【技術實現步驟摘要】
本申請屬于半導體生產設備，更具體地說，是涉及一種固晶機擺臂結構及固晶機。
技術介紹
1、固晶機是半導體封裝工序必備的關鍵生產設備之一，其主要作用是將芯片(晶圓)與封裝基板之間的電連接點(焊點)牢固連接，以實現電氣連接和物理支持。而擺臂結構是固晶機的重要組成部分，其用于在固晶過程中完成取放晶的動作。
2、現有固晶機的擺臂結構，通常是通過伺服電機控制擺臂整體旋轉，再由另外一個伺服電機控制擺臂上下運動進行取晶和固晶，該方式不僅使得整體結構較為復雜，成本高，而且還會導致擺臂轉動的運動慣量較大。
技術實現思路
1、本申請實施例的目的在于提供一種固晶機擺臂結構及固晶機，以解決現有固晶機擺臂結構的結構復雜和擺臂運動慣量較大的技術問題。
2、為實現上述目的，本申請采用的技術方案是：
3、第一方面提供一種固晶機擺臂結構，包括：
4、安裝座；
5、擺臂，所述擺臂具有相對的第一端和第二端，所述第一端與所述第二端之間設有彈性結構，所述擺臂通過所述彈性結構與所述安裝座彈性連接，從而所述擺臂能夠相對所述安裝座弧線擺動，所述彈性結構處為所述擺臂弧線擺動的支點；
6、音圈電機，所述音圈電機包括定子組件和動子組件，所述定子組件與所述安裝座固定，所述動子組件與所述第一端固定并且能夠相對所述定子組件上下運動，從而所述擺臂在所述動子組件的驅動下能夠繞所述支點弧線擺動。
7、在第一方面的其中一個實施例中，所述定子組件包括磁鐵架和磁鐵，所述磁
8、在第一方面的其中一個實施例中，所述線圈纏繞的形狀為矩形，所述磁鐵的形狀與所述線圈纏繞的形狀相適配。
9、在第一方面的其中一個實施例中，所述固晶機擺臂結構還包括傳感組件，所述傳感組件用于測量所述動子組件的運動位置；所述傳感組件包括光柵尺和光柵讀頭，所述光柵尺貼合設置于所述線圈架上，所述光柵讀頭安裝于所述安裝座上并且與所述光柵尺間隔相對設置。
10、在第一方面的其中一個實施例中，所述線圈架上設有弧形面，所述光柵尺貼合于所述弧形面設置，所述弧形面的圓心位于所述擺臂的支點處。
11、在第一方面的其中一個實施例中，所述彈性結構包括第一彈片，所述第一彈片的一端與所述安裝座固定，所述第一彈片的另一端與所述擺臂固定。
12、在第一方面的其中一個實施例中，所述彈性結構包括第二彈片，所述第二彈片的一端與所述安裝座固定，所述第二彈片的另一端與所述擺臂固定，所述第二彈片與所述第一彈片相互垂直。
13、在第一方面的其中一個實施例中，所述安裝座的形狀為筒狀，且所述安裝座的一端設有開口，所述音圈電機收容于所述安裝座內并通過所述開口與所述擺臂連接。
14、在第一方面的其中一個實施例中，所述安裝座上設有至少兩組以上的所述擺臂以及音圈電機，每組所述擺臂對應設有所述音圈電機。
15、第二方面提供一種固晶機，包括如上所述的固晶機擺臂結構。
16、本申請第一方面提供的固晶機擺臂結構，擺臂與安裝座之間通過彈性結構連接，從而使得擺臂能夠以該彈性結構處為支點形成弧線擺動，同時在音圈電機的驅動下，動子組件帶動擺臂的第一端同步運動，由于受到擺臂與安裝座之間的彈性結構的制約，使得動子組件被迫使進行弧線擺動，從而擺動能夠做往復的弧線擺動運動，進而擺臂能夠實現取固晶操作，取代現有采用伺服電機控制擺臂上下運動進行取晶和固晶，運動幅度更小，穩定性更高，提升了固晶精度和效率。
17、本申請第二方面提供的固晶機，由于采用了本申請提供的固晶機擺臂結構，因而具有固晶機擺臂結構的上述優點。
