【技術實現步驟摘要】
本申請涉及測量，特別是涉及一種空氣隙測量方法、裝置、計算機設備和存儲介質。
技術介紹
1、在掠入射干涉設備中，在掠入射角度較大的情況下，參考光束和測量光束會出現明顯的橫向距離上的偏差，造成剪切干涉，并引入不同程度的像差。當棱鏡大面和待測樣品間的空氣隙發生變化時，參考光束和測量光束的剪切量也隨之發生變化，對應測量時的參考面也發生變化，對干涉設備對待測樣品的形貌測量的準確度造成影響。
2、除此之外，在棱鏡式掠入射干涉儀中，移相量（=2kndcosθ，k=2π/λ）也與空氣隙厚度相關，在相同的傾角變化量中，不同的空氣隙對應的移相量不同。例如，在四步相移算法中，需要把相鄰干涉圖的移相量準確控制在pi/2，如果空氣隙較大的話，對變傾角干涉儀中的角度調節的分辨率提出了更高的要求，如果空氣隙較小的話，對變傾角干涉儀中的角度調節范圍提出了更高的要求，因此在棱鏡式的掠入射干涉儀中，準確控制棱鏡大面與待測樣片之間的空氣隙距離顯得尤為重要。
3、傳統技術中，提供了對于空氣隙的測量，是將標定物放置于待測樣品與棱鏡大面之間的測量方式，然而該方法為接觸式的測量方法，容易對待測樣品造成損壞；傳統技術還提供了通過高精度相機進行視覺識別的測量方式，然而其嚴重依賴于相機硬件和識別算法的精度，成本高且準確性較低。
4、因此，現有技術中仍未提供一種非接觸且準確率高的空氣隙測量方法。
技術實現思路
1、基于此，有必要針對上述技術問題，提供一種能夠提高掠入射干涉設備測量準確率的非接觸式的空
2、第一個方面，本實施例提供了一種空氣隙測量方法，應用于掠入射干涉設備，所述空氣隙測量方法包括：
3、獲取待測樣品的第一干涉圖組；所述第一干涉圖組包括至少兩幅基于不同入射樣品角度得到的第一干涉圖；
4、基于每幅所述第一干涉圖對應的入射樣品角度和所述第一干涉圖間的相位差，計算所述待測樣品的空氣隙厚度。
5、在其中一些實施例中，所述獲取待測樣品的第一干涉圖組包括：
6、獲取待測樣品的初始干涉圖組；所述初始干涉圖組包括至少兩幅基于不同入射樣品角度得到的初始干涉圖；
7、基于所述待測樣品的初始干涉圖組，確定所述初始干涉圖組的光束相位差數據；
8、基于預設恒定相位差、所述初始干涉圖組的光束相位差數據和每幅所述初始干涉圖對應的入射樣品角度，確定對應于所述預設恒定相位差的多個入射樣品角度；
9、基于對應于所述預設恒定相位差的多個入射樣品角度，得到第一干涉圖組。
10、在其中一些實施例中，所述基于待測樣品的初始干涉圖組，確定所述初始干涉圖組的光束相位差數據包括：
11、依次計算每幅所述初始干涉圖與首幅初始干涉圖之間的相位差，得到每幅所述初始干涉圖的初始相位差；
12、基于多幅所述初始干涉圖的初始相位差，得到所述初始干涉圖組的光束相位差數據。
13、在其中一些實施例中，所述基于預設恒定相位差和所述初始干涉圖組的光束相位差數據，確定對應于所述預設恒定相位差的多個入射樣品角度包括：
14、基于所述初始干涉圖組的光束相位差數據，確定所述入射樣品角度與相位差的映射關系；
15、基于所述預設恒定相位差和所述映射關系，確定對應于所述預設恒定相位差的多個入射樣品角度。
16、在其中一些實施例中，所述空氣隙測量方法還包括：
17、基于每幅所述第一干涉圖對應的棱鏡入射角，分別確定每幅所述第一干涉圖的光路角度信息；所述光路角度信息包括棱鏡入射角、第一折射角、第一入射角和入射樣品角度；所述棱鏡包括直角面和斜面；
18、基于所述每幅所述第一干涉圖對應的光路角度信息和所述第一干涉圖間的相位差，計算所述待測樣品的空氣隙厚度。
19、在其中一些實施例中，所述基于每幅所述第一干涉圖對應的棱鏡入射角，分別確定每幅所述第一干涉圖的光路角度信息包括：
20、基于所述棱鏡入射角、空氣折射率和棱鏡折射率，確定第一折射角；
21、基于所述第一折射角與第一入射角的幾何關系，確定第一入射角；
22、基于所述第一入射角、空氣折射率和棱鏡折射率，確定入射樣品角度。
23、在其中一些實施例中，所述基于所述每幅所述第一干涉圖對應的光路角度信息和所述第一干涉圖間的相位差，計算所述待測樣品的空氣隙厚度包括：
24、將任意一幅第一干涉圖依次與其余每幅第一干涉圖兩兩組合，得到多個第一子干涉圖組；
25、基于每個第一子干涉圖組中所述第一干涉圖的入射樣品角度、所述第一干涉圖組的相位差，以及所述掠入射干涉設備的激光波長，計算每個所述第一子干涉圖組的空氣隙厚度；
26、基于多個所述第一子干涉圖組的空氣隙厚度，確定所述待測樣品的空氣隙厚度。
27、在其中一些實施例中，所述基于所述每幅所述第一干涉圖對應的光路角度信息和所述第一干涉圖間的相位差，計算所述待測樣品的空氣隙厚度還包括：
