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【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià),尤其是涉及一種金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置和方法。
技術(shù)介紹
1、金屬絲線,如鍵合線是一種用于電子封裝和連接的線材,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝、微電子器件等領(lǐng)域。在鍵合線的生產(chǎn)過程中,通常采用多種工藝步驟來提高鍵合線的性能,包括拉拔、退火、復(fù)繞等。
2、在鍵合線的生產(chǎn)過程中,鍵合線表面容易吸附微塵顆粒,這些微粒在后續(xù)拉拔或退火復(fù)繞工序中,容易嵌入鍵合線內(nèi)部或殘留在表面,從而惡化鍵合線的性能。鍵合線表面的潔凈度直接影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。
3、目前,檢測(cè)評(píng)價(jià)金屬絲線表面潔凈度的方法主要是通過體式顯微鏡進(jìn)行宏觀目視檢測(cè)。這種方法需要檢測(cè)人員具有豐富的經(jīng)驗(yàn),僅能進(jìn)行定性評(píng)價(jià),并且只能針對(duì)線軸最表面的一層金屬絲線進(jìn)行目測(cè),導(dǎo)致檢測(cè)樣品數(shù)量受限,難以全面評(píng)估金屬絲線的整體潔凈度情況。此外,由于檢測(cè)結(jié)果依賴于操作人員的經(jīng)驗(yàn)和判斷,因此可能存在較大的主觀誤差,影響檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和一致性。
4、有鑒于此,特提出此專利技術(shù)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)的第一目的在于提供一種金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,可實(shí)現(xiàn)對(duì)金屬絲線表面潔凈度的連續(xù)定量評(píng)價(jià)。
2、本專利技術(shù)的第二目的在于提供一種金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)方法,能夠準(zhǔn)確的對(duì)金屬絲線表面潔凈度進(jìn)行定量評(píng)價(jià)。
3、為了實(shí)現(xiàn)本專利技術(shù)的上述目的,特采用以下技術(shù)方案:
4、第一方面,本專利技術(shù)提供了一種金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,包括依次設(shè)置的荷電單元和靜電偏轉(zhuǎn)單元;
>5、所述荷電單元包括電暈線和管形陰極板,所述電暈線位于所述管形陰極板的軸向中心位置;
6、所述靜電偏轉(zhuǎn)單元包括陽極板和陰極板,所述陽極板和所述陰極板相對(duì)平行設(shè)置,且垂直于地面。
7、進(jìn)一步地,施加于所述荷電單元的電壓為uc;
8、式中,m為電暈線表面粗糙系數(shù);δ為氣體相對(duì)密度;a為電暈線的半徑,單位為cm;b為管形陰極板的內(nèi)圓半徑,單位為cm;
9、式中,a為金屬絲線與微粒間的hamaker常數(shù);dp為微粒等效直徑,單位為m;x為金屬絲線與電暈線的中心距離,單位為cm;z為微粒與金屬絲線表面的距離,單位為nm;qs為微粒飽和荷電量,單位為c。
10、進(jìn)一步地,所述管形陰極板的長度為lc;
11、式中,v為金屬絲線的移動(dòng)速度,單位為m/s;τ為荷電時(shí)間常數(shù),單位為s。
12、進(jìn)一步地,施加于所述靜電偏轉(zhuǎn)單元的電壓為ue;
13、式中,d為靜電偏轉(zhuǎn)單元的陽極板和陰極板之間的垂直距離,單位為cm。
14、進(jìn)一步地,包括以下特征(1)至(9)中的至少一種;
15、(1)所述電暈線的直徑為0.2~0.3cm;
16、(2)所述管形陰極板的內(nèi)圓半徑為1~2cm;
17、(3)所述管形陰極板的長度為100~200mm;
18、(4)所述陽極板和所述陰極板的寬度為10~30cm;
19、(5)所述陽極板和所述陰極板的高度為10~50cm;
20、(6)所述陽極板和所述陰極板之間的垂直距離為2~3cm;
21、(7)所述荷電單元中,金屬絲線和電暈線的中心距離為0.35~0.45cm;
22、(8)施加于所述荷電單元的電壓為14~31kv;
23、(9)施加于所述靜電偏轉(zhuǎn)單元的電壓為20~100kv。
24、第二方面,本專利技術(shù)還提供了一種金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)方法,采用如上所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,包括如下步驟:
25、金屬絲線進(jìn)入荷電單元使金屬絲線表面的微粒荷電后,進(jìn)入靜電偏轉(zhuǎn)單元發(fā)生偏轉(zhuǎn),根據(jù)所述金屬絲線和所述靜電偏轉(zhuǎn)單元的參數(shù)評(píng)價(jià)金屬絲線的潔凈度;其中,所述參數(shù)包括金屬絲線的偏轉(zhuǎn)角度。
26、進(jìn)一步地,滿足以下關(guān)系式:
27、式中,uc為施加于荷電單元的直流電壓,單位為kv;m為電暈線表面粗糙系數(shù);δ為氣體相對(duì)密度;a為電暈線的半徑,單位為cm;b為管形陰極板的內(nèi)圓半徑,單位為cm;
28、式中,a為金屬絲線與微粒間的hamaker常數(shù);dp為微粒等效直徑,單位為m;x為金屬絲線與電暈線的中心距離,單位為m;z為微粒與金屬絲線表面的距離,單位為nm;qs為微粒飽和荷電量,單位為c。
29、進(jìn)一步地,滿足以下關(guān)系式:式中,lc為管形陰極板的長度,單位為mm;v為金屬絲線的移動(dòng)速度,單位為m/s;τ為荷電時(shí)間常數(shù),單位為s。
