【技術實現步驟摘要】
本申請涉及晶圓傳輸的，具體而言，涉及一種晶圓黏片現象的識別系統及方法、電子設備和存儲介質。
技術介紹
1、在半導體制程中，晶圓傳輸是一個至關重要的環節。例如，在14nm以下的半導體制程中，往往依靠摩擦小柱的方式進行晶圓傳輸，而摩擦小柱長時間使用后，由于各方面的因素會導致晶圓發生黏片現象。因此需要在晶圓傳輸時進及時行黏片現象的檢測，以避免晶圓發生黏片現象而影響晶圓的生產。
2、例如，現有技術一般通過在固定位置檢測晶圓傳輸機械手上的晶圓振動頻率，以判斷晶圓傳輸機械手是否發生黏片現象。但本申請的專利技術人發現，該方式只能通過高精度的激光傳感器來實現，存在成本較高的問題；另一方面該方式只能在固定位置進行檢測，存在檢測角度受限的問題；以及，該方式只能識別晶圓傳輸機械手上的晶圓黏片現象，無法識別晶圓傳送盒(foup)內部的晶圓黏片現象。
3、又例如，現有技術還通過設置視覺傳感器來檢測晶圓振動頻率，以判斷晶圓傳輸機械手是否發生黏片現象。但專利技術人還發現，該方式需要較大的安裝空間；并且視覺傳感器的圖像處理的計算量過大，存在耗能較大的問題；以及，該方式同樣只能識別晶圓傳輸機械手上的晶圓黏片現象，無法識別foup內部的晶圓黏片現象。
4、基于此，如何提供一種即可以識別晶圓傳輸機械手上的晶圓黏片現象、也可以識別foup內部的晶圓黏片現象的識別方法，是亟需解決的技術問題。
技術實現思路
1、本申請提供了一種晶圓黏片現象的識別系統及方法、電子設備和存儲介質，用于提供一種
2、本申請的一方面提供了一種晶圓黏片現象的識別系統，包括：至少一個應變傳感模塊，設置在晶圓傳輸機械手上，根據采集指令采集晶圓傳輸機械手在目標位置處的應變采集信號；信號放大模塊，接收并放大應變采集信號；濾波模塊，對放大后的應變采集信號進行濾波處理，以得到應變采集數據；數據處理模塊，接收第一應變采集數據和第二應變采集數據；其中，第一應變采集數據是基于至少一個應變傳感模塊根據第一采集指令采集的晶圓傳輸機械手在第一目標位置處的應變采集信號所生成的，第二應變采集數據是基于至少一個應變傳感模塊根據第二采集指令采集的晶圓傳輸機械手在第二目標位置處的應變采集信號所生成的；數據處理模塊基于第一應變采集數據和第二應變采集數據生成應變變化量，在存在至少一個應變傳感模塊的應變變化量大于第一預設閾值的情況下，判斷發生晶圓黏片現象。
3、根據本申請的一些實施例，晶圓傳輸機械手為手叉式機械手，至少一個應變傳感模塊至少包括第一應變傳感模塊、第二應變傳感模塊和第三應變傳感模塊；第一應變傳感模塊呈水平方向設置在手叉式機械手的手叉部的底端，采集手叉式機械手水平方向的應變信號；第二應變傳感模塊呈豎直方向設置在手叉部的底端，且與第一應變傳感模塊設置有第一預設距離，采集手叉式機械手豎直方向的應變信號；第三應變傳感模塊呈豎直方向設置在手叉部的底端，且與第二應變傳感模塊設置有第二預設距離，采集手叉式機械手豎直方向的應變信號。
4、根據本申請的一些實施例，晶圓傳輸機械手為圓形式機械手，至少一個應變傳感模塊至少包括第一應變傳感模塊、第二應變傳感模塊和第三應變傳感模塊；第一應變傳感模塊呈水平方向設置在圓形式機械手的圓形部的頂端，采集圓形式機械手水平方向的應變信號；第二應變傳感模塊呈豎直方向設置在圓形式機械手的圓形部的一側端，采集圓形式機械手豎直方向的應變信號；第三應變傳感模塊呈豎直方向設置在圓形式機械手的圓形部的底端，采集圓形式機械手豎直方向的應變信號。
5、根據本申請的一些實施例，識別系統還包括：應變補償傳感模塊和溫度補償傳感模塊。應變補償傳感模塊設置在晶圓傳輸機械手上，用于測量因環境變化因素所造成的應變測量變化值；溫度補償傳感模塊用于測量因溫度變化因素所造成的溫度測量變化值；其中，應變測量變化值和溫度測量變化值用于應變采集數據的補償修正。
6、根據本申請的一些實施例，數據處理模塊接收至少一個應變傳感模塊的預設數量的應變變化量；在預設數量的應變變化量的平均應變變化量大于第二預設閾值的情況下，判斷出晶圓傳輸機械手存在晶圓黏片風險。
