【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體晶圓超精密磨削，尤其涉及一種用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法。
技術介紹
1、碳化硅(sic)是由硅(si)和碳(c)組成的化合物半導體材料，其結合力非常強，在熱、化學、機械方面都非常穩定。sic作為第三代半導體材料的典型代表，具有更大的禁帶寬度、更高的擊穿電場、更高的熱導率、更高的電子飽和速率和更高的抗輻射能力，更加適合用來制作高溫、高頻、高輻射及大功率器件，目前已經廣泛應用于汽車電子、工業半導體等領域。
2、半導體電路最初是以晶圓(wafer)形式制造出來的，晶圓是指制作半導體電路所用的圓形的硅片，可以在晶圓基礎之上建立許多獨立的單個的電路。在晶圓制造的多個環節中需要進行定位和對準，如光刻、蝕刻、摻雜等，這些工藝都需要精確定位晶圓的方向，以確保每一步工藝與前一步保持一致。
3、晶圓的平邊(flat)或凹槽(即，notch槽，詳見圖1)設計，主要用于在晶圓的制造和處理過程中確定晶圓的類型、摻雜和晶向等信息，使得晶圓生產過程中可以更高效地進行切割和定位，進而提高生產效率。notch槽是一種具有一定角度和深度的凹型結構，國標規定notch槽(v形槽)的深度為1mm，角度為90°。通過這些平邊或凹槽標記，可以快速確定晶圓的具體晶向，進而指導后續的晶圓加工操作。晶向包括常見的(100)、(110)和(111)晶向，不同晶向的晶圓表面有不同的物理和化學性質，對器件的電性能和蝕刻工藝會產生不同的影響。因此，在加工過程中必須確保晶向的正確識別。在2英寸到6英寸的晶圓上，使用平邊(fl
4、需要說明的是，凹槽(notch槽)是晶圓邊緣的一種特殊設計，與平邊相比，notch槽更小，不占用晶圓的有效面積，并且，可以提供更多的參考點，有助于更準確、高效地定位晶圓。現代自動化設備可以更容易地識別和處理notch槽。因此，與帶有平邊的晶圓相比，基于帶有凹槽的晶圓在生產芯片方面更為高效。
5、notch槽砂輪是一種可以用于對半導體晶圓的凹槽(notch槽)進行高精度磨削的砂輪。在半導體晶圓加工領域，notch槽砂輪目前基本依賴進口，國內基本尚未起步。而且，現有的notch槽砂輪，隨著砂粒的細粒度化，會影響砂輪的使用壽命，導致砂輪的使用壽命呈現縮短的傾向。
6、因此，需要提供一種用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法，以解決上述技術問題。
技術實現思路
1、本專利技術提供了一種用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法，以解決或至少緩解上面存在的問題。
2、根據本專利技術的一個方面，提供了一種用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法，包括：按照預定配方獲取金剛石砂輪的多種原材料，所述多種原材料包括金剛石磨料、金屬結合劑粉末、添加劑，所述添加劑包括陶瓷粉、樹脂粉中的一種或多種；對所述多種原材料進行混合，以得到混合物料；將砂輪基體放入模具內，以及，將所述混合物料投放在所述模具內，以得到帶有砂輪生坯的模具；對所述帶有砂輪生坯的模具進行熱壓燒結并進行保溫后，卸下模具，得到砂輪毛坯；對所述砂輪毛坯進行加工和修整，得到金剛石砂輪。
3、可選地，在根據本專利技術的用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法中，所述金屬結合劑粉末為cu-sn體系的青銅結合劑粉末、無銅元素結合劑體系粉末、低銅元素含量結合劑體系粉末中的任一種。
4、可選地，在根據本專利技術的用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法中，所述預定配方包括金剛石砂輪的每種原材料對應的質量百分比，其中，所述金剛石磨料的質量百分比為10％-35％，所述金屬結合劑粉末的質量百分比為65％-85％，所述添加劑的質量百分比為3％-10％。
5、可選地，在根據本專利技術的用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法中，所述金剛石砂輪的多種原材料還包括輔料，所述輔料包括石墨粉或石墨顆粒；所述輔料的質量百分比為1-8％。
6、可選地，在根據本專利技術的用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法中，對所述金剛石砂輪的多種原材料進行混合，以得到混合物料，包括：對所述金剛石砂輪的多種原材料進行混合，得到混合粉末；對所述混合粉末進行噴霧造粒，得到混合物料。
