【技術實現步驟摘要】
本申請涉及器件封裝，尤其涉及一種濾波器及其制備方法。
技術介紹
1、本部分旨在為權利要求書中陳述的本申請的實施方式提供背景或上下文。此處的描述不因為包括在本部分中就被認為是現有技術。
2、隨著4g、5g通信的高速發展，射頻器件——濾波器在移動通訊和汽車電子領域扮演著核心角色，因此對saw濾波器整體器件的可靠性的要求越來越高。
3、現有技術中，如圖1所示濾波器的金球通過焊接的方式焊接于焊盤金屬層，金球與焊盤金屬層的連接形式為面接觸；在是實際應用過程中金球和焊盤金屬層的結合力弱，金球脫離焊盤金屬層的概率高，進而影響濾波器的器件質量。
4、基于此，本申請急需提出一種能夠解決上述技術問題的濾波器及其制備方法。
技術實現思路
1、本申請的多個方面提供一種濾波器及其制備方法，用以提升濾波器的金球與焊盤金屬層的鍵合的穩固性。
2、本申請的一方面，提供一種濾波器，該濾波器包括：
3、襯底；
4、從下至上依次設置在所述襯底一側的叉指換能器、焊盤金屬層、鈍化層、金球、環氧樹脂層和基板；
5、其中，所述金球至少部分嵌設于所述焊盤金屬層內，所述金球的一側與所述基板接觸。
6、進一步地，所述焊盤金屬層至少部分嵌設于所述叉指換能器的叉指電極引出部。
7、進一步地，所述焊盤金屬層貫穿所述叉指換能器的叉指電極引出部至少部分嵌設于所述襯底。
8、進一步地，所述叉指換能器的叉指電極引出部至少部分嵌設
9、進一步地，所述焊盤金屬層上設置有至少一個第一凹槽，以使得所述金球至少部分通過所述第一凹槽嵌設于所述焊盤金屬層。
10、進一步地，所述第一凹槽在第一方向上的投影的總面積為第一投影面積；所述焊盤金屬層在第一方向上的投影的面積為第二投影面積；所述第一投影面積與第二投影面積的比值范圍為1:6～1:2。
11、進一步地，所述第一凹槽的深度與所述焊盤金屬層的厚度的比值范圍為1:50～2:5。
12、進一步地，濾波器還包括：psv層，設置于所述環氧樹脂層與所述焊盤金屬層的之間，和，覆蓋于第一鈍化層背離所述襯底的一側；
13、其中，所述第一鈍化層為覆蓋于所述叉指換能器的叉指極的鈍化層。
14、進一步地，所述濾波器還包括：fm層，設置于所述第一鈍化層背離所述襯底的一側、位于所述鈍化層和所述psv層的之間。
15、進一步地，所述基板、所述環氧樹脂層和所述psv層界定出一空腔。
16、進一步地，所述基板、所述環氧樹脂層和所述鈍化層界定出一空腔。
17、又一方面，本申請提出一種濾波器制備方法，所述濾波器制備方法包括：
18、提供一襯底；
19、從下至上依次設置叉指換能器、焊盤金屬層、鈍化層、金球、環氧樹脂層和基板于所述襯底的一側
20、其中，所述金球至少部分嵌設于所述焊盤金屬層內，所述金球的一側與所述基板接觸。
21、本申請提供一種濾波器及其制備方法，該濾波器包括：襯底；從下至上依次設置在所述襯底一側的叉指換能器、焊盤金屬層、鈍化層、金球、環氧樹脂層和基板；其中，所述金球至少部分嵌設于所述焊盤金屬層內，所述金球的一側與所述基板接觸。本申請采用csp封裝工藝，通過將金球部分嵌入焊盤金屬層的方式，提升金球與焊盤金屬層之間的結合力、改善傳統封裝結構存在的csp封裝植球不良的技術問題。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種濾波器，其特征在于，所述濾波器包括：
2.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述焊盤金屬層至少部分嵌設于所述叉指換能器的叉指電極引出部。
3.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述焊盤金屬層貫穿所述叉指換能器的叉指電極引出部至少部分嵌設于所述襯底。
4.根據權利要求1～3任一項所述的濾波器，其特征在于，所述叉指換能器的叉指電極引出部至少部分嵌設于所述襯底。
5.根據權利要求1～3任一項所述的濾波器，其特征在于，所述焊盤金屬層上設置有至少一個第一凹槽，以使得所述金球至少部分通過所述第一凹槽嵌設于所述焊盤金屬層。
6.根據權利要求5所述的濾波器，其特征在于，所述第一凹槽在第一方向上的投影的總面積為第一投影面積；
7.根據權利要求6所述的濾波器，其特征在于，所述第一凹槽的深度與所述焊盤金屬層的厚度的比值范圍為1:50～2:5。
8.根據權利要求7所述的濾波器，其特征在于，所述濾波器還包括：
9.根據權利要求7所述的濾波器，其特征在于，所述濾波器還包括：
10.
11.根據權利要求7所述的濾波器，其特征在于，所述基板、所述環氧樹脂層和所述鈍化層界定出一空腔。
12.一種濾波器制備方法，其特征在于，所述濾波器制備方法包括：
...【技術特征摘要】
1.一種濾波器，其特征在于，所述濾波器包括：
2.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述焊盤金屬層至少部分嵌設于所述叉指換能器的叉指電極引出部。
3.根據權利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述焊盤金屬層貫穿所述叉指換能器的叉指電極引出部至少部分嵌設于所述襯底。
4.根據權利要求1～3任一項所述的濾波器，其特征在于，所述叉指換能器的叉指電極引出部至少部分嵌設于所述襯底。
5.根據權利要求1～3任一項所述的濾波器，其特征在于，所述焊盤金屬層上設置有至少一個第一凹槽，以使得所述金球至少部分通過所述第一凹槽嵌設于所述焊盤金屬層。
6.根據權利要求5所述的濾波器，其特征在于...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王健，高海婷，馮端，
申請(專利權)人：深圳新聲半導體有限公司，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。