【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本申請(qǐng)涉及玻璃晶片研磨的領(lǐng)域，尤其是涉及一種玻璃晶片研磨裝置及工藝。
技術(shù)介紹
1、玻璃晶片在加工過(guò)程中需要進(jìn)行研磨工序，而現(xiàn)有的研磨裝置包括轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置的治具和轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置的研磨輪，治具用于放置圓形的玻璃晶片，并利用真空吸附固定，隨后研磨輪轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)玻璃晶片的表面進(jìn)行研磨作業(yè)。
2、現(xiàn)有的研磨裝置中研磨輪的升降高度固定，通過(guò)控制程序設(shè)定，當(dāng)玻璃晶片的厚度發(fā)生變化時(shí)，就對(duì)應(yīng)需要改變控制程序中的參數(shù)，以使得研磨輪下降高度適配玻璃晶片。即當(dāng)玻璃晶片厚度變化時(shí)，都需要對(duì)研磨輪的下降距離進(jìn)行重新設(shè)定，較為麻煩，即現(xiàn)有的研磨裝置適用性不強(qiáng)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了實(shí)現(xiàn)研磨輪的高度自適應(yīng)變化，提高研磨裝置的適用性，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N玻璃晶片研磨裝置及工藝。
2、本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N玻璃晶片研磨裝置及工藝采用如下的技術(shù)方案：
3、一種玻璃晶片研磨裝置，包括機(jī)體，所述機(jī)體上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有承托板，所述承托板上開(kāi)設(shè)有用于放置治具盤的容納槽，所述機(jī)體上還升降設(shè)置有安裝板，所述安裝板內(nèi)設(shè)置有第一電機(jī)，所述第一電機(jī)的輸出軸上同軸固定有套筒，所述套筒內(nèi)套設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的周側(cè)設(shè)置有插接塊，所述套筒內(nèi)開(kāi)設(shè)有插接槽，所述插接塊與插接槽插接配合，所述套筒內(nèi)設(shè)置有調(diào)節(jié)彈簧，所述調(diào)節(jié)彈簧位于轉(zhuǎn)動(dòng)桿的上側(cè)，所述調(diào)節(jié)彈簧的一端與轉(zhuǎn)動(dòng)桿連接，所述調(diào)節(jié)彈簧的另一端與套筒的內(nèi)壁連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的下端同軸固定有研磨輪；所述治具盤上沿圓周陣列有多個(gè)用于放置玻璃晶片的放置槽，所述研磨輪緣邊的轉(zhuǎn)動(dòng)軌跡經(jīng)過(guò)治具盤的圓心處
4、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，將治具盤放置進(jìn)容納槽內(nèi)，然后將玻璃晶片放置進(jìn)治具盤的放置槽內(nèi)，而后安裝板下降，安裝板的下降行程固定，研磨輪與玻璃晶片的表面抵接，而后承托板轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)研磨輪轉(zhuǎn)動(dòng)，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃晶片的研磨作業(yè)；當(dāng)玻璃晶片的厚度增大時(shí)，當(dāng)研磨輪與玻璃晶片抵接后，安裝板的下降行程還未結(jié)束，此時(shí)調(diào)節(jié)彈簧被壓縮，套筒相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)桿向下移動(dòng)，直至安裝板的下降行程結(jié)束；即利用調(diào)節(jié)彈簧使得研磨輪可自適應(yīng)玻璃晶片的厚度，不需要對(duì)控制程序中的參數(shù)進(jìn)行改變，適用性強(qiáng)，且有助于提高效率。
5、優(yōu)選的，所述機(jī)體上沿豎直方向設(shè)置有絲桿滑臺(tái)，所述安裝板與絲桿滑臺(tái)的滑臺(tái)固定連接。
6、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)，絲桿帶動(dòng)滑臺(tái)升降，即可實(shí)現(xiàn)安裝板的升降運(yùn)動(dòng)。
7、優(yōu)選的，所述機(jī)體內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接軸，所述連接軸與承托板同軸固定，所述機(jī)體內(nèi)安裝有第二電機(jī)，所述第二電機(jī)上同軸第一帶輪，所述連接軸上同軸固定有第二帶輪，所述第一帶輪和第二帶輪上繞設(shè)有第一皮帶；所述連接軸內(nèi)沿豎直方向開(kāi)設(shè)有連接孔，所述承托板位于容納槽的底壁開(kāi)設(shè)有多個(gè)吸附孔，所述連接孔和所有吸附孔連通，所述連接軸的下端通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭連接有連接管，所述機(jī)體內(nèi)設(shè)置有真空泵，所述真空泵的抽氣口與連接管連通，所述第二電機(jī)的輸出軸上同軸固定有第三帶輪，所述真空泵的輸入軸上同軸固定有第四帶輪，所述第三帶輪和第四帶輪上繞設(shè)有第二皮帶。
