本發(fā)明專利技術(shù)涉及光譜調(diào)制技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種微型光譜調(diào)制系統(tǒng)及制備方法，微型光譜調(diào)制系統(tǒng)包括：縱向依次連接的調(diào)制層和基底，所述調(diào)制層共設(shè)置有9個(gè)調(diào)制通道，分別記作C1、C2、C3、C4、C5、C6、C7、C8和C9，9個(gè)調(diào)制通道采用3×3的排布方式進(jìn)行排布，部分調(diào)制通道的上表面設(shè)有微透鏡；9個(gè)所述調(diào)制通道為透明層、半透明層或不透明層；9個(gè)所述調(diào)制通道的形狀為正方形或類正方形；微型光譜調(diào)制系統(tǒng)通過(guò)調(diào)制通道的形狀與底層硅基探測(cè)器共同控制，本申請(qǐng)將調(diào)制通道設(shè)置成特殊形狀進(jìn)而裸露部分像元，實(shí)現(xiàn)控制微型光譜調(diào)制系統(tǒng)的光譜調(diào)制曲線，實(shí)現(xiàn)更好的光譜成像效果。
1、光譜調(diào)制技術(shù)在現(xiàn)代科技中扮演著至關(guān)重要的角色，特別是在光纖通信、遙感探測(cè)、生物醫(yī)學(xué)成像、化學(xué)分析和光學(xué)傳感等領(lǐng)域。要想實(shí)現(xiàn)更好的光譜成像效果，在傳統(tǒng)的光譜調(diào)制系統(tǒng)中往往需要應(yīng)用更先進(jìn)的技術(shù)和更精細(xì)的組件，這通常會(huì)導(dǎo)致光譜調(diào)制系統(tǒng)的體積龐大，成本高昂，且在操作上也較為復(fù)雜，如何通過(guò)精簡(jiǎn)的結(jié)構(gòu)布置以實(shí)現(xiàn)更好的光譜成像效果是現(xiàn)有技術(shù)迫切需要解決的問(wèn)題。
1、因此，本專利技術(shù)要解決的技術(shù)問(wèn)題在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，從而提供一種微型光譜調(diào)制系統(tǒng)及制備方法。
2、一種微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，包括：縱向依次連接的調(diào)制層和基底，所述基底為硅基圖像傳感器，具體為cmos圖像傳感器或ccd圖像傳感器；
3、所述調(diào)制層共設(shè)置有9個(gè)由不同材質(zhì)制作而成的調(diào)制通道，分別記作c1、c2、c3、c4、c5、c6、c7、c8和c9，9個(gè)調(diào)制通道采用3×3的排布方式進(jìn)行排布，制通道的上表面設(shè)有微透鏡；
>12、正方形的四角處都設(shè)有方形接角，且方形接角的三個(gè)角為圓弧形；13、正方形的四條邊以一定曲率向內(nèi)凹陷，且在四角處都設(shè)置有方形接角；
14、正方形的四條邊以一定曲率向內(nèi)凹陷，四角處都設(shè)置有方形接角，且方形接角的三個(gè)角為圓弧形；
15、所述c5的形狀為正方形，正方形邊長(zhǎng)為1.74μm；
16、c5為透明層，其上表面不設(shè)置微透鏡。
17、進(jìn)一步，所述c1的形狀為類正方形，具體為：圓角正方形；
18、具體參數(shù)：正方形邊長(zhǎng)為1.75μm，四角圓弧曲率為33.33rad/μm；
19、c1的上表面設(shè)置有微透鏡。
20、進(jìn)一步，所述c2的形狀為類正方形，具體為：正方形的四條邊以一定曲率向內(nèi)凹陷；
21、具體參數(shù)：正方形邊長(zhǎng)為1.67μm，四邊圓弧曲率為0.077rad/μm；
22、c2的上表面設(shè)置有微透鏡。
23、進(jìn)一步，所述c3的形狀為類正方形，具體為：正方形的四條邊以一定曲率向外凸起；
24、具體參數(shù)：正方形邊長(zhǎng)為1.77μm，四邊圓弧曲率為0.05rad/μm；
25、c3的上表面設(shè)置有微透鏡。
26、進(jìn)一步，所述c4的形狀為類正方形，具體為：正方形的四角處都設(shè)有圓弧形接角；
27、具體參數(shù)：正方形邊長(zhǎng)為1.74μm；圓弧形接角曲率為71.42rad/μm；
28、c4的表面設(shè)置有微透鏡。
29、進(jìn)一步，所述c6的形狀為類正方形，具體為：正方形的四角處都設(shè)有方形接角；
30、具體參數(shù)：正方形邊長(zhǎng)為1.72μm，方形接角的規(guī)格為0.1×0.005μm；