7、本申請的另一方面提供了一種晶圓黏片現象的識別方法，包括：根據采集指令采集晶圓傳輸機械手在目標位置處的應變采集信號；接收并放大應變采集信號；對放大后的應變采集信號進行濾波處理，以得到應變采集數據；接收第一應變采集數據和第二應變采集數據；其中，第一應變采集數據是基于至少一個應變傳感模塊根據第一采集指令采集的晶圓傳輸機械手在第一目標位置處的應變采集信號所生成的，第二應變采集數據是基于至少一個應變傳感模塊根據第二采集指令采集的晶圓傳輸機械手在第二目標位置處的應變采集信號所生成的；基于第一應變采集數據和第二應變采集數據生成應變變化量；在存在至少一個應變傳感模塊的應變變化量大于第一預設閾值的情況下，判斷發生晶圓黏片現象。
8、根據本申請的一些實施例，識別方法還包括：接收至少一個應變傳感模塊的預設數量的應變變化量；在預設數量的應變變化量的平均應變變化量大于第二預設閾值的情況下，判斷出晶圓傳輸機械手存在晶圓黏片風險。
9、根據本申請的又一方面，本申請還提供了一種電子設備。電子設備包括：一個或多個處理器；存儲裝置，用于存儲一個或多個程序，當一個或多個程序被一個或多個處理器執行時，使得一個或多個處理器，能夠實現如上文所述的識別方法。
10、根據本申請的又一方面，本申請還提供了一種非易失性計算機可讀存儲介質。該存儲介質上存儲有計算機程序，該計算機程序被處理器執行時能夠實現如上文所述的識別方法。
11、本申請通過在晶圓傳輸機械手上設置至少一個應變傳感模塊，可以獲取晶圓傳輸機械手在不同的目標位置處的應變采集信號；根據不同的目標位置處的應變采集信號可以得到應變變化量，根據應變變化量和第一預設閾值的比較，可以判斷出在晶圓傳輸機械手上或foup內部是否發生晶圓黏片現象的發生。
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1.一種晶圓黏片現象的識別系統，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的識別系統，其特征在于，所述晶圓傳輸機械手為手叉式機械手，所述至少一個應變傳感模塊至少包括第一應變傳感模塊、第二應變傳感模塊和第三應變傳感模塊；
3.根據權利要求1所述的識別系統，其特征在于，所述晶圓傳輸機械手為圓形式機械手，所述至少一個應變傳感模塊至少包括第一應變傳感模塊、第二應變傳感模塊和第三應變傳感模塊；
4.根據權利要求2或3所述的識別系統，其特征在于，所述識別系統還包括：
5.根據權利要求1所述的識別系統，其特征在于，所述數據處理模塊接收所述至少一個應變傳感模塊的預設數量的應變變化量；
6.一種晶圓黏片現象的識別方法，其特征在于，所述識別方法由權利要求1-5任一所述的識別系統所執行，所述識別方法包括：
7.根據權利要求6所述的識別方法，其特征在于，所述識別方法還包括：
8.一種電子設備，其特征在于，包括：
9.一種非易失性計算機可讀存儲介質，其上存儲有計算機程序，其特征在于，所述計算機程序被處理器執行時
...【技術特征摘要】
1.一種晶圓黏片現象的識別系統，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的識別系統，其特征在于，所述晶圓傳輸機械手為手叉式機械手，所述至少一個應變傳感模塊至少包括第一應變傳感模塊、第二應變傳感模塊和第三應變傳感模塊；
3.根據權利要求1所述的識別系統，其特征在于，所述晶圓傳輸機械手為圓形式機械手，所述至少一個應變傳感模塊至少包括第一應變傳感模塊、第二應變傳感模塊和第三應變傳感模塊；
4.根據權利要求2或3所述的識別系統，其特征在于，所述識別系統還包括：
5.根據權...
【專利技術屬性】
技術研發人員：楊森元，梁小影，呂維迪，鄧博雅，郝瀚，王曉尉，于佳豪，
申請(專利權)人：北京京儀自動化裝備技術股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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