30、進(jìn)一步地,滿足以下關(guān)系式:式中,ue為施加于靜電偏轉(zhuǎn)單元的陽極板和陰極板之間的直流電壓,單位為kv;d為靜電偏轉(zhuǎn)單元的陽極板和陰極板之間的垂直距離,單位為cm。
31、進(jìn)一步地,根據(jù)潔凈度指標(biāo)cl評(píng)價(jià)金屬絲線的潔凈度,cl越大,金屬絲線的潔凈度越差;
32、其中,式中,cl為潔凈度指標(biāo),單位為c/m2;dw為金屬絲線的直徑,單位為μm;ρ為金屬絲線的密度,g/cm3;g為重力加速度,單位為m/s2;d為靜電偏轉(zhuǎn)單元的陽極板和陰極板之間的垂直距離,單位為cm;α為金屬絲線偏轉(zhuǎn)角度,單位為°;ue為施加于靜電偏轉(zhuǎn)單元的陽極板和陰極板之間的直流電壓,單位為kv。
33、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本專利技術(shù)的有益效果為:
34、本專利技術(shù)的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置和方法,基于電暈效應(yīng)設(shè)計(jì)的荷電單元使金屬絲線表面微粒飽和荷電,靜電偏轉(zhuǎn)單元可靈活調(diào)控帶電絲線偏轉(zhuǎn)角度;基于靜電原理建立潔凈度、荷電量與絲線質(zhì)量、偏轉(zhuǎn)角度、電場強(qiáng)度的定量關(guān)系,定義潔凈度指標(biāo),實(shí)現(xiàn)不同材質(zhì)、線徑絲線表面潔凈度的對(duì)比與定量評(píng)價(jià);設(shè)計(jì)的荷電單元和靜電偏轉(zhuǎn)單元結(jié)構(gòu)緊湊,小巧,方便集成安裝于退火、拉絲設(shè)備后端;配合收放線機(jī)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)對(duì)金屬絲線表面潔凈度的連續(xù)定量評(píng)價(jià)。
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1.一種金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,其特征在于,包括依次設(shè)置的荷電單元和靜電偏轉(zhuǎn)單元;
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,其特征在于,施加于所述荷電單元的電壓為Uc;
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,其特征在于,所述管形陰極板的長度為lc;
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,其特征在于,施加于所述靜電偏轉(zhuǎn)單元的電壓為Ue;
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,其特征在于,包括以下特征(1)至(9)中的至少一種;
6.一種金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)方法,其特征在于,采用權(quán)利要求1~5任一項(xiàng)所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,包括如下步驟:
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)方法,其特征在于,滿足以下關(guān)系式:
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)方法,其特征在于,滿足以下關(guān)系式:式中,lc為管形陰極板的長度,單位為mm;v為金屬絲線的移動(dòng)速度,單位為m/s;τ為荷電時(shí)間常數(shù),單位為s。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)方法,其特
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)方法,其特征在于,根據(jù)潔凈度指標(biāo)Cl評(píng)價(jià)金屬絲線的潔凈度,Cl越大,金屬絲線的潔凈度越差;
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,其特征在于,包括依次設(shè)置的荷電單元和靜電偏轉(zhuǎn)單元;
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,其特征在于,施加于所述荷電單元的電壓為uc;
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,其特征在于,所述管形陰極板的長度為lc;
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,其特征在于,施加于所述靜電偏轉(zhuǎn)單元的電壓為ue;
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,其特征在于,包括以下特征(1)至(9)中的至少一種;
6.一種金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)方法,其特征在于,采用權(quán)利要求1~5任一項(xiàng)所述的金屬絲線潔凈度評(píng)價(jià)裝置,包括如下步驟:
<...【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:李元,董顯,王夢(mèng)超,李培艷,楊洋,張子晗,
申請(qǐng)(專利權(quán))人:中國機(jī)械總院集團(tuán)鄭州機(jī)械研究所有限公司,
類型:發(fā)明
國別省市:
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