【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)屬于曝光機(jī)，具體地而言為一種曝光機(jī)位置誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測方法。
技術(shù)介紹
1、柔性薄膜曝光設(shè)備主要用于印刷電路板(pcb)制造的曝光階段，該設(shè)備是一種用于薄膜基板上制作復(fù)雜圖案和電路的精密儀器，利用光輻射將指定圖案或電路傳送到薄膜表面，這些圖案通常用于制造柔性電子設(shè)備，包括智能手機(jī)屏幕、平板電腦、柔性顯示器和傳感器等；柔性薄膜曝光機(jī)作為電路板制造的重要組成部分，在生產(chǎn)精度和效率方面遇到了持續(xù)的技術(shù)挑戰(zhàn)，因此，如何提高曝光機(jī)的生產(chǎn)精度與生產(chǎn)效率是當(dāng)前研究的重點(diǎn)和難點(diǎn)。目前的預(yù)測方法一般分為三類：田口方法、單一因素方法以及基于人工智能和機(jī)器學(xué)習(xí)的方法，這些方法不僅需要豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，還需要大量的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)積累以及專家知識，且參數(shù)預(yù)測效果波動(dòng)較大。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)所要解決的技術(shù)問題在于提供一種曝光機(jī)位置誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測方法，用于提高曝光機(jī)的位置誤差補(bǔ)償參數(shù)的預(yù)測速度與精準(zhǔn)度，進(jìn)而改善對位的精度與效率。
2、本專利技術(shù)是這樣實(shí)現(xiàn)的，
3、一種曝光機(jī)位置誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測方法，該方法包括：
4、獲取曝光機(jī)的對位點(diǎn)與對位鏡頭坐標(biāo)數(shù)據(jù)，并將數(shù)據(jù)進(jìn)行初步整理，將獲取的曝光機(jī)的對位點(diǎn)與對位鏡頭坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行坐標(biāo)系轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)化為對位平臺坐標(biāo)系，將轉(zhuǎn)換前后的坐標(biāo)作差得到對位點(diǎn)x方向和y方向的偏差值；
5、根據(jù)對位點(diǎn)x方向和y方向的偏差值計(jì)算得到對位平臺的對位中心x方向的偏差值dxj和對位平臺的對位中心y方向的偏差值dyj，j取1和2，表示上掩
6、根據(jù)對位平臺的對位中心x方向的偏差值dxj和對位平臺的對位中心y方向的偏差值dyi對角度參數(shù)進(jìn)行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換得到曝光機(jī)的上掩膜和下掩膜的對位中心點(diǎn)與對位平臺之間的角度偏差dt；
7、引入fx，fy，ft分別針對dx、dy和dt進(jìn)行誤差補(bǔ)償，使?jié)M足dx＝dy＝dt＝0；fx對位平臺在進(jìn)行對位過程中x方向的補(bǔ)償值，fy對位平臺在進(jìn)行對位過程中y方向的補(bǔ)償值，ft對位平臺在進(jìn)行對位過程中旋轉(zhuǎn)方向的補(bǔ)償值；
8、設(shè)置位置誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測模型，所述誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測模型為遺傳算法優(yōu)化的反向傳播bp神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)，通過遺傳算法優(yōu)化找出最優(yōu)參數(shù)，得到優(yōu)化后誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測模型，所述最優(yōu)參數(shù)包括：初始權(quán)重和閾值；遺傳算法優(yōu)化過程中，將誤差補(bǔ)償fx，fy，ft作為輸入?yún)?shù)，將評價(jià)預(yù)測精度作為輸出參數(shù)，所述輸出參數(shù)包括：(|e1|-|e2|)與(|θ1|-|θ2|)的加權(quán)和；其中，第一位置誤差|e1|：對位平臺位置姿態(tài)調(diào)整前的對位平臺目標(biāo)中心點(diǎn)的dx和dy的距離平方差開方，|θ1|：對位平臺姿態(tài)調(diào)整前定位點(diǎn)連線的角度偏差，第二位置誤差|e2|：對位平臺位置姿態(tài)調(diào)整后的對位平臺目標(biāo)中心點(diǎn)的dx和dy的距離平方差開方，|θ2|：對位平臺姿態(tài)調(diào)整后定位點(diǎn)連線的角度偏差；根據(jù)實(shí)際情況中對位點(diǎn)的數(shù)據(jù)處理結(jié)果獲得輸出參數(shù)的具體數(shù)值；
9、對優(yōu)化后誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測模型進(jìn)行訓(xùn)練，得到訓(xùn)練后的誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測模型；訓(xùn)練過程中采用的輸入數(shù)據(jù)為處理后的曝光機(jī)的對位點(diǎn)與對位鏡頭坐標(biāo)數(shù)據(jù)，輸出數(shù)據(jù)為對位平臺在進(jìn)行對位過程中的補(bǔ)償值；
10、采用訓(xùn)練后的誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測模型對實(shí)時(shí)獲取的處理后的曝光機(jī)的對位點(diǎn)與對位鏡頭坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理得到對位平臺在進(jìn)行對位過程中的補(bǔ)償值。
