【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及芯片生產(chǎn)，具體為一種運行平穩(wěn)的芯片光刻機。
技術(shù)介紹
1、光刻機是半導體工業(yè)中至關(guān)重要的設(shè)備，主要用于將掩模版上的芯片電路圖轉(zhuǎn)移到硅片上，而芯片光刻機，又稱為掩模對準曝光機、曝光系統(tǒng)或光刻系統(tǒng)，是制造芯片的核心裝備，芯片光刻機利用類似照片沖印的技術(shù)，通過光線的曝光將掩模版上的精細圖形印制到硅片上。它是集精密光學、精密儀器、高分子物理與化學、機械自動化軟件、高精度環(huán)境控制和流體力學等多種世界先進技術(shù)于一體的設(shè)備。
2、現(xiàn)有的運行平穩(wěn)的芯片光刻機還存在以下問題，現(xiàn)有裝置一般是固定裝置后再進行使用，參考公開號為cn216052600u的專利申請所公開的一種芯片生產(chǎn)用精準度高的光刻機，該技術(shù)通過固定座、工作臺、安裝槽、第一電機、第一螺紋桿、螺紋套、連接塊、加工臺、安裝架、頂板、光刻機本體、第二電機、傳動桿、外殼、第二螺紋桿、從動齒輪、主動齒輪、螺紋管和防護罩的配合使用，能夠有效的解決傳統(tǒng)光刻機在轉(zhuǎn)入下一工序的過程中，缺乏有效防護的功能，導致硅片容易出現(xiàn)污染現(xiàn)象的問題，該裝置能夠有效的對硅片進行防護，避免出現(xiàn)污染的現(xiàn)象，提高了使用效果。
3、然而如上技術(shù)是將裝置進行固定后再使用，而現(xiàn)有裝置不便于進行移動，制造商需要根據(jù)不同的產(chǎn)品需求和訂單變化，來靈活地調(diào)整生產(chǎn)線布局和設(shè)備配置，靈活性一般，不便于使用。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本技術(shù)提供了一種運行平穩(wěn)的芯片光刻機，解決了現(xiàn)有的運行平穩(wěn)的芯片光刻機不便于進行移動，靈活性一般，不便于使用的問題。p>
2、為實現(xiàn)以上目的，本技術(shù)通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)：一種運行平穩(wěn)的芯片光刻機，包括底板，所述底板的外側(cè)設(shè)置有穩(wěn)定機構(gòu)用于方便將裝置移動到指定的位置進行使用，所述穩(wěn)定機構(gòu)包括：
3、限位組件，設(shè)置在底板的底面用于方便對裝置進行移動，所述限位組件包括固定安裝在底板底面的四個固定柱，四個所述固定柱的底面均固定安裝有滑輪，四個所述固定柱的外側(cè)均設(shè)置有固定組件用于固定裝置的位置；
4、調(diào)節(jié)組件，設(shè)置在底板的頂面用于對裝置的高度進行調(diào)節(jié)；
5、驅(qū)動組件，設(shè)置在底板的底面用于為限位組件提供動力。
6、優(yōu)選的，所述固定組件包括活動安裝在四個固定柱的外側(cè)的螺紋筒，所述螺紋筒的頂面固定安裝有從動傘齒輪，所述螺紋筒的外側(cè)螺紋安裝有固定筒，四個所述固定柱的外側(cè)均固定安裝有兩個限位板，所述固定筒的內(nèi)側(cè)開設(shè)有兩個限位槽。
7、優(yōu)選的，所述從動傘齒輪的頂面活動安裝在底板的底面，兩個所述限位板的一側(cè)均滑動安裝在兩個限位槽的內(nèi)部。
8、優(yōu)選的，所述驅(qū)動組件包括固定安裝在底板底面左右兩側(cè)的兩個限位塊和雙軸電機，所述雙軸電機的前后兩端均固定安裝有軸桿，所述軸桿的一端固定安裝有主動傘齒輪，所述雙軸電機的一端活動貫穿兩個限位塊的相對側(cè)并固定安裝在主動傘齒輪的一側(cè)，所述主動傘齒輪的外側(cè)嚙合在從動傘齒輪的外側(cè)。
9、優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)組件包括開設(shè)在底板頂面左右兩側(cè)的活動槽，所述活動槽的內(nèi)部活動安裝有正反絲螺桿，所述活動槽的內(nèi)部滑動安裝有兩個活動塊，所述底板的前側(cè)固定安裝有兩個直流電機，兩個所述活動塊的頂面均固定安裝有活動板，所述活動板的頂面活動鉸接有連接板，所述連接板的頂面活動鉸接有芯片光刻機本體。
10、優(yōu)選的，所述正反絲螺桿的前端活動貫穿活動槽的內(nèi)部并固定安裝在兩個直流電機的輸出端，所述正反絲螺桿的后端螺紋貫穿兩個活動塊的前側(cè)并活動安裝在活動槽的后側(cè)。
11、有益效果
12、本技術(shù)提供了一種運行平穩(wěn)的芯片光刻機。與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下有益效果：
13、(1)、該運行平穩(wěn)的芯片光刻機，通過設(shè)置的固定筒和滑輪可以對裝置進行移動固定，使用時通過滑輪將裝置移動到合適的位置，移動到合適的位置后啟動雙軸電機帶動軸桿使主動傘齒輪旋轉(zhuǎn)，接著主動傘齒輪會帶動從動傘齒輪使螺紋筒進行旋轉(zhuǎn)，然后螺紋筒便會帶動固定筒下降接觸到地面將滑輪頂起固定住裝置的位置，提高裝置的穩(wěn)定性，避免晃動方便進行移動，靈活性好。
