【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及除害裝置，尤其涉及一種除害機排水系統。
技術介紹
1、在半導體制造裝置、液晶面板制造裝置、太陽能電池單元制造裝置等中，使用含有硅(si)的工藝氣體、含有氟(f)的清洗氣體。例如，在半導體制造工序中，使絕緣體、金屬膜等堆積于半導體晶片上，進行利用化學氣相反應成膜的化學蒸汽沉積(cvd，chemicalvapor?deposition)處理等時，向處理腔內導入例如甲硅烷(sih4)等工藝氣體。
2、現有除害裝置的排水系統，大多通過液位感應器和電動調節閥進行加水和排水控制。在使用過程中，電動調節閥容易出現卡頓，易出現排水不及時或者排水過多的問題，導致液位偏低或過高報警，影響產品的成膜質量。
技術實現思路
1、針對現有技術的不足，本專利技術提供了一種液位控制穩定的除害機排水系統。
2、為實現以上目的，本專利技術通過以下技術方案予以實現。
3、本申請提供了一種除害機排水系統，包括排水罐以及固定設置在排水罐遠離地面一側外表面上的加熱機構、填充塔；
4、所述排水罐內設有用于容置循環水的除害腔、過渡腔，所述除害腔、過渡腔于底部位置處連通，所述過渡腔側壁上設有與排水罐外側連通且沿豎直方向延伸的排水槽，所述排水罐上還設有動力組件以及用于封堵排水槽的開閉組件；
5、所述加熱機構、填充塔位于除害腔對應位置處，所述填充塔內設有與除害腔連通的填充腔，所述填充腔遠離地面一側內壁設有與填充塔外側連通的補水口，所述填充腔內填充設有填料，所述填
6、所述開閉組件包括于豎直方向滑動設置在排水罐靠近排水槽一側端面上的封板，所述封板內于水平方向貫通設有能夠與排水槽連通的出水管路，所述封板與排水罐之間設有密封組件；
7、其中，所述動力組件用于驅動開閉組件相對排水罐沿豎直方向滑動，于所述封板的豎直滑動行程中，所述封板完全封堵排水槽，所述出水管路能夠與排水槽延伸方向的任一位置連通。
8、進一步限定，上述的除害機排水系統，其中，所述開閉組件還包括固定設置在封板遠離排水罐一側端面上的升降塊；
9、其中，所述出水管路貫通設置在封板、升降塊內。
10、進一步限定，上述的除害機排水系統，其中，所述封板靠近排水罐一側端面上設有密封腔，所述密封組件包括固定設置在除害腔靠近封板一側端面且與密封腔滑動連接的防漏墊；
11、其中，于所述封板的豎直滑動行程中，所述密封腔完全覆蓋排水槽，所述防漏墊遠離排水罐一側端面抵接密封腔對應側內壁，且用于封堵所述封板與排水罐之間于排水槽位置處的底部間隙。
12、進一步限定，上述的除害機排水系統，其中，所述密封組件還包括關于排水槽對稱且固定設置在除害腔靠近封板一側端面上的兩個第一縱向密封條；
13、所述封板靠近排水罐一側端面上關于兩個第一縱向密封條對應位置設有兩個主密封槽，于所述封板的豎直滑動行程中，兩個所述第一縱向密封條分別與對應位置主密封槽滑動連接；
14、其中，所述第一縱向密封條沿豎直方向延伸，且遠離所述排水罐一側端面與主密封槽對應側內壁抵接。
15、進一步限定，上述的除害機排水系統，其中，所述密封組件還包括關于排水槽對稱且固定設置在封板靠近排水罐一側端面上的兩個第二縱向密封條；
16、所述排水罐靠近封板一側端面上關于兩個第二縱向密封條對應位置設有兩個輔助密封槽，于所述封板的豎直滑動行程中，兩個所述第二縱向密封條分別與對應位置輔助密封槽滑動連接；
17、其中，所述第二縱向密封條沿豎直方向延伸，且遠離所述封板一側端面與輔助密封槽對應側內壁抵接。
18、進一步限定，上述的除害機排水系統，其中，所述密封組件還包括固定嵌設于封板靠近排水罐一側端面上的兩個橫向密封條，兩個所述橫向密封條分別位于密封腔靠近、遠離地面一側；
19、其中，所述橫向密封條于水平方向上延伸，且遠離所述封板一側端面與排水罐對應側端面抵接。
20、進一步限定，上述的除害機排水系統，其中，所述排水罐上固定設有支撐架，所述動力組件包括轉動設置在支撐架上的螺桿；
21、其中，所述螺桿沿豎直方向延伸，且與所述升降塊螺紋連接。
22、進一步限定，上述的除害機排水系統，其中，所述動力組件還包括固定設置在排水罐上的安裝架，所述安裝架上固定設有電機，所述電機的動力輸出端上固定設有動力軸，所述動力軸上固定設有主動齒輪；
23、所述安裝架上還轉動設有過渡軸、減速軸，所述過渡軸上固定設有與主動齒輪嚙合連接的從動齒輪，所述減速軸上固定設有槽輪、主動帶輪，所述槽輪上沿軸向環形陣列設有多個導槽；
