【技術實現步驟摘要】
本申請涉及檢測，特別是涉及吹氣裝置及測試分選機。
技術介紹
1、測試分選機能夠在高溫、低溫以及常溫等規定溫度環境下測試半導體器件的性能。目前，測試分選機大多利用能夠吹送冷氣和熱氣的吹氣裝置向位于測試分選機腔體內的測試工位吹氣體，以向設置在測試工位處的半導體器件提供相應的測試溫度。
2、相關技術中，吹氣裝置包括換熱器和空氣加熱器，換熱器用于將冷媒機提供的冷媒與氣體換熱。在低溫工況下，冷媒機啟動，并可向換熱器內提供冷卻氣體的冷媒，經換熱器流出的冷卻氣體流經空氣加熱器(不啟動)后排出。在中高溫工況下，冷媒機停止，氣體流經空氣加熱器加熱后排出。此種方案，冷媒機需反復啟停，且從冷媒機啟動到換熱器內流出溫度穩定的冷卻氣體需要花費10分鐘甚至更長時間，嚴重影響測試分選機的工作效率。
技術實現思路
1、基于此，有必要針對吹氣裝置在使用時，冷媒機需反復啟停而造成測試分選機的工作效率低的問題，提供一種吹氣裝置及測試分選機。
2、一種吹氣裝置，用于與氣源和冷媒機配套使用，所述吹氣裝置包括：
3、換熱器，用于連通所述氣源和所述冷媒機，以供所述氣源提供的氣體與所述冷媒機提供的冷媒換熱；
4、空氣加熱器；
5、均用于向外吹氣的第一吹氣組件和第二吹氣組件，所述第一吹氣組件與所述空氣加熱器的出氣口連通；
6、切換閥組，與所述換熱器的氣體出口連通，且可選擇地允許換熱后的氣體向所述空氣加熱器的進氣口或者所述第二吹氣組件流動；
7、第一
8、第二控制閥，其一端用于連通所述氣源，另一端與所述第二吹氣組件的進氣口連通；
9、其中，所述第一控制閥與所述切換閥組不同時允許氣體流向所述空氣加熱器的進氣口。
10、在一些實施例中，所述切換閥組包括第一閥體和第二閥體，所述第一閥體連接在所述換熱器的氣體出口與所述空氣加熱器的進氣口之間，所述第二閥體連接在所述換熱器的氣體出口與所述第二吹氣組件之間；
11、所述第一閥體與所述第二閥體不同時處于導通狀態。
12、在一些實施例中，所述吹氣裝置還包括第三控制閥，其一端用于連通氣源，另一端用于連通所述換熱器的氣體入口。
13、在一些實施例中，所述第一吹氣組件包括測試安裝座和至少一個分氣塊，所述測試安裝座用于安裝待測試的電子器件，且其上設置有用于吹氣的至少一個第一吹氣部；
14、所述空氣加熱器包括至少一個出氣口，每一所述空氣加熱器的出氣口與每一所述第一吹氣部之間經由所述分氣塊獨立地連通；
15、每一所述分氣塊上設置有溫度傳感器。
16、在一些實施例中，所述第二吹氣組件包括在高度方向上間隔布置的兩組第二吹氣部；
17、所述兩組第二吹氣部在所述高度方向上反向吹氣。
18、在一些實施例中，所述兩組第二吹氣部中，其中一組所述第二吹氣部包括吹氣塊，所述吹氣塊上設置有同向送氣的多個吹氣孔；
19、其中另一組所述第二吹氣部包括吹氣桿，所述吹氣桿上沿其縱長方向間隔設置有同向送氣的多個吹氣孔。
20、在一些實施例中，所述第二吹氣組件包括總管路和至少兩條支管路，所述切換閥組能夠允許氣體向所述總管路流動，各條所述支管路均獨立地連通所述總管路與各組所述第二吹氣部；
21、所述總管路上設置有溫度采集器。
22、在一些實施例中，所述吹氣裝置包括進氣管路、調節閥和溫度采集件，所述第一控制閥與所述切換閥組均通過所述進氣管路連接所述空氣加熱器的進氣口；
23、所述溫度采集件用于采集經所述空氣加熱器加熱后的氣體溫度，所述調節閥設置于所述進氣管路，能夠根據所述溫度采集件采集的溫度調節所述進氣管路的氣體流量。
24、在一些實施例中，所述吹氣裝置具有第一工作狀態和第二工作狀態；
25、處于所述第一工作狀態時，所述第一控制閥截斷所述氣源與所述空氣加熱器的連通，所述切換閥組連通所述空氣加熱器與所述換熱器，所述第二控制閥連通所述氣源與所述第二吹氣組件，所述空氣加熱器處于加熱狀態；
26、處于第二工作狀態時，所述第一控制閥連通所述氣源與所述空氣加熱器，所述切換閥組連通所述換熱器與所述第二吹氣組件，所述第二控制閥連通所述氣源與所述第二吹氣組件，所述空氣加熱器處于加熱狀態。
27、一種測試分選機，包括上料裝置、測試裝置、收料裝置及輸送裝置，測試裝置具有腔體，腔體具有測試工位，輸送裝置用于將上料裝置處提供的待測試的電子器件移動至測試工位，并用于將測試工位處測試后的電子器件移動至收料裝置處回收，所述測試分選機還包括：
28、如上述任一項實施例所述的吹氣裝置，所述第一吹氣組件用于向所述測試工位吹氣，所述第二吹氣組件用于向所述腔體吹氣。
29、在一些實施例中，所述測試分選機還包括冷媒機，所述冷媒機與所述換熱器連通，用于向所述換熱器輸送冷媒。