8、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，第二電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)第一帶輪和第三帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)，第一帶輪通過(guò)第一皮帶帶動(dòng)第二帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)，即通過(guò)連接軸帶動(dòng)承托板進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，即治具盤帶動(dòng)玻璃晶片進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，配合研磨輪的轉(zhuǎn)動(dòng)，有助于提高研磨效率；第三帶輪通過(guò)第二皮帶帶動(dòng)第四帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)，第四帶輪帶動(dòng)真空泵的輸入軸轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn)，真空泵進(jìn)行抽真空，使得吸附孔處產(chǎn)生負(fù)壓，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)治具盤和玻璃晶片的吸附固定；即在第二電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的同時(shí)可實(shí)現(xiàn)承托板的轉(zhuǎn)動(dòng)以及對(duì)治具盤和玻璃晶片的吸附固定。
9、優(yōu)選的，所述機(jī)體位于承托板的周側(cè)圍設(shè)有圍板，所述圍板在機(jī)體上圍設(shè)形成有集液槽，所述承托板的上端高于機(jī)體臺(tái)面；所述機(jī)體位于臺(tái)面上開(kāi)設(shè)有漏液口，所述機(jī)體內(nèi)設(shè)置有與漏液口連通的排液管，所述排液管上形成有擴(kuò)口部，所述排液管位于擴(kuò)口部?jī)?nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)柱，所述轉(zhuǎn)動(dòng)柱的周側(cè)圓周陣列有多個(gè)收集框，所述收集框上布設(shè)有收集網(wǎng)。
10、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，在進(jìn)行研磨過(guò)程中，研磨液處于一直噴射的狀態(tài)，研磨液會(huì)積存在集液槽中并從漏液口進(jìn)入排液管排出，因研磨過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生破碎的玻璃碎片以及磨料顆粒，為了防止在排液管內(nèi)出現(xiàn)堵塞現(xiàn)象，當(dāng)研磨液在排液管內(nèi)流通時(shí)，玻璃碎片和磨粒顆粒會(huì)被收集網(wǎng)收集，且在被收集的過(guò)程中，雜質(zhì)會(huì)堵塞收集網(wǎng)的網(wǎng)孔，即收集網(wǎng)的網(wǎng)孔面積會(huì)下降，進(jìn)而使得水流作用在收集網(wǎng)上的力增大，水流可帶動(dòng)收集網(wǎng)轉(zhuǎn)動(dòng)，提高收集網(wǎng)的瞬時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)速度，而后后續(xù)的收集網(wǎng)繼續(xù)進(jìn)行收集作業(yè)；初始情況下，因收集網(wǎng)上的網(wǎng)孔較多，因此水流作用在收集網(wǎng)上時(shí)，收集網(wǎng)的轉(zhuǎn)動(dòng)速度較慢；且在實(shí)際中，當(dāng)收集網(wǎng)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，也會(huì)存在已被收集的雜質(zhì)從收集網(wǎng)上掉落的情況，但多個(gè)收集網(wǎng)的存在，可對(duì)研磨液中的雜質(zhì)進(jìn)行緩沖和阻擋，防止雜質(zhì)堆積在一起向下流動(dòng)，同樣也可防止堵塞的情況發(fā)生。
11、優(yōu)選的，所述機(jī)體上設(shè)置有出液管，所述出液管的端部呈傾斜向下設(shè)置，且所述出液管的出液口朝向治具盤；所述機(jī)體內(nèi)設(shè)置有進(jìn)液管，所述進(jìn)液管的一端與出液管連通，所述出液管的另一端與研磨液連通，所述進(jìn)液管上形成有容納倉(cāng)，所述容納倉(cāng)內(nèi)滑移設(shè)置有用于啟閉進(jìn)液管的開(kāi)合板，所述容納倉(cāng)內(nèi)還設(shè)置有壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的一端與開(kāi)合板連接，所述壓縮彈簧的另一端與容納倉(cāng)的內(nèi)壁連接。
12、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，通過(guò)開(kāi)合板的滑移，即可實(shí)現(xiàn)進(jìn)液管的打開(kāi)，實(shí)現(xiàn)研磨液的供給，當(dāng)研磨結(jié)束后，壓縮彈簧作用在開(kāi)合板上，開(kāi)合板復(fù)位，封閉進(jìn)液管。
