掃描電鏡樣品臺制造技術

本技術提供一種用于單個或多組片狀樣品進行準確高效微觀檢測分析的掃描電鏡樣品臺。掃描電鏡樣品臺，在支撐底座上設置有T型卡槽，若干塊T型夾板通過T型卡槽安裝在支撐底座上，T型夾板四角均設置有用于連接桿穿過的小孔，四根支撐桿兩兩組合固定在支撐底座上，前面兩根支撐桿之間固定有固定板，固定板上設置有螺孔，緊固件設置在所述螺孔中，四根連接桿分別穿過前面兩根支撐桿上的通孔、若干塊T型夾板上的小孔、后面兩根支撐桿上的通孔，且四根連接桿的兩端固定在支撐桿上。本技術可以一次放置多組樣品，減少了取樣、放樣次數，提高了測試準確性和效率。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種樣品臺，特別是涉及一種可用于單個或多組片狀樣品進行電鏡觀測分析的掃描電鏡樣品臺。

技術介紹

1、掃描電子顯微鏡是一種能夠進行高分辨率微觀形貌觀測的表面顯微分析設備，掃描電子顯微鏡與波譜儀和能譜儀的聯用發展成為材料表面分析不可或缺的手段之一。這種方法可以在觀測試樣表面形貌的同時檢測表面的化學組成，尤其是在檢測試樣中的夾雜物、表面和橫截面的元素分布等方面有著高效準確的特點。

2、近些年來，隨著薄膜材料、半導體以及可強化超薄玻璃等材料研發和大規模生產的發展，對于這些材料橫截面的顯微分析已成為指導研發和監控產品質量的重要手段。眾所周知，試樣觀測前，需將試樣固定在掃描電鏡樣品臺基座上，而針對這些特殊樣品，目前主要是利用導電膠帶將試樣豎直固定在表面平整的物體上，然后將上述物體與粘貼面垂直的另一面再固定在樣品臺基座上。這種方法的缺陷是顯而易見的，第一，容易導致試樣傾斜，影響觀測效果和檢測分析的準確性；第二，要耗費較多的導電膠帶，造成測試成本的增加；第三，無法一次性粘貼較多數量的試樣，影響分析效率。

3、針對上述問題，各種試樣樣品臺被設計出來，例如，cn217009116u公開了一種用于觀察樣品切面的掃描電鏡樣品臺及掃描電鏡，雖然解決了一個樣品臺可以同時放置多個樣品的問題，但是其依然采用粘貼的方式將樣品固定，無法保證樣品的垂直放置和膠帶浪費的問題；cn209859910u公開了一種用于觀察超薄玻璃截面的掃描電鏡樣品臺，雖然其巧妙解決了樣品在固定過程中可能發生傾斜的問題，但單次放置樣品數量為一件，檢測效率較低。

技術實現思路

1、本技術所要解決的技術問題是提供一種用于單個或多組片狀樣品進行準確高效微觀檢測分析的掃描電鏡樣品臺。

2、本技術解決技術問題所采用的技術方案是：掃描電鏡樣品臺，包括支撐底座、t型夾板、支撐桿、固定板、緊固件和連接桿，在所述支撐底座上設置有t型卡槽，若干塊t型夾板通過所述t型卡槽安裝在支撐底座上，所述t型夾板四角均設置有用于連接桿穿過的小孔，四根支撐桿兩兩組合固定在支撐底座上，前面兩根支撐桿之間固定有固定板，且前面兩根支撐桿和后面兩根支撐桿在支撐底座上的位置對應，所述四根支撐桿上均設置有用于連接桿穿過的通孔，所述固定板上設置有螺孔，所述緊固件設置在所述螺孔中，四根連接桿分別穿過前面兩根支撐桿上的通孔、若干塊t型夾板上的小孔、后面兩根支撐桿上的通孔，且四根連接桿的兩端固定在支撐桿上。

3、進一步的，所述若干塊t型夾板的總厚度小于在連接桿方向上兩根支撐桿之間的距離。

4、進一步的，所述四根連接桿兩端均設置有螺紋，且四根連接桿的兩端通過緊固螺絲固定在支撐桿上。

5、進一步的，所述t型夾板上的小孔和支撐桿上的通孔的直徑都與連接桿的外徑尺寸匹配。

6、進一步的，所述四根連接桿分別固定t型夾板的四角。

7、進一步的，所述螺孔設置在固定板中央位置。

8、進一步的，所述通孔設置在四根支撐桿接近底部和頂部位置。

9、進一步的，所述固定板與若干塊t型夾板平行。

10、進一步的，所述四根支撐桿的中軸線構成正方體或長方體，所述四根連接桿的中軸線構成正方體或長方體。

11、進一步的，所述支撐底座為圓柱體，在所述支撐底座的底部圓心處設置有螺孔。

12、本技術的有益效果是：可以一次放置多組樣品，減少了取樣、放樣次數，提高了測試準確性和效率；保證樣品在固定時不會發生傾斜，減少了導電膠帶的使用量，節約了測試成本；本技術為模塊組合設計，易拆卸、安裝和清洗，結構簡單，操作方便，可用于掃描電子顯微鏡對樣品截面進行微觀形貌以及微區成分分析時單個或批量樣品的固定。