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1.一種固晶機擺臂結構，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的固晶機擺臂結構，其特征在于，所述定子組件包括磁鐵架和磁鐵，所述磁鐵架固定于所述安裝座，所述磁鐵安裝于所述磁鐵架；所述動子組件包括線圈架和線圈，所述線圈架固定于所述擺臂的所述第一端，所述線圈纏繞并保持在所述線圈架上，所述線圈與所述磁鐵相面對，所述線圈架與所述磁鐵架活動連接。
3.如權利要求2所述的固晶機擺臂結構，其特征在于，所述線圈纏繞的形狀為矩形，所述磁鐵的形狀與所述線圈纏繞的形狀相適配。
4.如權利要求2所述的固晶機擺臂結構，其特征在于，所述固晶機擺臂結構還包括傳感組件，所述傳感組件用于測量所述動子組件的運動位置；所述傳感組件包括光柵尺和光柵讀頭，所述光柵尺貼合設置于所述線圈架上，所述光柵讀頭安裝于所述安裝座上并且與所述光柵尺間隔相對設置。
5.如權利要求4所述的固晶機擺臂結構，其特征在于，所述線圈架上設有弧形面，所述光柵尺貼合于所述弧形面設置，所述弧形面的圓心位于所述擺臂的支點處。
6.如權利要求1所述的固晶機擺臂結構，其特征在于，所述彈性結構包括第一
7.如權利要求6所述的固晶機擺臂結構，其特征在于，所述彈性結構包括第二彈片，所述第二彈片的一端與所述安裝座固定，所述第二彈片的另一端與所述擺臂固定，所述第二彈片與所述第一彈片相互垂直。
8.如權利要求1-7任一項所述的固晶機擺臂結構，其特征在于，所述安裝座的形狀為筒狀，且所述安裝座的一端設有開口，所述音圈電機收容于所述安裝座內并通過所述開口與所述擺臂連接。
9.如權利要求1-7任一項所述的固晶機擺臂結構，其特征在于，所述安裝座上設有至少兩組以上的所述擺臂以及音圈電機，每組所述擺臂對應設有所述音圈電機。
10.一種固晶機，其特征在于，包括如權利要求1-9任一項所述的固晶機擺臂結構。
...【技術特征摘要】
1.一種固晶機擺臂結構，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的固晶機擺臂結構，其特征在于，所述定子組件包括磁鐵架和磁鐵，所述磁鐵架固定于所述安裝座，所述磁鐵安裝于所述磁鐵架；所述動子組件包括線圈架和線圈，所述線圈架固定于所述擺臂的所述第一端，所述線圈纏繞并保持在所述線圈架上，所述線圈與所述磁鐵相面對，所述線圈架與所述磁鐵架活動連接。
3.如權利要求2所述的固晶機擺臂結構，其特征在于，所述線圈纏繞的形狀為矩形，所述磁鐵的形狀與所述線圈纏繞的形狀相適配。
4.如權利要求2所述的固晶機擺臂結構，其特征在于，所述固晶機擺臂結構還包括傳感組件，所述傳感組件用于測量所述動子組件的運動位置；所述傳感組件包括光柵尺和光柵讀頭，所述光柵尺貼合設置于所述線圈架上，所述光柵讀頭安裝于所述安裝座上并且與所述光柵尺間隔相對設置。
5.如權利要求4所述的固晶機擺臂結構，其特征在于，所述線圈架上設有弧形面，所述光柵尺貼合...
【專利技術屬性】
技術研發人員：胡新平，
申請(專利權)人：深圳新益昌科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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