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    一種基于PET上制備柔性微納結(jié)構(gòu)的納米壓印的方法技術(shù)

    技術(shù)編號(hào):44301378 閱讀:5 留言:0更新日期:2025-02-18 20:19
    一種基于PET上制備柔性微納結(jié)構(gòu)的納米壓印的方法,屬于微納技術(shù)領(lǐng)域。該技術(shù)的關(guān)鍵步驟包括:(1)利用Burst技術(shù)合成的油溶性金納米顆粒與有機(jī)溶劑混合,制備出濃度50?100mg/ml的金納米顆粒懸浮液。(2)將PET薄膜放置在100℃的加熱裝置上,加熱5至10秒。然后,從制備好的金納米顆粒懸浮液中取8至12微升,滴加到PET基底上,并迅速將具有納米周期性結(jié)構(gòu)的PDMS模具壓在基底上,保持壓印30至60秒,以確保金納米顆粒懸浮液在PET薄膜與PDMS模具之間完全滲透。這種基于PET基底的柔性微納結(jié)構(gòu)納米壓印技術(shù),并結(jié)合不同濃度的金納米顆粒膠體溶液,在柔性基底上構(gòu)建出大范圍的金屬光柵圖案。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)涉及柔性金屬光子晶體,尤其是涉及一種基于熱納米壓印制備柔性金屬光子晶體的方法。


    技術(shù)介紹

    1、在納米光子學(xué)領(lǐng)域,金屬光子晶體因其獨(dú)特的光學(xué)特性和潛在的應(yīng)用前景而受到廣泛關(guān)注。金屬光子晶體能夠操縱光的傳播,實(shí)現(xiàn)光的局域、調(diào)制和傳輸,這使得它們?cè)诠怆娮訉W(xué)、傳感器、光學(xué)器件等領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。然而,傳統(tǒng)的剛性基底金屬光子晶體在實(shí)際應(yīng)用中存在一定的局限性,尤其是在需要柔性和可變形的場(chǎng)合。

    2、為了拓展金屬光子晶體的應(yīng)用范圍,研究者們開始關(guān)注柔性基底上的金屬光子晶體制備技術(shù)。柔性基底的引入,不僅能夠保持金屬光子晶體的光學(xué)性能,還能夠提供額外的機(jī)械柔韌性,使得金屬光子晶體能夠在不同的工作環(huán)境中保持穩(wěn)定的性能。

    3、納米壓印技術(shù)作為一種高效的納米制造技術(shù),因其能夠?qū)崿F(xiàn)大面積、低成本、高分辨率的納米結(jié)構(gòu)復(fù)制而受到青睞。通過(guò)納米壓印技術(shù),可以將預(yù)先制備的模具上的納米結(jié)構(gòu)精確地轉(zhuǎn)移到柔性基底上,從而制備出柔性金屬光子晶體。這一技術(shù)的成功應(yīng)用,有望實(shí)現(xiàn)柔性金屬光子晶體的批量生產(chǎn),推動(dòng)其在可穿戴設(shè)備、柔性顯示、生物醫(yī)學(xué)傳感器等領(lǐng)域的應(yīng)用。

    4、本專利技術(shù)旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中的挑戰(zhàn),提供一種基于納米壓印技術(shù)的柔性基底金屬光子晶體的制備方法。該方法通過(guò)優(yōu)化壓印工藝和材料選擇,實(shí)現(xiàn)了在柔性基底上高效、精確地制備金屬光子晶體,同時(shí)保證了其光學(xué)性能和機(jī)械穩(wěn)定性。通過(guò)本專利技術(shù)的技術(shù)方案,有望推動(dòng)柔性金屬光子晶體在多個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用,為納米光子學(xué)的發(fā)展提供新的動(dòng)力。


    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路</p>

    1、本專利技術(shù)旨在提出一種在聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(pet)基材上制造柔性微納米結(jié)構(gòu)的納米壓印技術(shù)。該技術(shù)采用溶液輔助的熱壓印工藝,通過(guò)pdms模具在pet表面壓印出多種周期性的金屬光子晶體圖案。該方法操作簡(jiǎn)便,能夠生產(chǎn)出適應(yīng)皮膚貼合的柔性金屬光子晶體。

    2、為達(dá)成上述目標(biāo),本專利技術(shù)提供了以下步驟的納米壓印技術(shù),用于在pet基材上制備柔性微納結(jié)構(gòu):

