【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及碳化硅爐領(lǐng)域，具體涉及冷卻機(jī)構(gòu)及其冷卻方法。
技術(shù)介紹
1、cvd爐在鍍膜過程中，溫度比較高，在1500℃左右，鍍膜結(jié)束后，要對cvd爐的腔體進(jìn)行快速強(qiáng)制冷卻。
2、目前急需一種可以加快冷卻速度的cvd爐快速冷卻的裝置以及方法。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本專利技術(shù)提供一種cvd爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)及其冷卻方法，已解決上述至少一個(gè)技術(shù)問題。
2、本專利技術(shù)的技術(shù)方案是：一種cvd爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括一冷卻通道，所述冷卻通道的兩端分別與cvd爐的主爐體的側(cè)壁法蘭可拆卸連接；
3、所述冷卻通道沿著導(dǎo)流方向依次安裝有第一熱斷開閉機(jī)構(gòu)、第一轉(zhuǎn)向冷卻管路、第一角閥單元、第二轉(zhuǎn)向冷卻管路、熱交換通道、冷卻風(fēng)扇單元、第三轉(zhuǎn)向冷卻管路、第二角閥單元以及第二熱斷開閉機(jī)構(gòu)；
4、所述第一熱斷開閉機(jī)構(gòu)以及所述第二熱斷開閉機(jī)構(gòu)上下設(shè)置，且所述第一熱斷開閉機(jī)構(gòu)以及所述第二熱斷開閉機(jī)構(gòu)均包括熱斷水冷法蘭、熱斷氣缸、熱斷快門以及熱斷硬氈，所述熱斷法蘭上安裝有所述熱斷氣缸的缸體，所述熱斷氣缸的活塞桿穿過所述熱斷水冷法蘭與所述熱斷快門相連，所述熱斷快門遠(yuǎn)離所述熱斷氣缸的一側(cè)連接有所述熱斷硬氈；
5、所述熱斷氣缸的活塞桿處于伸長狀態(tài)下，活塞桿帶動(dòng)熱斷硬氈堵住所述cvd爐的主爐體的側(cè)壁法蘭，cvd爐的主爐體與冷卻通道相互隔絕，此時(shí)，第一角閥以及第二角閥處于閉合狀態(tài)；
6、所述熱斷氣缸的活塞桿處于縮短狀態(tài)下，c
7、本專利技術(shù)通過熱斷開閉機(jī)構(gòu)以及角閥的結(jié)合，便于實(shí)現(xiàn)鍍膜過程避免cvd爐主爐體內(nèi)的熱量溢出，實(shí)現(xiàn)cvd爐與冷卻通道的隔絕。通過各種冷卻管路以及冷卻風(fēng)扇單元，實(shí)現(xiàn)鍍膜結(jié)束后，cvd爐的快速冷卻。
8、進(jìn)一步優(yōu)選地，所述熱斷水冷法蘭與水冷三通接頭的軸向上貫穿導(dǎo)通的兩個(gè)接頭中的一個(gè)接頭可拆卸連接；
9、第一熱斷開閉機(jī)構(gòu)的熱斷水冷法蘭與第一水冷三通接頭的軸向設(shè)置一個(gè)接頭可拆卸連接，所述第一水冷三通接頭的軸向設(shè)置另一個(gè)接頭與所述cvd爐的主爐體的側(cè)壁法蘭可拆卸連接；
10、第二熱斷開閉機(jī)構(gòu)的熱斷水冷法蘭與第二水冷三通接頭的軸向設(shè)置一個(gè)接頭可拆卸連接所述第二水冷三通接頭的軸向設(shè)置另一個(gè)接頭與所述cvd爐的主爐體的側(cè)壁法蘭可拆卸連接。
11、進(jìn)一步優(yōu)選地，所述第一轉(zhuǎn)向冷卻管路包括順序連接的第一水冷彎管、第二水冷彎管以及水冷直管，所述第一水冷彎管、第二水冷彎管以及水冷直管上均設(shè)置有用于冷卻水流經(jīng)的進(jìn)水口以及出水口；
12、所述第一水冷彎管與所述第一熱斷開閉機(jī)構(gòu)對接，所述水冷直管與所述第一角閥單元對接；
13、所述第一水冷彎管與所述第一熱斷開閉機(jī)構(gòu)對接處的中心軸線方向?yàn)樨Q直方向；
14、所述水冷直管與所述第一角閥對接處的中心軸線方向垂直于豎直方向且垂直于所述熱斷氣缸的伸縮方向。
15、進(jìn)一步優(yōu)選地，所述第二轉(zhuǎn)向冷卻管路為90°轉(zhuǎn)向的水冷彎管，所述水冷彎管上設(shè)置有用于冷卻水流經(jīng)的進(jìn)水口以及出水口；
16、所述水冷彎管的導(dǎo)流方向處于水平面上。
17、進(jìn)一步優(yōu)選地，所述熱交換通道的外壁的同側(cè)開設(shè)有上下設(shè)置的對接法蘭盤，位于上方的對接法蘭盤與所述第二轉(zhuǎn)向冷卻管路對接，位于下方的對接法蘭盤與所述冷卻風(fēng)扇單元對接；
18、所述熱交換通道包括從上至下設(shè)置的上冷卻腔體、中部冷卻腔體以及下冷卻腔體；
19、所述上冷卻腔體以及下冷卻腔體上均設(shè)置有用于冷卻水導(dǎo)流的進(jìn)水口以及出水口；
20、所述中部冷卻腔體安裝有一百多根換熱管，換熱管的內(nèi)壁用于對接所述上冷腔體以及所述下冷腔體，所述換熱管的外壁設(shè)置有用于對接冷卻水的換熱導(dǎo)流通道。
21、進(jìn)一步優(yōu)選地，所述下冷腔體安裝有漏水檢測傳感器，所述中部冷卻腔體的下端開口正對所述漏水檢測傳感器。
22、進(jìn)一步優(yōu)選地，所述熱交換通道鄰近所述第二轉(zhuǎn)向冷卻管路的端部以及所述熱交換通道鄰近所述冷卻風(fēng)扇單元的一側(cè)均安裝有溫度傳感器；