31、c6上表面設(shè)置有微透鏡。
32、進(jìn)一步，所述c7的形狀為類正方形，具體為：正方形的四角處都設(shè)有方形接角，且方形接角的三個(gè)角為圓弧形；
33、具體參數(shù)：正方形邊長(zhǎng)為1.74μm；方形接角的規(guī)格為0.13×0.005μm，圓弧曲率為33.33rad/μm；
34、c6的上表面設(shè)置有微透鏡。
35、進(jìn)一步，所述c8的形狀為類正方形，具體為：正方形的四條邊以一定曲率向內(nèi)凹陷，且在四角處都設(shè)置有方形接角；
36、具體參數(shù)：正方形邊長(zhǎng)為1.72μm，四邊圓弧曲率為0.1rad/μm；方形接角的規(guī)格為0.13×0.005μm；
37、c8的上表面設(shè)置有微透鏡。
38、進(jìn)一步，所述c9的形狀為類正方形，具體為：正方形的四條邊以一定曲率向內(nèi)凹陷，四角處都設(shè)置有方形接角，且方形接角的三個(gè)角為圓弧形；
39、具體參數(shù)：正方形邊長(zhǎng)為1.73μm，四邊圓弧曲率為0.1rad/μm；方形接角的規(guī)格為0.13×0.005μm，圓弧曲率為33.33rad/μm；
40、c9上表面設(shè)置有微透鏡。
41、本專利技術(shù)還包括一種微型光譜調(diào)制系統(tǒng)的制備方法，所述方法用于制備上述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，包括以下步驟：
42、s1：探測(cè)器選型：根據(jù)實(shí)際需求確認(rèn)探測(cè)器的分辨率、圖像尺寸、譜線范圍和量子效率；探測(cè)器選型后確認(rèn)各通道所用材料、形狀及具體規(guī)格；
43、s2：c1通道的制備及測(cè)試：根據(jù)設(shè)計(jì)的c1通道的形狀及具體規(guī)格制作c1通道的掩膜板，調(diào)節(jié)光刻工藝參數(shù)，并按照設(shè)計(jì)好的c1通道的形狀及具體規(guī)格復(fù)現(xiàn)至探測(cè)器對(duì)應(yīng)的像元表面，并利用三維共聚焦顯微鏡測(cè)試c1通道的性能，確保其滿足使用需求；
44、s3：c2通道的制備及測(cè)試：根據(jù)設(shè)計(jì)的c2通道的形狀及具體規(guī)格制作c2通道的掩膜板，調(diào)節(jié)光刻工藝參數(shù)，并按照設(shè)計(jì)好的c2通道的形狀及具體規(guī)格復(fù)現(xiàn)至s2中探測(cè)器對(duì)應(yīng)的像元表面，并利用三維共聚焦顯微鏡測(cè)試c2通道的性能，確保其滿足使用需求，同時(shí)測(cè)試c1通道的性能，確保c1通道形貌無(wú)損壞；
45、s4：c3通道的制備及測(cè)試：根據(jù)設(shè)計(jì)的c3通道的形狀及具體規(guī)格制作c3通道的掩膜板，調(diào)節(jié)光刻工藝參數(shù)，并按照設(shè)計(jì)好的c3通道的形狀及具體規(guī)格復(fù)現(xiàn)至s3中探測(cè)器對(duì)應(yīng)的像元表面，并利用三維共聚焦顯微鏡測(cè)試c3通道的性能，確保其滿足使用需求，同時(shí)測(cè)試c1通道和c2通道的性能，確保c1通道和c2通道形貌無(wú)損壞；
46、s5：c4通道的制備及測(cè)試：根據(jù)設(shè)計(jì)的c4通道的形狀及具體規(guī)格制作c4通道的掩膜板，調(diào)節(jié)光刻工藝參數(shù)，并按照設(shè)計(jì)好的c4通道的形狀及具體規(guī)格復(fù)現(xiàn)至s4中探測(cè)器對(duì)應(yīng)的像元表面，并利用三維共聚焦顯微鏡測(cè)試c4通道的性能，確保其滿足使用需求，同時(shí)測(cè)試c1通道、c2通道和c3通道的性能，確保c1通道、c2通道和c3通道形貌無(wú)損壞；
47、s6：c5通道的制備及測(cè)試：根據(jù)設(shè)計(jì)的c5通道的形狀及具體規(guī)格制作c5通道的掩膜板，調(diào)節(jié)光刻工藝參數(shù)，并按照設(shè)計(jì)好的c5通道的形狀及具體規(guī)格復(fù)現(xiàn)至s5中探測(cè)器對(duì)應(yīng)的像元表面，并利用三維共聚焦顯微鏡測(cè)試c5通道的性能，確保其滿足使用需求，同時(shí)測(cè)試c1通道、c2通道、c3通道和c4通道的性能，確保c1通道、c2通道、c3通道和c4通道的形貌無(wú)損壞；