28、將任意一幅第一干涉圖依次與其余每幅第一干涉圖兩兩組合，得到多個第一子干涉圖組；
29、依次計算每個所述第一子干涉圖組的入射樣品角度偏導；
30、基于所述光路角度信息、所述入射樣品角度偏導和所述掠入射干涉設備的激光波長，計算每個所述第一子干涉圖組的相位差；
31、基于每個所述第一子干涉圖組的所述光路角度信息、所述掠入射干涉設備的激光波長和所述第一子干涉圖組的相位差，計算每個所述第一子干涉圖組的空氣隙厚度；
32、基于多個所述第一子干涉圖組的空氣隙厚度，確定所述待測樣品的空氣隙厚度。
33、在其中一些實施例中，所述基于多個所述第一子干涉圖組的空氣隙厚度，確定所述待測樣品的空氣隙厚度包括：
34、基于多個所述第一子干涉圖組的空氣隙厚度進行平均值計算，得到所述待測樣品的空氣隙厚度。
35、第二個方面，本實施例提供了一種空氣隙測量裝置，應用于掠入射干涉設備，所述空氣隙測量裝置包括：
36、圖組獲取模塊，用于獲取待測樣品的第一干涉圖組；所述第一干涉圖組包括至少兩幅基于不同入射樣品角度得到的第一干涉圖；
37、厚度計算模塊，用于基于每幅所述第一干涉圖對應的入射樣品角度和所述第一干涉圖間的相位差，計算所述待測樣品的空氣隙厚度。
38、第三個方面，本實施例提供了一種計算機設備，包括存儲器和處理器，所述存儲器存儲有計算機程序，所述處理器執行所述計算機程序時實現如上所述的方法。
39、上述空氣隙測量方法、裝置、計算機設備和存儲介質，通過獲取待測樣品的第一干涉圖組；所述第一干涉圖組包括至少兩幅基于不同入射樣品角度得到的第一干涉圖；基于每幅所述第一干涉圖對應的入射樣品角度和所述第一干涉圖間的相位差，計算所述待測樣品的空氣隙厚度，可以通過獲取掠入射干涉設備拍攝的至少兩幅基于不同入本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種空氣隙測量方法，其特征在于，應用于掠入射干涉設備，所述空氣隙測量方法包括：
2.根據權利要求1所述的空氣隙測量方法，其特征在于，所述獲取待測樣品的第一干涉圖組包括：
3.根據權利要求2所述的空氣隙測量方法，其特征在于，所述基于待測樣品的初始干涉圖組，確定所述初始干涉圖組的光束相位差數據包括：
4.根據權利要求3所述的空氣隙測量方法，其特征在于，所述基于預設恒定相位差和所述初始干涉圖組的光束相位差數據，確定對應于所述預設恒定相位差的多個入射樣品角度包括：
5.根據權利要求1所述的空氣隙測量方法，其特征在于，所述空氣隙測量方法還包括：
6.根據權利要求5所述的空氣隙測量方法，其特征在于，所述基于每幅所述第一干涉圖對應的棱鏡入射角，分別確定每幅所述第一干涉圖的光路角度信息包括：
7.根據權利要求5所述的空氣隙測量方法，其特征在于，所述基于所述每幅所述第一干涉圖對應的光路角度信息和所述第一干涉圖間的相位差，計算所述待測樣品的空氣隙厚度還包括：
8.根據權利要求1所述的空氣隙測量方法，其特征在于，所
9.根據權利要求7或權利要求8所述的空氣隙測量方法，其特征在于，所述基于多個所述第一子干涉圖組的空氣隙厚度，確定所述待測樣品的空氣隙厚度包括：
10.一種空氣隙測量裝置，其特征在于，應用于掠入射干涉設備，所述空氣隙測量裝置包括：
11.一種計算機設備，包括存儲器和處理器，所述存儲器存儲有計算機程序，其特征在于，所述處理器執行所述計算機程序時實現權利要求1至權利要求9中任一項所述的方法。
...【技術特征摘要】
1.一種空氣隙測量方法，其特征在于，應用于掠入射干涉設備，所述空氣隙測量方法包括：
2.根據權利要求1所述的空氣隙測量方法，其特征在于，所述獲取待測樣品的第一干涉圖組包括：
3.根據權利要求2所述的空氣隙測量方法，其特征在于，所述基于待測樣品的初始干涉圖組，確定所述初始干涉圖組的光束相位差數據包括：
4.根據權利要求3所述的空氣隙測量方法，其特征在于，所述基于預設恒定相位差和所述初始干涉圖組的光束相位差數據，確定對應于所述預設恒定相位差的多個入射樣品角度包括：
5.根據權利要求1所述的空氣隙測量方法，其特征在于，所述空氣隙測量方法還包括：
6.根據權利要求5所述的空氣隙測量方法，其特征在于，所述基于每幅所述第一干涉圖對應的棱鏡入射角，分別確定每幅所述第一干涉圖的光路角度信息包括：...
【專利技術屬性】
技術研發人員：朱亮，王悅，俞晨陽，陳淑楠，
申請(專利權)人：浙江求是半導體設備有限公司，
類型：發明
國別省市：
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