23、所述熱交換通道內(nèi)安裝有氣壓傳感器。
24、進(jìn)一步優(yōu)選地，所述冷卻風(fēng)扇單元包括一安裝閥座以及冷卻葉片，所述安裝閥座上設(shè)置有垂直設(shè)置的第一安裝法蘭以及第二安裝法蘭；
25、所述冷卻葉片可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在所述安裝閥座內(nèi)；所述冷卻葉片的旋轉(zhuǎn)中心軸向方向平行于所述第一安裝法蘭的中心軸線方向；
26、所述第一安裝法蘭與所述熱交換通道相連，所述第二安裝法蘭與所述第三轉(zhuǎn)向冷卻管路相連；
27、所述第三轉(zhuǎn)向冷卻管路包括順序連接的第三水冷三通接頭以及水冷連接管，所述第三水冷三通接頭的上接頭與所述第二安裝法蘭對接導(dǎo)通，所述第三水冷三通接頭軸向?qū)ǖ膬蓚€(gè)接頭中一個(gè)接頭封口，另外一個(gè)接頭與所述水冷連接管對接。
28、進(jìn)一步優(yōu)選地，所述第一角閥單元以及所述第二角閥單元均包括水冷閥座、角閥連接板、角閥氣缸以及閥板，所述角閥氣缸安裝在所述角閥連接板上，所述角閥氣缸的伸縮桿穿過所述角閥連接板與所述閥板相連；
29、所述水冷閥座上開設(shè)有第一法蘭口以及第二法蘭口，所述第一法蘭口正對所述閥板；
30、所述水冷閥座軸向上的相對側(cè)分別設(shè)置有所述角閥連接板以及所述第一法蘭口，所述第二法蘭口的中心軸線方向垂直于所述第一法蘭口的中心軸線方向。
31、進(jìn)一步優(yōu)選地，所述第一角閥單元的第一法蘭口對接所述第一轉(zhuǎn)向冷卻管路；
32、所述第二角閥單元的第二法蘭口對接所述第二熱斷開閉機(jī)構(gòu)。
33、進(jìn)一步優(yōu)選地，所述第一熱斷開閉機(jī)構(gòu)的熱斷氣缸的伸縮方向垂直于所述第一角閥單元的角閥氣缸的伸縮方向；
34、所述第二熱斷開閉機(jī)構(gòu)的熱斷氣缸的伸縮方向垂直于所述第二角閥單元的角閥氣缸的伸縮方向；
35、所述第一角閥單元的角閥氣缸的伸縮方向垂直于所述第二角閥單元的角閥氣缸的伸縮方向。
36、強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)的冷卻方法，當(dāng)cvd爐主爐體鍍膜結(jié)束后，需要進(jìn)行冷卻處理，使開爐時(shí)間縮短，此時(shí)，將第一斷熱開閉機(jī)構(gòu)、第一角閥單元、第二角閥單元以及第二斷熱開閉機(jī)構(gòu)的活塞桿全部縮回，使得冷卻通道內(nèi)部暢通，同時(shí)冷卻風(fēng)扇單元的開啟，冷卻葉片旋轉(zhuǎn)；
37、cvd爐主爐體內(nèi)的熱量由第一熱斷開閉機(jī)構(gòu)側(cè)的法蘭口進(jìn)入，第二熱斷開閉機(jī)構(gòu)側(cè)的法蘭口排出，循環(huán)往復(fù)；
38、當(dāng)檢測熱交換通道內(nèi)的溫度的溫度傳感器的溫度達(dá)到要求時(shí)，cvd爐主爐體開始排出廢氣，準(zhǔn)備開爐。
39、相比于現(xiàn)有技術(shù)，本專利技術(shù)的有益效果為：
40、本專利技術(shù)對cvd爐主爐體腔體內(nèi)的溫度進(jìn)行快速強(qiáng)制冷卻，同時(shí)配備有水冷冷卻和風(fēng)冷冷卻，主爐體的腔體內(nèi)的熱量從法蘭上端進(jìn)入，下端排出，形成循環(huán)，加速冷卻效果。
41、本專利技術(shù)配備有溫度傳感器以及壓力傳感器，可以實(shí)時(shí)的知道機(jī)構(gòu)內(nèi)溫度和壓力的大小。
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1.一種CVD爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括一冷卻通道，所述冷卻通道的兩端分別與CVD爐的主爐體的側(cè)壁法蘭可拆卸連接；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種CVD爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述熱斷水冷法蘭與水冷三通接頭的軸向上貫穿導(dǎo)通的兩個(gè)接頭中的一個(gè)接頭可拆卸連接；
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種CVD爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第一轉(zhuǎn)向冷卻管路包括順序連接的第一水冷彎管、第二水冷彎管以及水冷直管，所述第一水冷彎管、第二水冷彎管以及水冷直管上均設(shè)置有用于冷卻水流經(jīng)的進(jìn)水口以及出水口；
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種CVD爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第二轉(zhuǎn)向冷卻管路為90°轉(zhuǎn)向的水冷彎管，所述水冷彎管上設(shè)置有用于冷卻水流經(jīng)的進(jìn)水口以及出水口；