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【技術保護點】

1.掃描電鏡樣品臺，其特征在于：包括支撐底座(1)、T型夾板(2)、支撐桿(3)、固定板(4)、緊固件(5)和連接桿(6)，在所述支撐底座(1)上設置有T型卡槽(11)，若干塊T型夾板(2)通過所述T型卡槽(11)安裝在支撐底座(1)上，所述T型夾板(2)四角均設置有用于連接桿(6)穿過的小孔(21)，四根支撐桿(3)兩兩組合固定在支撐底座(1)上，前面兩根支撐桿(3)之間固定有固定板(4)，且前面兩根支撐桿(3)和后面兩根支撐桿(3)在支撐底座(1)上的位置對應，所述四根支撐桿(3)上均設置有用于連接桿(6)穿過的通孔，所述固定板(4)上設置有螺孔，所述緊固件(5)設置在所述螺孔中，四根連接桿(6)分別穿過前面兩根支撐桿(3)上的通孔、若干塊T型夾板(2)上的小孔(21)、后面兩根支撐桿(3)上的通孔，且四根連接桿(6)的兩端固定在支撐桿(3)上。

2.如權利要求1所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述若干塊T型夾板(2)的總厚度小于在連接桿(6)方向上兩根支撐桿(3)之間的距離。

3.如權利要求1或2所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述四根連接桿(6)兩端均設置有螺紋，且四根連接桿(6)的兩端通過緊固螺絲(7)固定在支撐桿(3)上。

4.如權利要求1或2所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述T型夾板(2)上的小孔(21)和支撐桿(3)上的通孔的直徑都與連接桿(6)的外徑尺寸匹配。

5.如權利要求1或2所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述四根連接桿(6)分別固定T型夾板(2)的四角。

6.如權利要求1或2所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述螺孔設置在固定板(4)中央位置。

7.如權利要求1或2所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述通孔設置在四根支撐桿(3)接近底部和頂部位置。

8.如權利要求1或2所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述固定板(4)與若干塊T型夾板(2)平行。

9.如權利要求1或2所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述四根支撐桿(3)的中軸線構成正方體或長方體，所述四根連接桿(6)的中軸線構成正方體或長方體。

10.如權利要求1或2所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述支撐底座(1)為圓柱體，在所述支撐底座(1)的底部圓心處設置有螺孔。

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【技術特征摘要】

1.掃描電鏡樣品臺，其特征在于：包括支撐底座(1)、t型夾板(2)、支撐桿(3)、固定板(4)、緊固件(5)和連接桿(6)，在所述支撐底座(1)上設置有t型卡槽(11)，若干塊t型夾板(2)通過所述t型卡槽(11)安裝在支撐底座(1)上，所述t型夾板(2)四角均設置有用于連接桿(6)穿過的小孔(21)，四根支撐桿(3)兩兩組合固定在支撐底座(1)上，前面兩根支撐桿(3)之間固定有固定板(4)，且前面兩根支撐桿(3)和后面兩根支撐桿(3)在支撐底座(1)上的位置對應，所述四根支撐桿(3)上均設置有用于連接桿(6)穿過的通孔，所述固定板(4)上設置有螺孔，所述緊固件(5)設置在所述螺孔中，四根連接桿(6)分別穿過前面兩根支撐桿(3)上的通孔、若干塊t型夾板(2)上的小孔(21)、后面兩根支撐桿(3)上的通孔，且四根連接桿(6)的兩端固定在支撐桿(3)上。

2.如權利要求1所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述若干塊t型夾板(2)的總厚度小于在連接桿(6)方向上兩根支撐桿(3)之間的距離。

3.如權利要求1或2所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于：所述四根連接桿(6)兩端...

【專利技術屬性】
技術研發人員：曹生碩，陳家龍，黃雪梅，蔣燾，羅良紅，
申請(專利權)人：成都光明光電股份有限公司，
類型：新型
國別省市：