【技術實現步驟摘要】
本技術涉及檢測，尤其涉及一種取料檢測裝置。
技術介紹
1、在晶圓制造過程中，晶圓機械臂(也能稱為取料裝置)應用于晶圓制造的各個環節，通過機械臂，能夠將晶圓運輸至各個環節當中。
2、其中，晶圓機械臂是一種專為半導體晶圓處理而設計的精密自動化設備，主要用于晶圓傳輸、搬運和處理流程中。這些晶圓機械臂通常具備高精度、高速度和高潔凈度等特點，能夠在嚴苛的無塵室環境中工作，并且能夠安全地拾取、放置和翻轉非常薄且易碎的晶圓。
3、但是在晶圓機械臂需要重復循環取料，晶圓機械臂需要不停的運動，這樣晶圓機械臂在不停的運動時會有小概率導致晶圓偏移的問題出現，當晶圓偏移并得不到及時有效的人為干預時，那么該偏移晶圓便會掉落，浪費了晶圓，降低了生產效率，增加了生產成本，且晶圓在裝置內部掉落摔碎會導致裝置內部污染的問題出現。
技術實現思路
1、有鑒于此，本技術提供了一種取料檢測裝置，用于解決現有技術中晶圓取料裝置無法察覺晶圓偏移，導致晶圓掉落以增加成本，晶圓掉落摔碎使裝置內部污染的的問題。
2、為達上述之一或部分或全部目的或是其他目的，本技術的技術方案為一種取料檢測裝置，包括殼體及設置在所述殼體上的多個取料單元，每個所述取料單元均包括驅動裝置以及受所述驅動裝置驅動并可獨立伸縮運動的取料叉，所述多個取料單元的取料叉沿高度方向排布，所述殼體相對未發生伸縮運動前的所述取料叉的位置設有支撐框架，所述支撐框架的頂部沿著所述取料叉的伸縮方向的兩側且對應所述晶圓的邊緣均設有多個垂直檢測器，
3、所述支撐框架對應位于上部的所述取料叉設有第一水平檢測器，所述殼體的頂部對應位于下部的所述取料叉設有第二水平檢測器；
4、其中，所述垂直檢測器用于檢測所有所述取料叉托取的晶圓的垂直狀態；所述第一水平檢測器和所述第二水平檢測器均用于檢測對應所述取料叉托取的晶圓的水平狀態。
5、進一步地、所述支撐框架包括第一“l”型連接臂和連接臺，所述殼體的底部上相對所述取料叉并垂直與所述伸縮方向的兩側均設有第一“l”型連接臂，且每個所述第一“l”型連接臂與所述殼體之間形成第一通行空間，所有所述取料叉均能伸縮穿行所述第一通行空間；
6、每個第一“l”型連接臂的頂端均與所述連接臺的底部連接。
7、進一步地、所述連接臺的底部沿著取料叉的伸縮方向的兩側且對應所述晶圓的邊緣均設有多個垂直檢測器。
8、進一步地、任一所述第一“l”型連接臂的上部設有第一水平檢測器。
9、進一步地、所述垂直檢測器有四個，所述連接臺的底部沿著所述取料叉的伸縮方向的兩側的兩端均設置有一個垂直檢測器，每個所述垂直檢測器均對應所述晶圓的邊緣設置，用于檢測所有所述取料叉托取的晶圓的邊緣是否處于同一垂直面。
10、進一步地、所述取料單元有四個，所述殼體垂直于所述伸縮方向的兩側壁均設有兩條滑槽，所述滑槽的滑動方向均與所述伸縮方向相平行；
11、每個所述驅動裝置均能控制所述取料叉在對應的所述滑槽上滑動，以進行水平伸縮運動。
12、進一步地、所述取料檢測裝置還包括有控制中心，所述控制中心分別與所述驅動裝置、所述垂直檢測器、所述第一水平檢測器和所述第二水平檢測器電性連接。
13、進一步地、所述殼體的形狀為長方體狀。
14、進一步地、所述第一“l”型連接臂設有多個減重孔。
15、進一步地、所述連接臺為中空環形結構。
16、與現有技術相比，本技術至少具有如下有益效果：
17、本技術能通過激光接收器和/或第一水平檢測器和/或第二水平檢測器及時檢測出取料叉托取的晶圓是否發生偏移，若晶圓發生偏移便及時有效地進行人工干預，將發生偏移的晶圓進行歸位或復位，減少晶圓掉落損壞的情況發生，以提高生產效率，降低生產成本，且還能防止出現晶圓在取料檢測裝置內部掉落摔碎導致內部污染的問題。