13、優(yōu)選的，所述連接軸的周側(cè)伸縮設(shè)置有若干主動(dòng)撥桿，所有所述主動(dòng)撥桿沿圓周陣列分布在連接軸的周側(cè)，所述機(jī)體內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸和第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸上同軸固定有第一從動(dòng)輪，所述第一從動(dòng)輪的周側(cè)圓周陣列有若干第一從動(dòng)撥桿，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸上同軸固定有第二從動(dòng)輪，所述第二從動(dòng)輪的周側(cè)圓周陣列有若干第二從動(dòng)撥桿，所述第二從動(dòng)輪位于第一從動(dòng)輪遠(yuǎn)離連接軸的一側(cè)，連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，主動(dòng)撥桿可通過(guò)第一從動(dòng)撥桿或第二從動(dòng)撥桿帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的第一從動(dòng)輪或第二從動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)；所述開(kāi)合板伸出容納倉(cāng)形成有連接板，所述連接板上設(shè)置有第一連接桿和第二連接桿，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸上同軸固定有第一驅(qū)動(dòng)輪，所述第一連接桿上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二驅(qū)動(dòng)輪，所述第一驅(qū)動(dòng)輪上開(kāi)設(shè)有第一弧形槽，所述第一弧形槽的曲率中心位于第一驅(qū)動(dòng)輪的圓心處，所述第一弧形槽的底壁呈楔形面狀，所述第二驅(qū)動(dòng)輪上偏心設(shè)置有第一驅(qū)動(dòng)桿，所述第一驅(qū)動(dòng)桿與第一弧形槽滑移配合；所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸上同軸固定有第三驅(qū)動(dòng)輪，所述第二連接桿上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第四驅(qū)動(dòng)輪，所述第三驅(qū)動(dòng)輪上開(kāi)設(shè)有第二弧形槽，所述第二弧形槽的曲率中心位于第三驅(qū)動(dòng)輪的圓心處，所述第二弧形槽的底壁呈楔形面狀，所述第四驅(qū)動(dòng)輪偏心設(shè)置有第二驅(qū)動(dòng)桿，所述第二驅(qū)動(dòng)桿與第二弧形槽滑移配合；所述第二弧形槽較高端和較低端之間的高度差大于第一弧形槽較高端和較低端之間的高度差；所述主動(dòng)撥桿上形成有避讓口，當(dāng)主動(dòng)撥桿伸長(zhǎng)與第二從動(dòng)撥桿配合時(shí)，避讓口使得主動(dòng)撥桿避讓第一從動(dòng)撥桿。
14、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，當(dāng)連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，因連接軸的轉(zhuǎn)速變化，主動(dòng)撥桿相對(duì)本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種玻璃晶片研磨裝置，其特征在于：包括機(jī)體(1)，所述機(jī)體(1)上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有承托板(2)，所述承托板(2)上開(kāi)設(shè)有用于放置治具盤(22)的容納槽(21)，所述機(jī)體(1)上還升降設(shè)置有安裝板(3)，所述安裝板(3)內(nèi)設(shè)置有第一電機(jī)(31)，所述第一電機(jī)(31)的輸出軸上同軸固定有套筒(4)，所述套筒(4)內(nèi)套設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)桿(5)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(5)的周側(cè)設(shè)置有插接塊(51)，所述套筒(4)內(nèi)開(kāi)設(shè)有插接槽(41)，所述插接塊(51)與插接槽(41)插接配合，所述套筒(4)內(nèi)設(shè)置有調(diào)節(jié)彈簧(42)，所述調(diào)節(jié)彈簧(42)位于轉(zhuǎn)動(dòng)桿(5)的上側(cè)，所述調(diào)節(jié)彈簧(42)的一端與轉(zhuǎn)動(dòng)桿(5)連接，所述調(diào)節(jié)彈簧(42)的另一端與套筒(4)的內(nèi)壁連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(5)的下端同軸固定有研磨輪(52)；所述治具盤(22)上沿圓周陣列有多個(gè)用于放置玻璃晶片的放置槽(221)，所述研磨輪(52)緣邊的轉(zhuǎn)動(dòng)軌跡經(jīng)過(guò)治具盤(22)的圓心處。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃晶片研磨裝置，其特征在于：所述機(jī)體(1)上沿豎直方向設(shè)置有絲桿滑臺(tái)(12)，所述安裝板(3)與絲桿滑臺(tái)(12)的滑臺(tái)固定連接。p>