14、(2)、該運行平穩(wěn)的芯片光刻機，通過設(shè)置的正反絲螺桿和連接板可以調(diào)節(jié)芯片光刻機本體的高度，使用時啟動直流電機帶動正反絲螺桿旋轉(zhuǎn)使活動塊向相對側(cè)移動，這時活動塊便會帶動活動板通過連接板將芯片光刻機本體頂起來調(diào)節(jié)到合適的高度，來適配不同身高的使用人員，方便使用，實用性好。
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1.一種運行平穩(wěn)的芯片光刻機，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的外側(cè)設(shè)置有穩(wěn)定機構(gòu)(2)用于方便將裝置移動到指定的位置進行使用，所述穩(wěn)定機構(gòu)(2)包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種運行平穩(wěn)的芯片光刻機，其特征在于：所述固定組件包括活動安裝在四個固定柱(215)的外側(cè)的螺紋筒(212)，所述螺紋筒(212)的頂面固定安裝有從動傘齒輪(213)，所述螺紋筒(212)的外側(cè)螺紋安裝有固定筒(211)，四個所述固定柱(215)的外側(cè)均固定安裝有兩個限位板(217)，所述固定筒(211)的內(nèi)側(cè)開設(shè)有兩個限位槽(216)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種運行平穩(wěn)的芯片光刻機，其特征在于：所述從動傘齒輪(213)的頂面活動安裝在底板(1)的底面，兩個所述限位板(217)的一側(cè)均滑動安裝在兩個限位槽(216)的內(nèi)部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種運行平穩(wěn)的芯片光刻機，其特征在于：所述驅(qū)動組件(23)包括固定安裝在底板(1)底面左右兩側(cè)的兩個限位塊(231)和雙軸電機(232)，所述雙軸電機(232)的前后兩端均固定安裝有軸桿(233)，所述軸桿(23
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種運行平穩(wěn)的芯片光刻機，其特征在于：所述調(diào)節(jié)組件(22)包括開設(shè)在底板(1)頂面左右兩側(cè)的活動槽(222)，所述活動槽(222)的內(nèi)部活動安裝有正反絲螺桿(226)，所述活動槽(222)的內(nèi)部滑動安裝有兩個活動塊(223)，所述底板(1)的前側(cè)固定安裝有兩個直流電機(221)，兩個所述活動塊(223)的頂面均固定安裝有活動板(224)，所述活動板(224)的頂面活動鉸接有連接板(225)，所述連接板(225)的頂面活動鉸接有芯片光刻機本體(3)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種運行平穩(wěn)的芯片光刻機，其特征在于：所述正反絲螺桿(226)的前端活動貫穿活動槽(222)的內(nèi)部并固定安裝在兩個直流電機(221)的輸出端，所述正反絲螺桿(226)的后端螺紋貫穿兩個活動塊(223)的前側(cè)并活動安裝在活動槽(222)的后側(cè)。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種運行平穩(wěn)的芯片光刻機，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的外側(cè)設(shè)置有穩(wěn)定機構(gòu)(2)用于方便將裝置移動到指定的位置進行使用，所述穩(wěn)定機構(gòu)(2)包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種運行平穩(wěn)的芯片光刻機，其特征在于：所述固定組件包括活動安裝在四個固定柱(215)的外側(cè)的螺紋筒(212)，所述螺紋筒(212)的頂面固定安裝有從動傘齒輪(213)，所述螺紋筒(212)的外側(cè)螺紋安裝有固定筒(211)，四個所述固定柱(215)的外側(cè)均固定安裝有兩個限位板(217)，所述固定筒(211)的內(nèi)側(cè)開設(shè)有兩個限位槽(216)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種運行平穩(wěn)的芯片光刻機，其特征在于：所述從動傘齒輪(213)的頂面活動安裝在底板(1)的底面，兩個所述限位板(217)的一側(cè)均滑動安裝在兩個限位槽(216)的內(nèi)部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種運行平穩(wěn)的芯片光刻機，其特征在于：所述驅(qū)動組件(23)包括固定安裝在底板(1)底面左右兩側(cè)的兩個限位塊(231)和雙軸電機(232)，所述雙軸電機(232)的前后兩端均固定安裝有軸桿(233)，所述軸桿...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：張西峰，王星，郭寒棟，
申請(專利權(quán))人：蝸牛數(shù)字西安科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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