【技術實現步驟摘要】
本申請涉及磨削,特別是涉及一種磨削頭架以及磨削機床。
技術介紹
1、在晶體材料加工時,需要將晶棒切割成多個類似圓柱狀的晶塊,而后對晶塊進行磨削,以形成后續生產所需的晶片。在進行晶塊磨削時,需要進行晶體晶向測定,而后根據晶向測定結果進行晶體磨削。晶體磨削包括從晶體的端面磨削和從晶體的圓周面磨削。
2、其中,端面磨削時需要暴露出晶體的端面,此時需要從晶體的圓周面夾持固定;圓周面磨削時需要暴露出晶體的圓周面,此時需要從晶體的兩端部夾持。這就導致在進行不同位置磨削時,需要更換不同的磨削設備,以滿足各自對應的夾持固定方式。然而,在更換不同設備時,需要重新進行定位、固定等,且不同的設備之間會存在裝配誤差,不僅導致加工精度容易受損,且加工效率較低。即使相關技術中為了消除不同設備之間的裝配誤差,而采用粘膠、蠟等固定方式,但是會增加粘蠟和脫蠟環境,進而增加加工時長。
技術實現思路
1、基于此,有必要提供一種磨削頭架,可以用于端面磨削固定以及圓周面磨削固定,無需更換不同的設備,提高了加工精度和加工效率。
2、一種磨削頭架,包括夾爪組件、驅動組件和支撐臺;所述驅動組件至少包括具有第一軸線的能夠繞所述第一軸線轉動動力軸,所述動力軸;所述支撐臺連接于所述動力軸的一端部,并能夠隨所述動力軸同步轉動;所述夾爪組件連接于所述驅動組件;所述夾爪組件包括至少兩個繞所述第一軸線間隔布置的夾持臂,各個所述夾持臂共同圍設成夾持空間;其中,每個所述夾持臂均能夠相對所述支撐臺做靠近運動或遠離運動,且各個
3、在其中一些實施例中,所述夾爪組件還包括夾爪座,所述夾爪座套設于所述動力軸,且所述動力軸能夠相對所述夾爪座繞所述第一軸線轉動;各個所述夾持臂均活動連接于所述夾爪座。
4、在其中一些實施例中,所述夾爪座包括第一座體和直線驅動件;所述第一座體套設于所述動力軸,所述直線驅動件的一端連接于所述第一座體,另一端連接于所述夾持臂,用于驅動各個所述夾持臂沿所述第一軸線方向移動
5、在其中一些實施例中,各個所述夾持臂分別對應設置一個所述直線驅動件;或者,所述夾爪座還包括第二座體,所述第二座體與所述第一座體沿所述第一軸線方向間隔布置,所述直線驅動件連接于所述第二座體和所述第一座體之間,各個所述夾持臂分別活動連接于所述第二座體。
6、在其中一些實施例中,所述支撐臺構造有多個間隔布置的吸附孔以及連通于各個所述吸附孔的氣道;所述磨削頭架還包括抽氣組件,所述抽氣組件與所述氣道連接。
7、在其中一些實施例中,所述抽氣組件包括氣動源和連接于所述氣動源的氣管,且所述氣管背離所述氣動源的一端連接所述氣道;所述動力軸構造有沿所述第一軸線方向貫穿的穿設孔,所述氣管穿設于所述穿設孔。
8、在其中一些實施例中,所述磨削頭架還包括安裝座和回轉臺;所述回轉臺具有第二軸線,所述安裝座安裝于所述回轉臺,并能夠在所述回轉臺的作用下繞所述第二軸線轉動,所述第二軸線與所述第一軸線呈角度設置;所述驅動組件和所述夾爪組件均連接于所述安裝座。
9、在其中一些實施例中,所述安裝座包括套筒部和支撐部;所述支撐部安裝于所述回轉臺,所述套筒部連接于所述支撐部沿所述第二軸線方向遠離所述回轉臺的一端,所述套筒部構造有筒腔,所述驅動組件安裝于所述筒腔內,且部分伸出所述筒腔以連接所述支撐臺,所述夾爪組件連接于所述套筒部朝向所述支撐臺的端部。
10、本申請還提供了一種磨削機床,包括磨削尾架和上述的磨削頭架,所述磨削尾架和所述磨削頭架間隔布置,所述磨削尾架包括壓頭,所述壓頭能夠與所述支撐臺配合以夾緊待加工件。
