【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本申請涉及自動化輸料設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及晶體滾圓加工過程中自動輸料裝置。
技術(shù)介紹
1、碳化硅晶體滾圓是通過機(jī)械方式對晶體表面進(jìn)行研磨和拋光,以去除晶體表面的微小裂紋、雜質(zhì)和不平整區(qū)域,從而提高晶體的完整性和光學(xué)質(zhì)量。在此加工過程中,涉及將碳化硅晶體放置在滾圓機(jī)頭尾座夾頭之間的上料操作,和從滾圓機(jī)頭尾座夾頭之間取回碳化硅晶體的下料操作。
2、由于碳化硅晶體外形不規(guī)則,晶體圓周面上有錐形結(jié)構(gòu),并且,所加工的碳化硅晶體厚度一般僅有10mm~50mm的,厚度較薄,這些因素綜合導(dǎo)致機(jī)械臂難以準(zhǔn)確、穩(wěn)固地夾持碳化硅晶體,無法實(shí)現(xiàn)自動化的碳化硅晶體輸料工作。相關(guān)技術(shù)中,在碳化硅晶體滾圓加工過程中主要依靠人工進(jìn)行上料和下料,但這種方式不僅效率低下,而且在操作過程中存在工人受傷的風(fēng)險。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請的目的是提供一種碳化硅晶體滾圓加工過程中的自動輸料裝置,以解決現(xiàn)有技術(shù)上下料效率低下且存在受傷風(fēng)險的問題。通過自動化的上下料裝置,可以實(shí)現(xiàn)高效、安全的晶體加工過程。
2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本申請?zhí)峁┝艘环N自動輸料裝置,該裝置包括機(jī)械手組件和盛料組件。
3、其中,盛料組件用于放置物料,物料包括碳化硅晶體以及與碳化硅晶體固定連接的安裝盤,機(jī)械手組件通過安裝盤抓取物料;
4、盛料組件包括第一支撐件和第二支撐件,第一支撐件與第二支撐件固定連接,第一支撐件與第二支撐件之間形成容納空間,容納空間用于放置物料,第一支撐件和第二支撐件配合以對物料進(jìn)行夾固限位,限
5、進(jìn)一步地,第二支撐件靠近第一支撐件的一側(cè)設(shè)置有活動頭,活動頭能夠相對第一支撐件活動以調(diào)整容納空間的大小。
6、進(jìn)一步地,活動頭以彈性伸縮或驅(qū)動式伸縮的形式相對第一支撐件活動。
7、進(jìn)一步地,活動頭包括滾輪座和滾輪,滾輪安裝于滾輪座,物料置于容納空間時,滾輪與碳化硅晶體背離安裝盤的端面抵接。
8、進(jìn)一步地,第一支撐件呈板狀結(jié)構(gòu),設(shè)置有安裝盤安放部和安裝盤靠面,安裝盤安放部用于放置安裝盤,安裝盤靠面與預(yù)設(shè)平面平行,用于與第二支撐件配合以限制安裝盤的俯仰自由度以及沿安裝盤的軸線的平移自由度,安裝盤置于安裝盤安放部時,安裝盤靠面與安裝盤背離碳化硅晶體的端面抵接。
9、進(jìn)一步地,安裝盤安放部設(shè)置有定位槽。
10、進(jìn)一步地,第二支撐件還包括導(dǎo)向結(jié)構(gòu),支撐板和底板,底板與第一支撐件固定連接,并且,底板與支撐板固定連接,
11、導(dǎo)向結(jié)構(gòu)與支撐板固定連接,并且,導(dǎo)向結(jié)構(gòu)靠近第一支撐件的一側(cè)與活動頭連接,導(dǎo)向結(jié)構(gòu)用于引導(dǎo)活動頭沿垂直于安裝盤靠面的方向活動。
12、進(jìn)一步地,機(jī)械手組件包括支撐架、橫移部、轉(zhuǎn)動部、徑向運(yùn)動部以及機(jī)械手,
13、橫移部包括第一導(dǎo)軌和設(shè)置于第一導(dǎo)軌上的基座,基座能夠沿第一導(dǎo)軌運(yùn)動;
14、轉(zhuǎn)動部通過支撐架與基座固定連接;
15、徑向運(yùn)動部包括第二導(dǎo)軌和抓手安裝座,第二導(dǎo)軌與轉(zhuǎn)動部固定連接,第二導(dǎo)軌跟隨轉(zhuǎn)動部轉(zhuǎn)動,抓手安裝座設(shè)置于第二導(dǎo)軌上,抓手安裝座能夠沿第二導(dǎo)軌運(yùn)動,抓手安裝座與機(jī)械手固定連接。
16、進(jìn)一步地,轉(zhuǎn)動部包括氣動分度盤,氣動分度盤的旋轉(zhuǎn)平面與水平方向基本垂直。
17、進(jìn)一步地,第一導(dǎo)軌的方向與氣動分度盤的旋轉(zhuǎn)平面平行。
18、通過盛料組件、安裝盤和機(jī)械手組件配合工作,其中安裝盤用來與碳化硅晶體固定連接,盛料組件用來放置固定有碳化硅晶體的安裝盤,并且讓安裝盤的放置位置和方向適配機(jī)械手組件夾取方向,使機(jī)械手組件能夠準(zhǔn)確、穩(wěn)定地夾取安裝盤,完成碳化硅晶體的運(yùn)輸。
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1.一種自動輸料裝置(100),用于實(shí)現(xiàn)對碳化硅晶體(300)進(jìn)行外圓滾磨時的上下料,其特征在于,所述裝置包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動輸料裝置(100),其特征在于,
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動輸料裝置(100),其特征在于,
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動輸料裝置(100),其特征在于,
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動輸料裝置(100),其特征在于,
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的自動輸料裝置(100),其特征在于,
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的自動輸料裝置(100),其特征在于,
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動輸料裝置(100),其特征在于,
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的自動輸料裝置(100),其特征在于,
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的自動輸料裝置(100),其特征在于,
【技術(shù)特征摘要】
1.一種自動輸料裝置(100),用于實(shí)現(xiàn)對碳化硅晶體(300)進(jìn)行外圓滾磨時的上下料,其特征在于,所述裝置包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動輸料裝置(100),其特征在于,
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動輸料裝置(100),其特征在于,
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動輸料裝置(100),其特征在于,
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動輸料裝置(10...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:曹建偉,朱亮,王金榮,葉阿康,鐘楊波,
申請(專利權(quán))人:浙江晶盛機(jī)電股份有限公司,
類型:新型
國別省市:
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