    3、(1)制備金納米膠體溶液:采用burst法制備的油溶性金納米顆粒作為原料,將其與有機(jī)溶劑二甲苯混合,經(jīng)過(guò)超聲波處理和磁力攪拌,以形成濃度為50-100mg/ml的金納米膠體溶液;

    4、(2)熱壓印:將厚度為0.2mm的pet薄膜放置在100攝氏度的加熱設(shè)備上,加熱時(shí)間維持5至10秒,使得pet薄膜上表面溫度達(dá)到100攝氏度,然后,抽取步驟(1)準(zhǔn)備的金納米膠體溶液滴加到pet基材上,每400mm2的pet薄膜對(duì)應(yīng)8-12微升金納米膠體溶液;緊接著,立即將表面具有納米級(jí)凹或凸周期性圖案的pdms模板壓在基材上,且圖案面朝下與pet薄膜貼合,并對(duì)pdms模板均勻的施加0.25-1kg/cm2的壓力并保持壓制30至60秒,以確保金納米膠體溶液在pet薄膜與pdms模板圖案之間的空隙徹底滲透;

    5、(3)分離模具與基板:把步驟(2)pet基板和pdms模板一起小心地從加熱裝置上移除;接著,讓其在室溫中靜置1到3分鐘進(jìn)行自然降溫,這一過(guò)程中,pet基板上會(huì)形成與pdms模具上納米周期性圖案相匹配的結(jié)構(gòu),再?gòu)膒et基板上揭去pdms模具;

    6、(4)退火處理:將步驟(3)得到的帶有納米級(jí)周期性圖案的pet基板放入預(yù)熱至180攝氏度-220攝氏度溫度的高溫爐內(nèi),進(jìn)行退火處理,持續(xù)時(shí)間為20分鐘到30分鐘;這一過(guò)程旨在使金納米顆粒熔化,進(jìn)而形成金屬光子晶體的結(jié)構(gòu);(5)完成退火與冷卻:完成退火工序后,將pet基板放置在室溫環(huán)境中,讓其自然冷卻3到5分鐘;通過(guò)這一步驟,最終能夠在柔性基材上構(gòu)建出大面積的金屬光子晶體結(jié)構(gòu);

    7、還包括如下步驟(6):在步驟(5)所得具有金屬光子晶體結(jié)構(gòu)的pet基板繼續(xù)重復(fù)步驟(2)-(5),對(duì)應(yīng)的pdms模板模版相同或不同,或pdms模板放置方向或位置根據(jù)需要調(diào)整。

    8、本專利技術(shù)具有如下優(yōu)點(diǎn):

    9、(1)本專利技術(shù)不需要昂貴的光刻掩模,因此可以顯著降低生產(chǎn)成本。

    10、(2)本專利技術(shù)可以用于在大面積的柔性基底上復(fù)制圖案,這對(duì)于生產(chǎn)大面積柔性電子設(shè)備尤為重要。

    11、(3)本專利技術(shù)是在柔性基底上制造結(jié)構(gòu),所得的產(chǎn)品具有很好的柔韌性和可變形性,適合用于可穿戴設(shè)備等;

    12、(4)本專利技術(shù)操作相對(duì)簡(jiǎn)單,易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化和批量生產(chǎn),提高了生產(chǎn)效率。

    13、(5)本專利技術(shù)可以輕松地改變模具的設(shè)計(jì),從而快速地生產(chǎn)出不同圖案和結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品,這使得該技術(shù)具有很高的適應(yīng)性。

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    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

    1.一種基于PET上制備柔性微納結(jié)構(gòu)的納米壓印的方法,其特征在于,包括以下步驟:

    2.按照權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,還包括如下步驟(6):在步驟(5)所得具有金屬光子晶體結(jié)構(gòu)的PET基板繼續(xù)重復(fù)步驟(2)-(5),對(duì)應(yīng)的PDMS模板模版相同或不同,或PDMS模板放置方向或位置根據(jù)需要調(diào)整。

    3.按照權(quán)利要求1或2所述的方法制備得到的柔性微納結(jié)構(gòu)。

    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種基于pet上制備柔性微納結(jié)構(gòu)的納米壓印的方法,其特征在于,包括以下步驟:

    2.按照權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,還包括如下步驟(6):在步驟(5)所得具有金屬光子晶體...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:竇菲張濱劉紅梅張新平
    申請(qǐng)(專利權(quán))人:北京工業(yè)大學(xué)
    類型:發(fā)明
    國(guó)別省市:

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