11、進(jìn)一步地，對位點(diǎn)坐標(biāo)以及對位鏡頭坐標(biāo)轉(zhuǎn)換至對位平臺坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換公式：
12、xt＝xci+xti·cos(ti)-yti·sin(ti)????????(1)
13、yt＝xci+xti.sin(ti)+yti.cos(ti)????????(2)
14、xt，yt為曝光機(jī)的對位平臺上提取數(shù)據(jù)的坐標(biāo)，xci為基于對位點(diǎn)數(shù)據(jù)的坐標(biāo)，xti，yti為未轉(zhuǎn)換的對位平臺上的數(shù)據(jù)的坐標(biāo)，ti為曝光機(jī)對位平臺內(nèi)的對位點(diǎn)偏差角度，將獲得的對位點(diǎn)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為補(bǔ)償參數(shù)，確定輸出參數(shù)，并對數(shù)據(jù)進(jìn)行篩選降重，i＝1、2、3、4。
15、進(jìn)一步地，對位平臺的對位中心x方向的偏差值dxj的公式：
16、dxj＝(dx1s+dx2s+dx3s+dx4s)/4
17、dxj為對位平臺的對位中心x方向的偏差值，dxis為每層掩膜板四個(gè)對位點(diǎn)x方向的偏差值，來自于對位點(diǎn)在轉(zhuǎn)換到對位平臺坐標(biāo)系內(nèi)的坐標(biāo)。
18、進(jìn)一步地，對位平臺的對位中心y方向的偏差值dyj的公式：
19、dyjj＝(dy1s+dy2s+dy3s+dy4s)/4
20、dyj為對位平臺的對位中心y方向的偏差值，dyis為每層掩膜板四個(gè)對位點(diǎn)在y方向的偏差值。
21、進(jìn)一步地，角度偏差dt的轉(zhuǎn)換公式為：
22、dy和dx分別為dyj和dxj的統(tǒng)
23、本專利技術(shù)與現(xiàn)有技術(shù)相比，有益效果在于：曝光機(jī)的位置誤差補(bǔ)償是提高曝光機(jī)生產(chǎn)精度的有效辦法，不僅可以提高應(yīng)多種情況下的參數(shù)選擇效果，而且可以減少對位時(shí)間、提高生產(chǎn)效率，基于ga優(yōu)化的bpnn在補(bǔ)償參數(shù)的實(shí)時(shí)預(yù)測方面，將對位平臺坐標(biāo)以及對位鏡頭坐標(biāo)統(tǒng)一到同一坐標(biāo)系內(nèi)，又通過數(shù)據(jù)處理提取出所需的補(bǔ)償參數(shù)、誤差模型，但存在著數(shù)據(jù)量過多，計(jì)算復(fù)雜，難以滿足多種生產(chǎn)中補(bǔ)償參數(shù)實(shí)時(shí)性調(diào)整的需求，進(jìn)而影響到生產(chǎn)精度和效率。經(jīng)驗(yàn)證，本專利技術(shù)提出的基于ga優(yōu)化的bpnn在補(bǔ)償參數(shù)的實(shí)時(shí)預(yù)測方法能夠有效的對位置誤差補(bǔ)償參數(shù)進(jìn)行預(yù)測；與傳統(tǒng)方法對比，不僅可以提高預(yù)測速度，也可以提高生產(chǎn)效率。該方法不需要專家知識和豐富經(jīng)驗(yàn)，僅通過對位平臺數(shù)據(jù)的處理，便可有效地增加對位效果、節(jié)約生產(chǎn)時(shí)間以及提高對位精度，對提高曝光機(jī)生產(chǎn)效率，節(jié)約生產(chǎn)成本具有重要意義。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種曝光機(jī)位置誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測方法，其特征在于，該方法包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機(jī)位置誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測方法，其特征在于，對位點(diǎn)坐標(biāo)以及對位鏡頭坐標(biāo)轉(zhuǎn)換至對位平臺坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換公式：
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機(jī)位置誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測方法，其特征在于，對位平臺的對位中心X方向的偏差值dxj的公式：
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機(jī)位置誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測方法，其特征在于，對位平臺的對位中心Y方向的偏差值dYj的公式：
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機(jī)位置誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測方法，其特征在于，角度偏差dT的轉(zhuǎn)換公式為：
【技術(shù)特征摘要】
1.一種曝光機(jī)位置誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測方法，其特征在于，該方法包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機(jī)位置誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測方法，其特征在于，對位點(diǎn)坐標(biāo)以及對位鏡頭坐標(biāo)轉(zhuǎn)換至對位平臺坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換公式：
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光機(jī)位置誤差補(bǔ)償參數(shù)預(yù)測方法，其特征在于...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：席建普，林龍峰，岳永高，聶子凱，劉釋聰，
申請(專利權(quán))人：中原工學(xué)院，
類型：發(fā)明
國別省市：
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