【技術實現步驟摘要】
本技術屬于硅芯制備領域，涉及一種直拉式圓硅芯生長爐。
技術介紹
1、現有的硅芯大多是通過區熔的方式制備獲得的，主要通過高頻線圈、籽晶夾頭來完成拉制過程，但是此種方法，每爐所能拉制硅芯的數量有限，且在拉制過程中，所使用的步進電機和交流電機產生的脈沖會對硅芯的拉制工藝產生影響，拉制效率較低，另外現有冷卻盤也存在如下缺陷：一是冷卻盤大多采用整體式設計以及單孔結構，活接頭組裝密封，這種冷卻盤在長期真空高溫狀態下密封圈的壽命受很大影響，密封接頭處存在漏水風險，單孔的冷卻盤，在硅芯拉制過程中，硅液的熱輻射會通過冷卻盤中心孔向上直射，使整體爐室和副室的溫度溫升較高，對提拉裝置的材料要求很高；二是冷卻盤無法提升到旋片閥以上位置，導致在拉晶的過程中無法進行硅料的復投，導致晶體拉制不能持續進行；三是冷卻盤不能提升至副室端會導致在拉晶過程中硅液及爐內雜質揮發物冷凝到其側壁或底面，當冷凝厚度達到一定程度時會產生掉落的風險，影響到硅液的純度，也會有晶體拉制時卡滯晶體的風險。
技術實現思路
1、本技術為了克服至少一個現有技術的不足，提供一種直拉式圓硅芯生長爐。
2、為了實現上述目的，本技術采用以下技術方案：一種直拉式圓硅芯生長爐,包括爐體、提拉旋轉裝置、多軸提拉盤裝置和熱屏提升裝置，爐體包括主爐室和副爐室，副爐室與主爐室可拆卸連接，提拉旋轉裝置分別與爐體和多軸提拉盤裝置連接，多軸提拉盤裝置連接多組籽晶，熱屏提升裝置包括提升驅動裝置和與提升驅動裝置連接的多孔水冷套。
3、進一步的，所述主
4、進一步的，所述提拉旋轉裝置包括提拉晶升機構、旋轉機構和水平調整機構，多軸提拉盤裝置連接多組籽晶，提拉晶升機構和旋轉機構分別與多軸提拉盤裝置連接，水平調整機構與提拉晶升機構連接。
5、進一步的，所述提拉晶升機構包括提升機構以及與提升機構連接的鎢絲繩，提升機構與水平調整機構連接，鎢絲繩一端卷繞在升降卷絲軸，另一端與多軸提拉盤裝置連接；旋轉機構包括電纜收放機構和旋轉電機，電纜收放機構與副爐室連接，旋轉電機設置在多軸提拉盤裝置上并與多組籽晶聯動，電纜收放機構和旋轉電機通過電纜線連接。
6、進一步的，所述多軸提拉盤裝置包括箱體和齒輪傳動機構，齒輪傳動機構位于箱體，鎢絲繩和旋轉電機分別與箱體連接，旋轉電機的動力輸出軸與齒輪傳動機構連接，旋轉電機作為齒輪傳動機構的動力源，齒輪傳動機構連接多組籽晶。
7、進一步的，所述熱屏提升裝置連接在副爐室，熱屏提升裝置包括提升驅動裝置和多孔水冷套，提升驅動裝置與多孔水冷套連接，提升驅動裝置與副爐室連接，提升驅動裝置控制多孔水冷套上下移動。
8、進一步的，所述多孔水冷套包括至少兩組水冷盤組件，水冷盤組件包括水冷盤以及與水冷盤連接的進回水裝置，水冷盤設有與進回水裝置連通的水流通道，兩組水冷盤組件的水冷盤連接。
9、進一步的，所述進回水裝置包括進水結構和回水結構，進水結構和回水結構分別與水冷盤的水流通道連接，進水結構、水流通道以及回水結構構成進回水通道。
10、進一步的，所述進回水裝置還包括調節裝置，調節裝置包括測溫流量計和超溫開關，測溫流量計和超溫開關設置在回水結構上，超溫開關與測溫流量計連接。
11、進一步的，所述提升驅動裝置包括兩組，兩組提升驅動裝置分別連接在副爐室，兩組提升驅動裝置分別與兩組水冷盤組件連接。
12、綜上所述，本技術的有益之處在于：
13、1)本技術的冷卻套由兩組水冷盤組件構成的分體式結構，裝配簡單，水冷盤組件為一體式結構，進水管和回水管與水冷盤焊接，有效避免管道接頭在真空高溫環境下失效的風險，保證冷卻套的可靠性；兩組水冷盤組件的水冷盤具有單獨進回水結構，減少冷卻路徑，有效提高了冷卻效果；進回水裝置設置測溫流量計和超溫開關，通過測溫流量計和超溫開關實現拉晶時實時監控水溫以及流量的功能，當測溫流量計檢測的水溫超過設定值，超溫開關閾值報警，通過手動或自動干預調整水流量，通過超溫開關有效實現超溫預緊功能，進一步提高冷卻效果。
14、2)本技術硅料需要復投時，提升裝置驅動多孔水冷套上移，連接在多孔水冷套的料筒隨多孔水冷套同步上移，將多孔水冷套和料筒移動至副爐室內進行復投，旋片閥關閉將主爐室封閉，從而實現在拉制過程中可不停爐在旋片閥開和關閉的狀態切換下實現硅料的復投功能。
15、3)本技術通過提升裝置提升多孔水冷套進行上下移動，以及副爐室與主爐室可拆卸連接的結構，實現不停爐清灰功能，有效避免雜質掉落，保證硅液的純度。
16、4)本技術將旋轉裝置作為動力源，通過多軸變速箱內的結構設計，達到理想的輸出軸數量，大大提高了生產效率，大大提升了硅芯的生產效率和品質，多軸變速箱制造工藝簡單，適合大規模現代化生產。
