本申請公開一種晶圓抓取裝置，包括：活動握柄、活動板、復位模塊、基板、夾緊輪和多個限位模塊；活動握柄的第一端與基板連接，活動握柄的第二端與活動板的第一端連接，活動板的第二端與夾緊輪連接；復位模塊分別與活動板和基板連接；限位模塊與基板連接，不同的限位模塊對應不同尺寸的晶圓；活動握柄，用于在外力作用下帶動活動板和夾緊輪沿朝向遠離限位模塊的方向運動，以使晶圓能夠出入與該晶圓的尺寸對應的限位模塊限定的放置空間；復位模塊，用于驅動活動板和夾緊輪沿朝向靠近限位模塊的方向運動。本申請能夠對多種尺寸的晶圓進行抓取，并且操作方便。
【技術實現步驟摘要】
本申請涉及半導體加工，尤其涉及一種晶圓抓取裝置。
技術介紹
1、在集成電路/半導體(integrated?circuit，ic)的制造中，需要對晶圓進行取放，然而，通過手動方式進行取放晶圓的過程，但需要操作員將手伸入設備內部，極容易沾染化學藥液或被設備誤傷而發生危險。
2、目前，主要通過自動方式，即通過使用機械手配合吸盤或手指取放晶圓。
3、然而，對于絕大多數晶圓實驗測試和科研用設備，尤其是清洗領域，由于晶圓的取放頻次較低，操作即時較強和晶圓尺寸不確定性較高，使用機械手自動上料需要反復根據晶圓尺寸進行調試，造成操作不便。
技術實現思路
1、有鑒于此，本申請提供一種晶圓抓取裝置，以至少部分解決上述技術問題。
2、本申請第一方面提供一種晶圓抓取裝置，包括：活動握柄、活動板、復位模塊、基板、夾緊輪和多個限位模塊；所述活動握柄的第一端與所述基板連接，所述活動握柄的第二端與所述活動板的第一端連接，所述活動板的第二端與所述夾緊輪連接；所述復位模塊分別與所述活動板和所述基板連接；所述限位模塊與所述基板連接，不同的所述限位模塊對應不同尺寸的晶圓；所述活動握柄，用于在外力作用下帶動所述活動板和所述夾緊輪沿朝向遠離所述限位模塊的方向運動，以使晶圓能夠出入與該晶圓的尺寸對應的所述限位模塊限定的放置空間；所述復位模塊，用于驅動所述活動板和所述夾緊輪沿朝向靠近所述限位模塊的方向運動，以在所述放置空間放置有晶圓時，使所述晶圓被所述夾緊輪和對應的所述限位模塊夾持。
>3、可選地，所述復位模塊包括調節塊和彈簧，所述彈簧的一端與所述調節塊連接，所述彈簧的另一端與所述活動板連接，所述調節塊與所述基板連接。4、可選地，所述裝置還包括：滑塊和導軌，所述導軌設置在所述基板上，且所述導軌所在的直線與所述彈簧的中心線所在的直線平行，所述滑塊與所述活動板連接，且所述滑塊套設在所述導軌上。
5、可選地，所述裝置還包括：固定握柄，所述固定握柄與所述基板連接，所述固定握柄的第二端與所述活動握柄的第一端連接；所述活動握柄的第二端設置有凸塊，所述活動板的第一端設置有滑槽，所述凸塊設置在所述滑槽中。
6、可選地，所述裝置還包括：罩蓋，所述罩蓋與所述基板連接；所述滑塊、所述導軌、所述復位模塊和所述滑槽在所述基板上的投影，位于所述罩蓋在所述基板上的投影內。
7、可選地，所述裝置還包括：掛圈，所述掛圈通過連接塊與所述固定握柄的第一端連接。
8、可選地，所述活動握柄還包括：抓取部，所述抓取部設置于所述活動握柄的外表面。
9、可選地，所述限位模塊包括：多個限位塊，所述限位塊包括限位部和承載部，所述限位部沿垂直于所述基板的方向的高度高于所述承載部沿垂直于所述基板的方向的高度。
10、可選地，所述限位模塊沿垂直于所述基板的方向的高度與該限位模塊對應的晶圓的尺寸正相關。
11、可選地，所述多個限位模塊包括對應四寸晶圓的限位模塊、對應六寸晶圓的限位模塊和對應八寸晶圓的限位模塊。
12、本申請中，操作人員通過晶圓抓取裝置對晶圓進行取放，能夠保證操作人員雙手一直保持在晶圓加工設備外部，從而避免了操作人員將手伸入設備內部，沾染化學藥液或被碰傷的風險。此外，由于晶圓抓取裝置設置有多個對應不同尺寸晶圓的限位模塊，因此操作人員可以通過晶圓抓取裝置對多種規格的晶圓進行取放，并且無需對晶圓抓取裝置進行調整，操作方便。
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【技術保護點】
1.一種晶圓抓取裝置，其特征在于，包括：活動握柄、活動板、復位模塊、基板、夾緊輪和多個限位模塊；
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述復位模塊包括調節塊和彈簧，所述彈簧的一端與所述調節塊連接，所述彈簧的另一端與所述活動板連接，所述調節塊與所述基板連接。
3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：滑塊和導軌，所述導軌設置在所述基板上，且所述導軌所在的直線與所述彈簧的中心線所在的直線平行，所述滑塊與所述活動板連接，且所述滑塊套設在所述導軌上。
4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：固定握柄，所述固定握柄與所述基板連接，所述固定握柄的第二端與所述活動握柄的第一端連接；
5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：罩蓋，所述罩蓋與所述基板連接；
6.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：掛圈，所述掛圈通過連接塊與所述固定握柄的第一端連接。
7.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述活動握柄還包括：抓取部，所述抓取部設置于所述活動握柄的外表面。
8.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述限位模塊包括：多個限位塊，所述限位塊包括限位部和承載部，所述限位部沿垂直于所述基板的方向的高度高于所述承載部沿垂直于所述基板的方向的高度。
9.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述限位模塊沿垂直于所述基板的方向的高度與該限位模塊對應的晶圓的尺寸正相關。
10.根據權利要求1-9中任一所述的裝置，其特征在于，所述多個限位模塊包括對應四寸晶圓的限位模塊、對應六寸晶圓的限位模塊和對應八寸晶圓的限位模塊。
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【技術特征摘要】
1.一種晶圓抓取裝置，其特征在于，包括：活動握柄、活動板、復位模塊、基板、夾緊輪和多個限位模塊；
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述復位模塊包括調節塊和彈簧，所述彈簧的一端與所述調節塊連接，所述彈簧的另一端與所述活動板連接，所述調節塊與所述基板連接。
3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：滑塊和導軌，所述導軌設置在所述基板上，且所述導軌所在的直線與所述彈簧的中心線所在的直線平行，所述滑塊與所述活動板連接，且所述滑塊套設在所述導軌上。
4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：固定握柄，所述固定握柄與所述基板連接，所述固定握柄的第二端與所述活動握柄的第一端連接；
5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：罩蓋，所述罩蓋與所述基...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張國偉，徐俊成，張美美，王鵬，
申請(專利權)人：華海清科北京科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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