30、上述吹氣裝置及測試分選機，在常高溫測試工況和低溫測試工況之間切換時，冷媒機可以保持工作，而無需重復啟停，有助于提高測試分選機的工作效率。而且，在常高溫測試工況下，換熱器流出的低溫冷媒被利用起來對腔體降溫，進而可對位于腔體內的其他元器件降溫，有助于提高測試分選機的使用壽命，一舉多得。
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1.一種吹氣裝置(100)，用于與氣源(300)和冷媒機配套使用，其特征在于，所述吹氣裝置(100)包括：
2.根據權利要求1所述的吹氣裝置(100)，其特征在于，所述切換閥組(30)包括第一閥體(31)和第二閥體(32)，所述第一閥體(31)連接在所述換熱器(10)的氣體出口與所述空氣加熱器(20)的進氣口之間，所述第二閥體(32)連接在所述換熱器(10)的氣體出口與所述第二吹氣組件(50)之間；
3.根據權利要求1所述的吹氣裝置(100)，其特征在于，所述吹氣裝置(100)還包括第三控制閥(80)，其一端用于連通氣源(300)，另一端用于連通所述換熱器(10)的氣體入口。
4.根據權利要求1所述的吹氣裝置(100)，其特征在于，所述第一吹氣組件(40)包括測試安裝座(41)和至少一個分氣塊(43)，所述測試安裝座(41)用于安裝待測試的電子器件，且其上設置有用于吹氣的至少一個第一吹氣部(42)；
5.根據權利要求1所述的吹氣裝置(100)，其特征在于，所述第二吹氣組件(50)包括在高度方向(Z)上間隔布置的兩組第二吹氣部(51)
6.根據權利要求5所述的吹氣裝置(100)，其特征在于，所述兩組第二吹氣部(51)中，其中一組所述第二吹氣部(51)包括吹氣塊(51b)，所述吹氣塊(51b)上設置有同向送氣的多個吹氣孔；
7.根據權利要求1所述的吹氣裝置(100)，其特征在于，所述吹氣裝置(100)包括進氣管路(21)、調節閥(22)和溫度采集件(23)，所述第一控制閥(60)與所述切換閥組(30)均通過所述進氣管路(21)連接所述空氣加熱器(20)的進氣口；
8.根據權利要求1所述的吹氣裝置(100)，其特征在于，所述吹氣裝置(100)具有第一工作狀態和第二工作狀態；
9.一種測試分選機(1000)，包括上料裝置、測試裝置、收料裝置及輸送裝置，所述測試裝置包括腔體(200)，所述腔體(200)具有測試工位(201)，所述輸送裝置用于將所述上料裝置處提供的待測試的電子器件移送至所述測試工位(201)，并用于將所述測試工位(201)處測試后的電子器件移動至所述收料裝置處回收，其特征在于，所述測試分選機(1000)還包括：
10.根據權利要求9所述的測試分選機(1000)，其特征在于，所述測試分選機(1000)還包括冷媒機，所述冷媒機與所述換熱器(10)連通，用于向所述換熱器(10)輸送冷媒。
...【技術特征摘要】
1.一種吹氣裝置(100)，用于與氣源(300)和冷媒機配套使用，其特征在于，所述吹氣裝置(100)包括：
2.根據權利要求1所述的吹氣裝置(100)，其特征在于，所述切換閥組(30)包括第一閥體(31)和第二閥體(32)，所述第一閥體(31)連接在所述換熱器(10)的氣體出口與所述空氣加熱器(20)的進氣口之間，所述第二閥體(32)連接在所述換熱器(10)的氣體出口與所述第二吹氣組件(50)之間；
3.根據權利要求1所述的吹氣裝置(100)，其特征在于，所述吹氣裝置(100)還包括第三控制閥(80)，其一端用于連通氣源(300)，另一端用于連通所述換熱器(10)的氣體入口。
4.根據權利要求1所述的吹氣裝置(100)，其特征在于，所述第一吹氣組件(40)包括測試安裝座(41)和至少一個分氣塊(43)，所述測試安裝座(41)用于安裝待測試的電子器件，且其上設置有用于吹氣的至少一個第一吹氣部(42)；
5.根據權利要求1所述的吹氣裝置(100)，其特征在于，所述第二吹氣組件(50)包括在高度方向(z)上間隔布置的兩組第二吹氣部(51)；所述兩組第二吹氣部(51)在所述高度方向(z)上反向吹氣；
6.根據權利要求5所述的吹氣...
【專利技術屬性】
技術研發人員：胡光輝，胡鵬飛，車健，
申請(專利權)人：杭州長川科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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