11、在其中一些實施例中,所述磨削機床還包括第一磨削機構和第二磨削機構,兩者均相對所述磨削頭架間隔布置;所述磨削頭架具有第一位置和第二位置;在所述第一位置,所述磨削頭架與所述磨削尾架沿所述第一軸線方向相對且間隔布置時,所述第一磨削機構用于磨削待加工件的外周面;在所述第二位置,所述磨削頭架與所述第二磨削機構沿所述第一軸線方向相對且間隔布置,所述第二磨削機構用于磨削待加工件的端面。
12、有益效果:
13、由于各個夾持臂能夠相對支撐臺沿第一軸線方向移動,可以調整支撐臺相對各個夾持臂的位置。當支撐臺位于夾持空間外時,支撐臺可以與磨削尾架配合,以夾緊在晶體厚度方向的兩端,此時晶體的圓周面即可暴露出,用于圓周面磨削;當支撐臺位于夾持空間內時,至少兩個夾持臂可以互相配合,以夾持在晶體的圓周面,促使晶體沿自身厚度方向的一端面暴露出,用于端面磨削。如此,在晶體磨削不同位置時無需更換不同的設備,只需要調整各個夾持臂相對支撐臺的位置即可。不僅減少了不同設備之間流轉的耗時以及流轉過程中涉及到的上下料等工序耗時,提高了晶體的加工效率;且,盡可能避免了不同設備裝夾時的裝配誤差,提高了加工精度。此外,相較于相關技術中采用蠟去固定晶體而言,本申請提供的磨削頭架脫離了粘蠟和脫蠟環節,極大的縮短了加工時長。
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1.一種磨削頭架,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的磨削頭架,其特征在于,所述夾爪組件(30)還包括夾爪座(32),所述夾爪座(32)套設于所述動力軸(11),且所述動力軸(11)能夠相對所述夾爪座(32)繞所述第一軸線轉動;各個所述夾持臂(31)均活動連接于所述夾爪座(32)。
3.根據權利要求2所述的磨削頭架,其特征在于,所述夾爪座(32)包括第一座體(321)和直線驅動件(322);
4.根據權利要求3所述的磨削頭架,其特征在于,各個所述夾持臂(31)分別對應設置一個所述直線驅動件(322);或者,
5.根據權利要求1所述的磨削頭架,其特征在于,所述支撐臺(20)構造有多個間隔布置的吸附孔(21)以及連通于各個所述吸附孔(21)的氣道;
6.根據權利要求5所述的磨削頭架,其特征在于,所述抽氣組件包括氣動源和連接于所述氣動源的氣管,且所述氣管背離所述氣動源的一端連接所述氣道;
7.根據權利要求1所述的磨削頭架,其特征在于,所述磨削頭架(100)還包括安裝座(50)和回轉臺(40);
9.一種磨削機床,其特征在于,包括:
10.根據權利要求9所述的磨削機床,其特征在于,所述磨削機床還包括第一磨削機構和第二磨削機構,兩者均相對所述磨削頭架(100)間隔布置;所述磨削頭架(100)具有第一位置和第二位置;
...【技術特征摘要】
1.一種磨削頭架,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的磨削頭架,其特征在于,所述夾爪組件(30)還包括夾爪座(32),所述夾爪座(32)套設于所述動力軸(11),且所述動力軸(11)能夠相對所述夾爪座(32)繞所述第一軸線轉動;各個所述夾持臂(31)均活動連接于所述夾爪座(32)。
3.根據權利要求2所述的磨削頭架,其特征在于,所述夾爪座(32)包括第一座體(321)和直線驅動件(322);
4.根據權利要求3所述的磨削頭架,其特征在于,各個所述夾持臂(31)分別對應設置一個所述直線驅動件(322);或者,
5.根據權利要求1所述的磨削頭架,其特征在于,所述支撐臺(20)構造有多個間隔布置的吸附孔(21)以...
【專利技術屬性】
技術研發人員:曹建偉,朱亮,王金榮,
申請(專利權)人:浙江晶盛機電股份有限公司,
類型:新型
國別省市:
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