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1.一種直拉式圓硅芯生長爐,其特征在于：包括爐體、提拉旋轉裝置、多軸提拉盤裝置和熱屏提升裝置，爐體包括主爐室和副爐室，副爐室與主爐室可拆卸連接，提拉旋轉裝置分別與爐體和多軸提拉盤裝置連接，多軸提拉盤裝置連接多組籽晶，熱屏提升裝置包括提升驅動裝置和與提升驅動裝置連接的多孔水冷套。
2.根據權利要求1所述的一種直拉式圓硅芯生長爐，其特征在于：所述主爐室連接有旋片閥，旋片閥位于副爐室和主爐室之間，旋片閥開閉控制主爐室與副爐室的通斷。
3.根據權利要求1所述的一種直拉式圓硅芯生長爐，其特征在于：所述提拉旋轉裝置包括提拉晶升機構、旋轉機構和水平調整機構，多軸提拉盤裝置連接多組籽晶，提拉晶升機構和旋轉機構分別與多軸提拉盤裝置連接，水平調整機構與提拉晶升機構連接。
4.根據權利要求3所述的一種直拉式圓硅芯生長爐，其特征在于：所述提拉晶升機構包括提升機構以及與提升機構連接的鎢絲繩，提升機構與水平調整機構連接，鎢絲繩一端卷繞在升降卷絲軸，另一端與多軸提拉盤裝置連接；旋轉機構包括電纜收放機構和旋轉電機，電纜收放機構與副爐室連接，旋轉電機設置在多軸提拉盤裝置上并與多
5.根據權利要求4所述的一種直拉式圓硅芯生長爐，其特征在于：所述多軸提拉盤裝置包括箱體和齒輪傳動機構，齒輪傳動機構位于箱體，鎢絲繩和旋轉電機分別與箱體連接，旋轉電機的動力輸出軸與齒輪傳動機構連接，旋轉電機作為齒輪傳動機構的動力源，齒輪傳動機構連接多組籽晶。
6.根據權利要求1所述的一種直拉式圓硅芯生長爐，其特征在于：所述熱屏提升裝置連接在副爐室，熱屏提升裝置包括提升驅動裝置和多孔水冷套，提升驅動裝置與多孔水冷套連接，提升驅動裝置與副爐室連接，提升驅動裝置控制多孔水冷套上下移動。
7.根據權利要求6所述的一種直拉式圓硅芯生長爐，其特征在于：所述多孔水冷套包括至少兩組水冷盤組件，水冷盤組件包括水冷盤以及與水冷盤連接的進回水裝置，水冷盤設有與進回水裝置連通的水流通道，兩組水冷盤組件的水冷盤連接。
8.根據權利要求7所述的一種直拉式圓硅芯生長爐，其特征在于：所述進回水裝置包括進水結構和回水結構，進水結構和回水結構分別與水冷盤的水流通道連接，進水結構、水流通道以及回水結構構成進回水通道。
9.根據權利要求7所述的一種直拉式圓硅芯生長爐，其特征在于：所述進回水裝置還包括調節裝置，調節裝置包括測溫流量計和超溫開關，測溫流量計和超溫開關設置在回水結構上，超溫開關與測溫流量計連接。
10.根據權利要求7所述的一種直拉式圓硅芯生長爐，其特征在于：所述提升驅動裝置包括兩組，兩組提升驅動裝置分別連接在副爐室，兩組提升驅動裝置分別與兩組水冷盤組件連接。
...【技術特征摘要】
1.一種直拉式圓硅芯生長爐,其特征在于：包括爐體、提拉旋轉裝置、多軸提拉盤裝置和熱屏提升裝置，爐體包括主爐室和副爐室，副爐室與主爐室可拆卸連接，提拉旋轉裝置分別與爐體和多軸提拉盤裝置連接，多軸提拉盤裝置連接多組籽晶，熱屏提升裝置包括提升驅動裝置和與提升驅動裝置連接的多孔水冷套。
2.根據權利要求1所述的一種直拉式圓硅芯生長爐，其特征在于：所述主爐室連接有旋片閥，旋片閥位于副爐室和主爐室之間，旋片閥開閉控制主爐室與副爐室的通斷。
3.根據權利要求1所述的一種直拉式圓硅芯生長爐，其特征在于：所述提拉旋轉裝置包括提拉晶升機構、旋轉機構和水平調整機構，多軸提拉盤裝置連接多組籽晶，提拉晶升機構和旋轉機構分別與多軸提拉盤裝置連接，水平調整機構與提拉晶升機構連接。
4.根據權利要求3所述的一種直拉式圓硅芯生長爐，其特征在于：所述提拉晶升機構包括提升機構以及與提升機構連接的鎢絲繩，提升機構與水平調整機構連接，鎢絲繩一端卷繞在升降卷絲軸，另一端與多軸提拉盤裝置連接；旋轉機構包括電纜收放機構和旋轉電機，電纜收放機構與副爐室連接，旋轉電機設置在多軸提拉盤裝置上并與多組籽晶聯動，電纜收放機構和旋轉電機通過電纜線連接。
5.根據權利要求4所述的一種直拉式圓硅芯生長爐，其特征在于：所述多軸提拉盤裝置包括箱體和齒輪傳動機構，齒輪傳動機構位于箱體，...
【專利技術屬性】
技術研發人員：曹玉寶，王嘉，李方，李鋒偉，江佳飛，
申請(專利權)人：連城凱克斯科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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