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1.一種取料檢測裝置，包括殼體（10）及設置在所述殼體（10）上的多個取料單元（20），每個所述取料單元（20）均包括驅動裝置以及受所述驅動裝置驅動并可獨立伸縮運動的取料叉（21），所述多個取料單元（20）的取料叉（21）沿高度方向排布，其特征在于，所述殼體（10）相對未發生伸縮運動前的所述取料叉（21）的位置設有支撐框架（11），所述支撐框架（11）的頂部沿著所述取料叉（21）的伸縮方向的兩側且對應晶圓的邊緣均設有多個垂直檢測器（30），所述殼體（10）對應每個所述垂直檢測器（30）均設有激光接收器（40）；
2.根據權利要求1所述的取料檢測裝置，其特征在于，所述支撐框架（11）包括第一“L”型連接臂（111）和連接臺（112），所述殼體（10）的底部上相對所述取料叉（21）并垂直與所述伸縮方向的兩側均設有第一“L”型連接臂（111），且每個所述第一“L”型連接臂（111）與所述殼體（10）之間形成第一通行空間（113），所有所述取料叉（21）均能伸縮穿行所述第一通行空間（113）；
3.根據權利要求2所述的取料檢測裝置，其特征在于，所述連接臺（112）
4.根據權利要求2所述的取料檢測裝置，其特征在于，任一所述第一“L”型連接臂（111）的上部設有第一水平檢測器（50）。
5.根據權利要求2所述的取料檢測裝置，其特征在于，所述垂直檢測器（30）有四個，所述連接臺（112）的底部沿著所述取料叉（21）的伸縮方向的兩側的兩端均設置有一個垂直檢測器（30），每個所述垂直檢測器（30）均對應所述晶圓的邊緣設置，用于檢測所有所述取料叉（21）托取的晶圓的邊緣是否處于同一垂直面。
6.根據權利要求1所述的取料檢測裝置，其特征在于，所述取料單元（20）有四個，所述殼體（10）垂直于所述伸縮方向的兩側壁均設有兩條滑槽（12），所述滑槽（12）的滑動方向均與所述伸縮方向相平行；
7.根據權利要求1所述的取料檢測裝置，其特征在于，所述取料檢測裝置還包括有控制中心，所述控制中心分別與所述驅動裝置、所述垂直檢測器（30）、所述第一水平檢測器（50）和所述第二水平檢測器（60）電性連接。
8.根據權利要求1所述的取料檢測裝置，其特征在于，所述殼體（10）的形狀為長方體狀。
9.根據權利要求2所述的取料檢測裝置，其特征在于，所述第一“L”型連接臂（111）設有多個減重孔（114）。
10.根據權利要求2所述的取料檢測裝置，其特征在于，所述連接臺（112）為中空環形結構。
...【技術特征摘要】
1.一種取料檢測裝置，包括殼體（10）及設置在所述殼體（10）上的多個取料單元（20），每個所述取料單元（20）均包括驅動裝置以及受所述驅動裝置驅動并可獨立伸縮運動的取料叉（21），所述多個取料單元（20）的取料叉（21）沿高度方向排布，其特征在于，所述殼體（10）相對未發生伸縮運動前的所述取料叉（21）的位置設有支撐框架（11），所述支撐框架（11）的頂部沿著所述取料叉（21）的伸縮方向的兩側且對應晶圓的邊緣均設有多個垂直檢測器（30），所述殼體（10）對應每個所述垂直檢測器（30）均設有激光接收器（40）；
2.根據權利要求1所述的取料檢測裝置，其特征在于，所述支撐框架（11）包括第一“l”型連接臂（111）和連接臺（112），所述殼體（10）的底部上相對所述取料叉（21）并垂直與所述伸縮方向的兩側均設有第一“l”型連接臂（111），且每個所述第一“l”型連接臂（111）與所述殼體（10）之間形成第一通行空間（113），所有所述取料叉（21）均能伸縮穿行所述第一通行空間（113）；
3.根據權利要求2所述的取料檢測裝置，其特征在于，所述連接臺（112）的底部沿著取料叉（21）的伸縮方向的兩側且對應所述晶圓的邊緣均設有多個垂直檢測器（30）。
4.根據權利要求2所述的取料檢測裝置，其特...
【專利技術屬性】
技術研發人員：左國軍，黃海祥，蘭天，蔡嘉雄，
申請(專利權)人：創微微電子常州有限公司，
類型：新型
國別省市：
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