48、s7：c6通道的制備及測(cè)試：根據(jù)設(shè)計(jì)的c6通道的形狀及具體規(guī)格制作c6通道的掩膜板，調(diào)節(jié)光刻工藝參數(shù)，并按照設(shè)計(jì)好的c6通道的形狀及具體規(guī)格復(fù)現(xiàn)至s6中探測(cè)器對(duì)應(yīng)的像元表面，并利用三維共聚焦顯微鏡測(cè)試c6通道的性能，確保其滿足使用需求，同時(shí)測(cè)試c1通道、c2通道、本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，包括：縱向依次連接的調(diào)制層和基底，所述基底為硅基圖像傳感器，具體為CMOS圖像傳感器或CCD圖像傳感器；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，所述C1的形狀為類正方形，具體為：圓角正方形；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，所述C2的形狀為類正方形，具體為：正方形的四條邊以一定曲率向內(nèi)凹陷；
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，所述C3的形狀為類正方形，具體為：正方形的四條邊以一定曲率向外凸起；
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，所述C4的形狀為類正方形，具體為：正方形的四角處都設(shè)有圓弧形接角；
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，所述C6的形狀為類正方形，具體為：正方形的四角處都設(shè)有方形接角；
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，所述C7的形狀為類正方形，具體為：正方形的四角處都設(shè)有方形接角，且方形接角的三個(gè)角為圓弧形；
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，所述C8的形狀為類正方形，具體為：正方形的四條邊以一定曲率向內(nèi)凹陷，且在四角處都設(shè)置有方形接角；
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，所述C9的形狀為類正方形，具體為：正方形的四條邊以一定曲率向內(nèi)凹陷，四角處都設(shè)置有方形接角，且方形接角的三個(gè)角為圓弧形；
10.一種微型光譜調(diào)制系統(tǒng)的制備方法，所述方法用于制備權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，包括以下步驟：
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【技術(shù)特征摘要】
1.一種微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，包括：縱向依次連接的調(diào)制層和基底，所述基底為硅基圖像傳感器，具體為cmos圖像傳感器或ccd圖像傳感器；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，所述c1的形狀為類正方形，具體為：圓角正方形；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，所述c2的形狀為類正方形，具體為：正方形的四條邊以一定曲率向內(nèi)凹陷；
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，所述c3的形狀為類正方形，具體為：正方形的四條邊以一定曲率向外凸起；
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特征在于，所述c4的形狀為類正方形，具體為：正方形的四角處都設(shè)有圓弧形接角；
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微型光譜調(diào)制系統(tǒng)，其特...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：石晶，姚治海，蔡紅星，趙夏陽(yáng)，端木彥旭，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：吉林求是光譜數(shù)據(jù)科技有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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