齒輪以及將所述從動齒輪的轉矩傳遞給所述轉軸的磁力聯軸器，所述樣品架固定于所述轉軸的下端，所述透磁套筒的上下端密封，所述旋轉驅動組件驅動所述從動齒輪轉動。
2.根據權利要求1所述的靜密封磁力耦合旋轉裝置，其特征在于：所述旋轉驅動組件包括電機、連接在所述電機主軸上的主動齒輪以及繞在所述主動齒輪與所述從動齒輪上的傳動皮帶。
3.根據權利要求1或2所述的靜密封磁力耦合旋轉裝置，其特征在于：所述磁力聯軸器包括位于所述透磁套筒外的外磁轉子和位于所述透磁套筒內的內磁轉子，所述外磁轉子與所述從動齒輪連接，所述內磁轉子與所述轉軸連接，所述外磁轉子與所述內磁轉子的磁極均間隔分布。
4.根據權利要求2所述的靜密封磁力耦合旋轉裝置，其特征在于：所述透磁套筒與所述電機均連接在固定支架上，所述樣品架位于真空室內，所述轉軸穿過波紋管，所述波紋管的兩端分別與所述固定支架的下壁以及所述
5.根據權利要求4所述的靜密封磁力耦合旋轉裝置，其特征在于：所述固定支架上還設有旋轉接頭，所述轉軸內設有兩條冷卻水通道，所述冷卻水通道連通所述旋轉接頭和所述樣品架的內部。
...【技術特征摘要】
1.一種靜密封磁力耦合旋轉裝置，包括樣品架、驅動所述樣品架旋轉的旋轉驅動組件和傳遞旋轉動力的傳動組件，其特征在于：所述傳動組件包括透磁套筒、軸向穿過所述透磁套筒內部的轉軸、位于所述透磁套筒外的從動齒輪以及將所述從動齒輪的轉矩傳遞給所述轉軸的磁力聯軸器，所述樣品架固定于所述轉軸的下端，所述透磁套筒的上下端密封，所述旋轉驅動組件驅動所述從動齒輪轉動。
2.根據權利要求1所述的靜密封磁力耦合旋轉裝置，其特征在于：所述旋轉驅動組件包括電機、連接在所述電機主軸上的主動齒輪以及繞在所述主動齒輪與所述從動齒輪上的傳動皮帶。
3.根據權利要求1或2所述的靜密封磁力耦合旋轉裝置，其特征在...
【專利技術屬性】
技術研發人員：胡宇航，王凡，楊本偉，李偉，周文彬，
申請(專利權)人：昆山晟成光電科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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