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種CVD爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述熱交換通道的外壁的同側(cè)開設(shè)有上下設(shè)置的對接法蘭盤，位于上方的對接法蘭盤與所述第二轉(zhuǎn)向冷卻管路對接，位于下方的對接法蘭盤與所述冷卻風(fēng)扇單元對接；
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種CVD爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種CVD爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第一角閥單元以及所述第二角閥單元均包括水冷閥座、角閥連接板、角閥氣缸以及閥板，所述角閥氣缸安裝在所述角閥連接板上，所述角閥氣缸的伸縮桿穿過所述角閥連接板與所述閥板相連；
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種CVD爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第一角閥單元的第一法蘭口對接所述第一轉(zhuǎn)向冷卻管路；
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種CVD爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第一熱斷開閉機(jī)構(gòu)的熱斷氣缸的伸縮方向垂直于所述第一角閥單元的角閥氣缸的伸縮方向；
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種CVD爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)的冷卻方法，其特征在于，當(dāng)CVD爐主爐體鍍膜結(jié)束后，需要進(jìn)行冷卻處理，使開爐時(shí)間縮短，此時(shí)，將第一斷熱開閉機(jī)構(gòu)、第一角閥單元、第二角閥單元以及第二斷熱開閉機(jī)構(gòu)的活塞桿全部縮回，使得冷卻通道內(nèi)部暢通，同時(shí)冷卻風(fēng)扇單元的開啟，冷卻葉片旋轉(zhuǎn)；
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種cvd爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括一冷卻通道，所述冷卻通道的兩端分別與cvd爐的主爐體的側(cè)壁法蘭可拆卸連接；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種cvd爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述熱斷水冷法蘭與水冷三通接頭的軸向上貫穿導(dǎo)通的兩個(gè)接頭中的一個(gè)接頭可拆卸連接；
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種cvd爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第一轉(zhuǎn)向冷卻管路包括順序連接的第一水冷彎管、第二水冷彎管以及水冷直管，所述第一水冷彎管、第二水冷彎管以及水冷直管上均設(shè)置有用于冷卻水流經(jīng)的進(jìn)水口以及出水口；
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種cvd爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第二轉(zhuǎn)向冷卻管路為90°轉(zhuǎn)向的水冷彎管，所述水冷彎管上設(shè)置有用于冷卻水流經(jīng)的進(jìn)水口以及出水口；
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種cvd爐的強(qiáng)制冷卻機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述熱交換通道的外壁的同側(cè)開設(shè)有上下設(shè)置的對接法蘭盤，位于上方的對接法蘭盤與所述第二轉(zhuǎn)向冷卻管路對接，位于下方的對接法蘭盤與所述冷卻風(fēng)扇單元對接；
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種cvd爐的強(qiáng)制...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉偉，夏孝平，
申請(專利權(quán))人：上海漢虹精密機(jī)械有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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