7、可選地，在根據本專利技術的用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法中，對所述金剛石砂輪的多種原材料進行混合，得到混合粉末，包括：利用三維混料機，對所述金剛石砂輪的多種原材料進行混合預定時長，得到混合粉末；對所述混合粉末進行噴霧造粒，得到混合物料，包括：將所述混合粉末過篩后加入水中，同時加入表面活性劑進行攪拌，得到混合溶液；利用噴霧造粒機，對所述混合溶液進行噴霧造粒，得到混合物料。
8、可選地，在根據本專利技術的用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法中，將砂輪基體放入模具內，以及，將所述混合物料投放在所述模具內，以得到帶有砂輪生坯的模具，包括：將砂輪基體放入模具內，以及，將所述混合物料投放在所述模具內，并將所述混合物料刮平，再安裝好所述模具的上壓頭，得到帶有砂輪生坯的模具。
9、可選地，在根據本專利技術的用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法中，對所述帶有砂輪生坯的模具進行熱壓燒結并進行保溫，包括：將所述帶有砂輪生坯的模具放入熱壓燒結機；利用所述熱壓燒結機，基于預定工藝曲線，來對所述帶有砂輪生坯的模具進行熱壓燒結并進行保溫；其中，所述預定工藝曲線包括燒結溫度和保溫時長，其中，所述燒結溫度為480-650℃，所述保溫時長為3-120min。
10、可選地，在根據本專利技術的用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法中，所述砂輪毛坯包括砂輪基體和金剛石層；對所述砂輪毛坯進行加工和修整，得到金剛石砂輪，包括：先對所述砂輪毛坯的砂輪基體進行加工，再對所述砂輪毛坯的金剛石層進行加工，得到加工后砂輪坯體；利用電火花加工機床或電解磨床的修整刀具，對所述加工后砂輪坯體的槽型面進行修整，得到金剛石砂輪。
11、可選地，在根據本專利技術的用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法中，所述金屬結合劑粉末的粒度為200-5000#。
12、可選地，在根據本專利技術的用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法中，所述金屬結合劑粉末包括cu粉、sn粉、ti粉、ni粉、fe粉、cu3sn、tih2、cu3p中的一種或多種。
13、可選地，在根據本專利技術的用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法中，所述金屬結合劑粉末包括cu粉、sn粉、ti粉、ni粉、fe粉、cu3sn、tih2、cu3p中的一種或多種，所述添加劑為陶瓷粉。
14、可選地，在根據本專利技術的用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法中，所述金屬結合劑粉末包括cu粉、sn粉、ti粉本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種用于晶圓Notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法，包括：
2.如權利要求1所述的方法，其中，
3.如權利要求1或2所述的方法，其中，
4.如權利要求1-3中任一項所述的方法，其中，
5.如權利要求1-4中任一項所述的方法，其中，對所述金剛石砂輪的多種原材料進行混合，以得到混合物料，包括：
6.如權利要求5所述的方法，其中，對所述金剛石砂輪的多種原材料進行混合，得到混合粉末，包括：
7.如權利要求1-6中任一項所述的方法，其中，將砂輪基體放入模具內，以及，將所述混合物料投放在所述模具內，以得到帶有砂輪生坯的模具，包括：
8.如權利要求1-7中任一項所述的方法，其中，對所述帶有砂輪生坯的模具進行熱壓燒結并進行保溫，包括：
9.如權利要求1-8中任一項所述的方法，其中，所述砂輪毛坯包括砂輪基體和金剛石層；
10.如權利要求1-9中任一項所述的方法，其中，所述金屬結合劑粉末的粒度為200-5000#。
【技術特征摘要】
1.一種用于晶圓notch槽磨削的金剛石砂輪的制備方法，包括：
2.如權利要求1所述的方法，其中，
3.如權利要求1或2所述的方法，其中，
4.如權利要求1-3中任一項所述的方法，其中，
5.如權利要求1-4中任一項所述的方法，其中，對所述金剛石砂輪的多種原材料進行混合，以得到混合物料，包括：
6.如權利要求5所述的方法，其中，對所述金剛石砂輪的多種原材料進行混合，得到混合粉末，包括：
【專利技術屬性】
技術研發人員：張子平，尹韶輝，周仁宸，吉佛濤，董廣帥，尹志勇，
申請(專利權)人：江蘇優普納科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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