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃晶片研磨裝置，其特征在于：所述機(jī)體(1)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接軸(6)，所述連接軸(6)與承托板(2)同軸固定，所述機(jī)體(1)內(nèi)安裝有第二電機(jī)(14)，所述第二電機(jī)(14)的輸出軸上同軸固定有第一帶輪(141)，所述連接軸(6)上同軸固定有第二帶輪(61)，所述第一帶輪(141)和第二帶輪(61)上繞設(shè)有第一皮帶(611)；所述連接軸(6)內(nèi)沿豎直方向開(kāi)設(shè)有連接孔(62)，所述承托板(2)位于容納槽(21)的底壁開(kāi)設(shè)有多個(gè)吸附孔(23)，所述連接孔(62)和所有吸附孔(23)連通，所述連接軸(6)的下端通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭連接有連接管(63)，所述機(jī)體(1)內(nèi)設(shè)置有真空泵(7)，所述真空泵(7)的抽氣口與連接管(63)連通，所述第二電機(jī)(14)的輸出軸上同軸固定有第三帶輪(142)，所述真空泵(7)的輸入軸上同軸固定有第四帶輪(71)，所述第三帶輪(142)和第四帶輪(71)上繞設(shè)有第二皮帶(72)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃晶片研磨裝置，其特征在于：所述機(jī)體(1)的位于承托板(2)的周側(cè)圍設(shè)有圍板(11)，所述圍板(11)在機(jī)體(1)上圍設(shè)形成有集液槽(111)，所述承托板(2)的上端高于機(jī)體(1)臺(tái)面；所述機(jī)體(1)位于臺(tái)面上開(kāi)設(shè)有漏液口(15)，所述機(jī)體(1)內(nèi)設(shè)置有與漏液口(15)連通的排液管(8)，所述排液管(8)上形成有擴(kuò)口部(81)，所述排液管(8)位于擴(kuò)口部(81)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)柱(82)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)柱(82)的周側(cè)圓周陣列有多個(gè)收集框(83)，所述收集框(83)上布設(shè)有收集網(wǎng)(84)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種玻璃晶片研磨裝置，其特征在于：所述機(jī)體(1)上設(shè)置有出液管(13)，所述出液管(13)的端部呈傾斜向下設(shè)置，且所述出液管(13)的出液口朝向治具盤(22)；所述機(jī)體(1)內(nèi)設(shè)置有進(jìn)液管(9)，所述進(jìn)液管(9)的一端與出液管(13)連通，所述出液管(13)的另一端與研磨液連通，所述進(jìn)液管(9)上形成有容納倉(cāng)(91)，所述容納倉(cāng)(91)內(nèi)滑移設(shè)置有用于啟閉進(jìn)液管(9)的開(kāi)合板(92)，所述容納倉(cāng)(91)內(nèi)還設(shè)置有壓縮彈簧(93)，所述壓縮彈簧(93)的一端與開(kāi)合板(92)連接，所述壓縮彈簧(93)的另一端與容納倉(cāng)(91)的內(nèi)壁連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種玻璃晶片研磨裝置，其特征在于：所述連接軸(6)的周側(cè)伸縮設(shè)置有若干主動(dòng)撥桿(64)，所有所述主動(dòng)撥桿(64)沿圓周陣列分布在連接軸(6)的周側(cè)，所述機(jī)體(1)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸(10)和第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸(20)，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸(10)上同軸固定有第一從動(dòng)輪(101)，所述第一從動(dòng)輪(101)的周側(cè)圓周陣列有若干第一從動(dòng)撥桿(1011)，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸(20)上同軸固定有第二從動(dòng)輪(201)，所述第二從動(dòng)輪(201)的周側(cè)圓周陣列有若干第二從動(dòng)撥桿(2011)，所述第二從動(dòng)輪(201)位于第一從動(dòng)輪(101)遠(yuǎn)離連接軸(6)的一側(cè)，連接軸(6)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，主動(dòng)撥桿(64)可通過(guò)第一從動(dòng)撥桿(1011)或第二從動(dòng)撥桿(2011)帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的第一從動(dòng)輪(101)或第二從動(dòng)輪(201)轉(zhuǎn)動(dòng)；所述開(kāi)合板(92)伸出容納倉(cāng)(91)形成有連接板(921)，所述連接板(921)上設(shè)置有第一連接桿(922)和第二連接桿(923)，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸(10)上同軸固定有第一驅(qū)動(dòng)輪(102)，所述第一連接桿(922)上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二驅(qū)動(dòng)輪(9221)，所述第一驅(qū)動(dòng)輪(102)上開(kāi)設(shè)有第一弧形槽(1021)，所述第一弧形槽(102...