24、其中，所述從動齒輪的直徑大于主動齒輪的直徑，所述從動齒輪上固定設有能夠與槽輪上導槽滑動連接的滑銷，所述螺桿上固定設有與主動帶輪皮帶連接的從動帶輪。
25、進一步限定，上述的除害機排水系統，其中，所述支撐架上固定設有沿豎直方向延伸的磁柵條，所述升降塊上固定設有與磁柵條配合的讀頭。
26、進一步限定，上述的除害機排水系統，其中，還包括攪拌組件，所述攪拌組件包括轉動設置在過渡腔內壁上的攪拌軸，所述攪拌軸遠離開閉組件一端延伸至除害腔內，所述攪拌軸上固定設有多個渦輪；
27、其中，所述攪拌軸上固定設有多個渦輪，至少一個所述渦輪位于除害腔內，且至少一個所述渦輪位于過渡腔內；
28、所述動力組件的過渡軸靠近地面一端延伸至過渡腔且與攪拌軸通過錐齒結構嚙合連接。
29、本專利技術至少具有以下有益效果：
30、1、將自動排水改成固定液位排水，通過調整開閉組件相對排水槽的高度實現了循環水的液位控制，有效解決液位不穩定造成的除害機報警問題，減少配件(電動調節閥)使用，同時無需通過水泵排水，降低了水泵的負荷，達到降本效果；
31、2、當動力組件驅動開閉組件升降以調整循環水的液位時，過渡軸能夠先帶動攪拌軸、渦輪轉動以攪拌循環水，由于過渡軸、減速軸之間設置為間歇傳動結構，從而開閉組件的升降速度慢于渦輪對循環水的攪拌響應速度，即能夠在排水前對循環水進行攪拌，使得循環水于均勻狀態下排出，避免除害腔、過渡腔內的循環水發生雜質沉積。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種除害機排水系統，其特征在于，包括排水罐以及固定設置在排水罐遠離地面一側外表面上的加熱機構、填充塔；
2.根據權利要求1所述的除害機排水系統，其特征在于，所述開閉組件還包括固定設置在封板遠離排水罐一側端面上的升降塊；
3.根據權利要求1所述的除害機排水系統，其特征在于，所述封板靠近排水罐一側端面上設有密封腔，所述密封組件包括固定設置在除害腔靠近封板一側端面且與密封腔滑動連接的防漏墊；
4.根據權利要求1或3所述的除害機排水系統，其特征在于，所述密封組件還包括關于排水槽對稱且固定設置在除害腔靠近封板一側端面上的兩個第一縱向密封條；
5.根據權利要求1或3所述的除害機排水系統，其特征在于，所述密封組件還包括關于排水槽對稱且固定設置在封板靠近排水罐一側端面上的兩個第二縱向密封條；
6.根據權利要求1或3所述的除害機排水系統，其特征在于，所述密封組件還包括固定嵌設于封板靠近排水罐一側端面上的兩個橫向密封條，兩個所述橫向密封條分別位于密封腔靠近、遠離地面一側；
7.根據權利要求2所述的除害機排水系統，其特征在于，
8.根據權利要求7所述的除害機排水系統，其特征在于，所述動力組件還包括固定設置在排水罐上的安裝架，所述安裝架上固定設有電機，所述電機的動力輸出端上固定設有動力軸，所述動力軸上固定設有主動齒輪；
9.根據權利要求7或8所述的除害機排水系統，其特征在于，所述支撐架上固定設有沿豎直方向延伸的磁柵條，所述升降塊上固定設有與磁柵條配合的讀頭。
10.根據權利要求1或8所述的除害機排水系統，其特征在于，還包括攪拌組件，所述攪拌組件包括轉動設置在過渡腔內壁上的攪拌軸，所述攪拌軸遠離開閉組件一端延伸至除害腔內，所述攪拌軸上固定設有多個渦輪；
...【技術特征摘要】
1.一種除害機排水系統，其特征在于，包括排水罐以及固定設置在排水罐遠離地面一側外表面上的加熱機構、填充塔；
2.根據權利要求1所述的除害機排水系統，其特征在于，所述開閉組件還包括固定設置在封板遠離排水罐一側端面上的升降塊；
3.根據權利要求1所述的除害機排水系統，其特征在于，所述封板靠近排水罐一側端面上設有密封腔，所述密封組件包括固定設置在除害腔靠近封板一側端面且與密封腔滑動連接的防漏墊；
4.根據權利要求1或3所述的除害機排水系統，其特征在于，所述密封組件還包括關于排水槽對稱且固定設置在除害腔靠近封板一側端面上的兩個第一縱向密封條；
5.根據權利要求1或3所述的除害機排水系統，其特征在于，所述密封組件還包括關于排水槽對稱且固定設置在封板靠近排水罐一側端面上的兩個第二縱向密封條；
6.根據權利要求1或3所述的除害機排水系統，其特征在于，所述密封組...
【專利技術屬性】
技術研發人員：邵春峰，
申請(專利權)人：上海中欣晶圓半導體科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。