【技術實現步驟摘要】
本技術屬于石英舟打磨輔助設備，具體涉及石英舟打磨測量定位機構。
技術介紹
1、石英因其材料純度高、耐高溫、耐酸、耐堿而成為制作這種硅片承載裝置材料的首選，用石英材料做成的硅片承載裝置稱為石英舟。
2、石英舟在生產過程中，石英板在焊接完成后會在其表面形成突出的焊點，為了保障質量，焊點需要進行打磨。
3、目前大都采用單主軸頭的機床進行打磨操作，在打磨過程中，因突出焊點的高度不同，因此在打磨時，會將打磨頭調節至較高的位置（超出焊點較高的距離），逐步往復進行打磨，該過程中打磨高度無法控制，僅憑借操作人員經驗去控制，打磨效率低，耗時長。
技術實現思路
1、為了解決上述技術問題，本技術的目的是提供石英舟打磨測量定位機構，以解決現有石英板表面焊點打磨高度僅憑借人工經驗，打磨效率低，打磨質量不可控的技術缺陷。
2、為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：
3、石英舟打磨測量定位機構，包括測量定位單元，該測量定位單元包括用于對待打磨石英舟的焊點高度進行測量的測量組件，所述測量組件通過驅動機構安裝在機床上。
4、測量組件包括測量座，所述測量座的底部兩側均折彎成型設置有測量板，所述測量座前側固定安裝有支撐板，所述支撐板呈l型設置，所述支撐板的上固定安裝有用于在所述測量板底部壓在待打磨石英舟的焊點頂部時，對測量板頂部與石英舟上端的石英板底部之間厚度進行測量的超聲波測厚傳感器，所述超聲波測厚傳感器與機床上的控制器電性連接。
5、作為本技
6、作為本技術的進一步方案，所述驅動機構還包括滑軌，所述滑軌固定安裝在所述安裝板上，所述滑軌上滑動設置有滑塊，所述滑塊通過連接桿與所述測量座固定連接。
7、作為本技術的進一步方案，所述連接桿的一端通過螺栓與所述測量座的一側固定連接。
8、相比于現有技術，本技術石英舟打磨測量定位機構具有以下有益效果：通過設置的測量組件配合驅動機構可對待打磨石英舟的焊點高度進行精準測量，進而可通過機床上的控制器將打磨頭的高度快速的調節至與待打磨石英舟的焊點相同的高度，進行精準打磨，有效提高打磨效率。
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1.石英舟打磨測量定位機構，其特征在于：包括測量定位單元（2），所述測量定位單元（2）包括用于對待打磨石英舟的焊點高度進行測量的測量組件，所述測量組件通過驅動機構安裝在機床上；
2.根據權利要求1所述的石英舟打磨測量定位機構，其特征在于：所述驅動機構包括安裝板（201），所述安裝板（201）固定安裝在所述機床上，所述安裝板（201）的上、下兩端均固定安裝有立板（203），兩個所述立板（203）之間轉動連接有絲杠（205），所述絲杠（205）上螺紋轉動安裝有螺母（206）所述測量座（208）與所述螺母（206）連接。
3.根據權利要求2所述的石英舟打磨測量定位機構，其特征在于：所述驅動機構還包括滑軌（202），所述滑軌（202）固定安裝在所述安裝板（201）上，所述滑軌（202）上滑動設置有滑塊（207），所述滑塊（207）通過連接桿（209）與所述測量座（208）固定連接。
4.根據權利要求3所述的石英舟打磨測量定位機構，其特征在于：所述連接桿（209）的一端通過螺栓與所述測量座（208）的一側固定連接。
【技術特征摘要】
1.石英舟打磨測量定位機構，其特征在于：包括測量定位單元（2），所述測量定位單元（2）包括用于對待打磨石英舟的焊點高度進行測量的測量組件，所述測量組件通過驅動機構安裝在機床上；
2.根據權利要求1所述的石英舟打磨測量定位機構，其特征在于：所述驅動機構包括安裝板（201），所述安裝板（201）固定安裝在所述機床上，所述安裝板（201）的上、下兩端均固定安裝有立板（203），兩個所述立板（203）之間轉動連接有絲杠（205），所述絲杠（205）上螺紋轉動安裝有螺母（...
【專利技術屬性】
技術研發人員：孔令新，鄭濤，符駿，張元龍，
申請(專利權)人：浙江泓芯新材料股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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