本發明專利技術涉及OLED用掩模以及OLED用掩模的制造方法，更詳細地涉及能夠制造剛性和彈性得到增強以能夠重復使用的OLED用掩模的OLED用掩模以及OLED用掩模的制造方法。所述OLED用掩模制造方法包括：提供基板的步驟；在所述基板的第一面形成薄膜的步驟；在所述薄膜的上面形成感光膜的步驟；在所述感光膜形成圖案的步驟；對應于所述圖案蝕刻所述薄膜以及所述基板的上面的一部分的步驟；去除所述感光膜的步驟；蝕刻所述基板的第二面而對應于所述圖案形成圖案孔的步驟；以及在所述薄膜的上面形成金屬膜的步驟。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及oled用掩模以及oled用掩模的制造方法，更詳細地涉及能夠制造剛性和彈性得到增強以能夠重復使用的oled用掩模的oled用掩模以及oled用掩模的制造方法。
技術介紹
1、oled(organic?light-emitting?diode)是有機發光二極管，利用有機化合物產生光。這樣的有機化合物可以當在各個像素中流動電時發出光。與等離子體顯示器或lcd(liquid?crystal?display；液晶顯示器)不同，oled顯示器不需要背光板或led背光，單個像素直接發出光，因此能夠提供高的對比度和廣視角。
2、這樣的oled制造中包括基板制造、透明電極圖案制造、有機發光物質層蒸鍍、電極圖案制造以及保護層附著等各種步驟。
3、其中，有機發光物質層蒸鍍是將oled的核心即有機發光物質層蒸鍍在tft(thinfilm?transistor；薄膜晶體管)的像素來實現。這樣的有機發光物質層起到發出光的作用，為了呈現各種顏色，使用各種有機化合物。
4、為了蒸鍍前述的有機發光物質層，使用fm(fine?mask；掩模)或者fmm(fine?metalmask；金屬掩模)，在這樣的掩模形成微細孔洞的金屬板構成。即，在蒸鍍源加熱有機物，加熱的有機物升華，綠色、紅色、藍色等的有機發光物質通過位于上方的掩模的孔洞準確地蒸鍍并配置在oled子像素。
5、其中，fm是硅基礎的掩模，根據以往技術，不使用金屬來制造，金屬的特性即剛性和彈性低，因此在清洗過程中容易破損而不能再使用。
/>技術實現思路
1、本專利技術的目的在于，為了解決上述那樣的問題，提供對硅基礎的掩模賦予剛性以及彈性而在清洗過程中也防止破損從而能夠再使用的oled用掩模以及oled用掩模的制造方法。
2、如上所述的本專利技術的目的可以通過oled用掩模制造方法來實現，所述oled用掩模制造方法包括：提供基板的步驟；在所述基板的第一面形成薄膜的步驟；在所述薄膜的上面形成感光膜的步驟；在所述感光膜形成圖案的步驟；對應于所述圖案蝕刻所述薄膜以及所述基板的上面的一部分的步驟；去除所述感光膜的步驟；蝕刻所述基板的第二面而對應于所述圖案形成圖案孔的步驟；以及在所述薄膜的上面形成金屬膜的步驟。
3、在此，可以是，所述基板由硅制造。
4、進而，可以是，蝕刻所述薄膜以及所述基板的上面的一部分的步驟以干式蝕刻執行。
5、另外，可以是，蝕刻所述薄膜以及所述基板的上面的一部分的步驟對應于所述圖案蝕刻所述薄膜以及所述基板的上面而形成圖案凹陷部，所述圖案凹陷部以貫通所述薄膜并以預先確定的深度挖出所述基板的上面的形式形成。
6、另外，可以是，當蝕刻所述基板的第二面時，以濕式蝕刻執行。
7、另一方面，可以是，蝕刻所述薄膜以及所述基板的上面的一部分的步驟對應于所述圖案蝕刻所述薄膜以及所述基板的上面而形成圖案凹陷部，所述圖案凹陷部以貫通所述薄膜并以預先確定的深度挖出所述基板的上面的形式形成，在蝕刻所述圖案孔的步驟中，將蝕刻量調節成所述圖案凹陷部暴露，所述圖案孔貫通所述薄膜和所述基板。
8、進而，可以是，所述金屬膜由選自鈹(beryllium)、鐵、鎳(nickel)、鉻(chromium)、鎢(tungsten)、鈷(cobalt)、鉬(molybdenum)、錫(sn)、鋅鈦(zn-ti)、鋁(al)、碳化鎢(tungsten?carbide)以及鉑中的任一個或者兩個以上的合金構成。
9、另外，可以是，所述金屬膜由鈹構成，或者由所述鈹和選自鐵、鎳、鉻、鎢、鈷、鉬、錫、鋅鈦、鋁、碳化鎢以及鉑中的任一個以上的合金構成。
10、另一方面，可以是，所述薄膜由氮化硅(si3n4)或者氧化硅(sio2)構成。
11、另外，如上所述的本專利技術的目的可以通過oled用掩模來實現，所述oled用掩模具備：由硅制造的基板；設置于所述基板的上面并形成圖案孔的薄膜；以及設置于所述薄膜的上面的金屬膜。
12、在此，可以是，所述金屬膜由鈹構成，或者由所述鈹和選自鐵、鎳、鉻、鎢、鈷、鉬、錫、鋅鈦、鋁、碳化鎢以及鉑中的任一個以上的合金構成。
13、根據具有前述結構的本專利技術，在硅基礎的掩模形成金屬層來賦予剛性以及彈性而在清洗過程中也防止破損從而能夠再使用。
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【技術保護點】
1.一種OLED用掩模制造方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的OLED用掩模制造方法，其特征在于，
3.根據權利要求1所述的OLED用掩模制造方法，其特征在于，
4.根據權利要求3所述的OLED用掩模制造方法，其特征在于，
5.根據權利要求1所述的OLED用掩模制造方法，其特征在于，
6.根據權利要求5所述的OLED用掩模制造方法，其特征在于，
7.根據權利要求1所述的OLED用掩模制造方法，其特征在于，
8.根據權利要求1所述的OLED用掩模制造方法，其特征在于，
9.根據權利要求1所述的OLED用掩模制造方法，其特征在于，
10.一種OLED用掩模，其特征在于，具備：
11.根據權利要求10所述的OLED用掩模，其特征在于，
【技術特征摘要】
1.一種oled用掩模制造方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的oled用掩模制造方法，其特征在于，
3.根據權利要求1所述的oled用掩模制造方法，其特征在于，
4.根據權利要求3所述的oled用掩模制造方法，其特征在于，
5.根據權利要求1所述的oled用掩模制造方法，其特征在于，
6.根據權利要求5所述的o...
【專利技術屬性】
技術研發人員：金永彬，沈愚泌，
申請(專利權)人：TES股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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