【技術(shù)特征摘要】
1.一種玻璃晶片研磨裝置，其特征在于：包括機(jī)體(1)，所述機(jī)體(1)上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有承托板(2)，所述承托板(2)上開(kāi)設(shè)有用于放置治具盤(22)的容納槽(21)，所述機(jī)體(1)上還升降設(shè)置有安裝板(3)，所述安裝板(3)內(nèi)設(shè)置有第一電機(jī)(31)，所述第一電機(jī)(31)的輸出軸上同軸固定有套筒(4)，所述套筒(4)內(nèi)套設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)桿(5)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(5)的周側(cè)設(shè)置有插接塊(51)，所述套筒(4)內(nèi)開(kāi)設(shè)有插接槽(41)，所述插接塊(51)與插接槽(41)插接配合，所述套筒(4)內(nèi)設(shè)置有調(diào)節(jié)彈簧(42)，所述調(diào)節(jié)彈簧(42)位于轉(zhuǎn)動(dòng)桿(5)的上側(cè)，所述調(diào)節(jié)彈簧(42)的一端與轉(zhuǎn)動(dòng)桿(5)連接，所述調(diào)節(jié)彈簧(42)的另一端與套筒(4)的內(nèi)壁連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(5)的下端同軸固定有研磨輪(52)；所述治具盤(22)上沿圓周陣列有多個(gè)用于放置玻璃晶片的放置槽(221)，所述研磨輪(52)緣邊的轉(zhuǎn)動(dòng)軌跡經(jīng)過(guò)治具盤(22)的圓心處。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃晶片研磨裝置，其特征在于：所述機(jī)體(1)上沿豎直方向設(shè)置有絲桿滑臺(tái)(12)，所述安裝板(3)與絲桿滑臺(tái)(12)的滑臺(tái)固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃晶片研磨裝置，其特征在于：所述機(jī)體(1)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接軸(6)，所述連接軸(6)與承托板(2)同軸固定，所述機(jī)體(1)內(nèi)安裝有第二電機(jī)(14)，所述第二電機(jī)(14)的輸出軸上同軸固定有第一帶輪(141)，所述連接軸(6)上同軸固定有第二帶輪(61)，所述第一帶輪(141)和第二帶輪(61)上繞設(shè)有第一皮帶(611)；所述連接軸(6)內(nèi)沿豎直方向開(kāi)設(shè)有連接孔(62)，所述承托板(2)位于容納槽(21)的底壁開(kāi)設(shè)有多個(gè)吸附孔(23)，所述連接孔(62)和所有吸附孔(23)連通，所述連接軸(6)的下端通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭連接有連接管(63)，所述機(jī)體(1)內(nèi)設(shè)置有真空泵(7)，所述真空泵(7)的抽氣口與連接管(63)連通，所述第二電機(jī)(14)的輸出軸上同軸固定有第三帶輪(142)，所述真空泵(7)的輸入軸上同軸固定有第四帶輪(71)，所述第三帶輪(142)和第四帶輪(71)上繞設(shè)有第二皮帶(72)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃晶片研磨裝置，其特征在于：所述機(jī)體(1)的位于承托板(2)的周側(cè)圍設(shè)有圍板(11)，所述圍板(11)在機(jī)體(1)上圍設(shè)形成有集液槽(111)，所述承托板(2)的上端高于機(jī)體(1)臺(tái)面；所述機(jī)體(1)位于臺(tái)面上開(kāi)設(shè)有漏液口(15)，所述機(jī)體(1)內(nèi)設(shè)置有與漏液口(15)連通的排液管(8)，所述排液管(8)上形成有擴(kuò)口部(81)，所述排液管(8)位于擴(kuò)口部(81)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)柱(82)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)柱(82)的周側(cè)圓周陣列有多個(gè)收集框(83)，所述收集框(83)上布設(shè)有收集網(wǎng)(84)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種玻璃晶片研磨裝置，其特征在于：所述機(jī)體(1)上設(shè)置有出液管(13)，所述出液管(13)的端部呈傾斜向下設(shè)置，且所述出液管(13)的出液口朝向治具盤(22)；所述機(jī)體(1)內(nèi)設(shè)置有進(jìn)液管(9)，所述進(jìn)液管(9)的一端與出液管(13)連通，所述出液管(13)的另一端...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：鄭東湖，王季明，趙笑月，張金鑫，蔡疆翔，成小強(qiáng)，許明，黃必霞，潘芳琳，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：浙江羅克光電科技股份有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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