【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及靜電放電輻射電場測量，尤其涉及一種基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置及方法。
技術介紹
1、隨著微電子技術和器件工藝的迅猛發展，各種微電子器件的集成度大幅度提高。但電路中的絕緣介質層越來越薄，其互連導線的寬度與間距越來越小，這使得電子設備的電磁敏感度提高而抗過壓能力下降，電路對各種電磁干擾也變得越來越敏感。靜電放電(electro?static?discharge，esd)是一種最常見的自然干擾源，同時也是emc領域最基礎、應用場景最多、影響因素最復雜的測試項目，對電子設備具有潛在的破壞性。
2、為尋求esd實驗結果的可靠性與一致性，相關標準對esd模擬器的靜電放電電流參數和電壓參數提出了統一的要求，唯獨沒有規范esd輻射場參數。實際上，esd輻射場是靜電放電過程中非常重要的部分，產生復現性問題的原因現已考慮是當靜電放電施加到受試設備上時發生器產生的輻射電場。在esd發生器放電的過程中，放電點上的上升電流會引起輻射電場，同時發生器的內部會由其他事件產生非期望的輻射電場，由此增加的輻射電場高頻分量超過了由在放電點上具有相同的電流上升時間和峰值的等效人至金屬放電所產生的輻射電場高頻分量。如果對esd發生器的輻射點場沒有準確有效的測量，就無法對esd發生器的性能做到很好的統一，造成的結果是在esd試驗中的故障事件高度依賴于所使用的特定發生器，試驗結果的可靠性和一致性不好，最終導致事故頻發。所以早日實現對esd輻射電場的準確、可靠測量并規范其限值是十分必要的。
3、目前，在做靜電放電發生器的
技術實現思路
1、有鑒于此，本專利技術提供了一種基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置及方法，以解決或部分解決現有技術不能對靜電放電發生器的輻射電場進行準確測量的技術問題。
2、本專利技術提出的技術方案如下：
3、本專利技術第一方面提供了一種基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，包括：金屬板；電流靶，鑲嵌于所述金屬板的中部，所述電流靶的靶中心作為放電參考點，用于和待測靜電放電發生器的放電電極進行接觸放電；脈沖電場探頭，用于采集和所述放電電極位于所述金屬板的同一側的預設位置處的空間電場的電信號，將采集的電信號轉換成光信號，并通過信號光纖將光信號傳輸至接收模塊；所述接收模塊，用于將信號光纖傳輸的光信號轉換成電信號后輸入至示波器；所述示波器，用于根據所述接收模塊輸入的電信號生成并輸出靜電放電輻射電場的波形。
4、可選地，所述脈沖電場探頭包括接收天線和固定部，所述接收天線的一端和信號光纖連接，另一端穿過所述固定部并通過所述固定部固定。
5、可選地，所述接收天線為后端設有積分電路的單極子天線。
6、可選地，所述金屬板的表面設有用于減小電磁波反射的吸波材料。
7、可選地，所述預設位置與電流靶靶心位于同一平面，距離接觸放電中心點10cm，所述預設位置的高度和接觸放電中心點相同。
8、可選地，基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置還包括：夾具，用于移動并固定所述脈沖電場探頭。
9、可選地，基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置還包括：衰減器，用于采集所述電流靶和所述放電電極接觸位置的電信號，并將電信號衰減后輸出至所述示波器，通過所述示波器根據衰減后的電信號生成并輸出參考波形。
10、可選地，所述接收模塊為光電轉換器。
11、本專利技術第二方面提供了一種基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量方法，應用于如本專利技術第一方面任一項所述的基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，包括：將脈沖電場探頭固定在預設位置處，天線極化方向與電流方向保持一致；將待測靜電放電發生器設置為接觸放電模式，并將待測靜電放電發生器分別設置到若干等級電壓，在每個電壓等級下將待測靜電放電發生器的放電電極和電流靶進行若干次接觸放電；通過所述脈沖電場探頭在每個電壓等級下分別采集預設位置處的空間電場的電信號，將采集的電信號轉換成光信號，并通過信號光纖將光信號傳輸至接收模塊，通過所述接收模塊將信號光纖傳輸的光信號轉換成電信號后輸入至示波器，通過所述示波器根據所述接收模塊輸入的電信號生成并輸出靜電放電輻射電場的波形；采用時域分析算法對靜電放電輻射電場的波形進行處理，得到輻射電場的波形參數。
12、可選地，所述波形參數包括關鍵參數、特征點和統計量，對應地，采用時域分析算法對靜電放電輻射電場的波形進行處理，得到輻射電場的波形參數，包括：采用時域分析算法對靜電放電輻射電場的波形進行處理，提取靜電放電輻射電場的波形的關鍵參數并識別特征點；基于多次波形測量結果對所述關鍵參數和所述特征點進行統計分析，得到對應的統計量。
13、從以上技術方案可以看出，本專利技術具有以下優點：
14、本專利技術提供的一種基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置及方法，通過將電流靶鑲嵌于所述金屬板的中部，待測靜電放電發生器的放電電極和電流靶進行接觸放電，可以屏蔽空間電場對接收裝置影響，脈沖電場探頭將采集的電信號轉換成光信號，并通過信號光纖將光信號傳輸至接收模塊，再由接收模塊將光信號轉換為電信號后在示波器中生成并輸出靜電放電輻射電場的波形，避免外部電磁干擾對測量結果的影響，有效減少測試線路中的噪聲干擾，從而提高靜電放電輻射電場測量的準確性，解決了esd輻射電場的測量難題。
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1.一種基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，其特征在于，所述脈沖電場探頭包括接收天線和固定部，所述接收天線的一端和信號光纖連接，另一端穿過所述固定部并通過所述固定部固定。
3.根據權利要求2所述的基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，其特征在于，所述接收天線為后端設有積分電路的單極子天線。
4.根據權利要求1所述的基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，其特征在于，所述金屬板的表面設有用于減小電磁波反射的吸波材料。
5.根據權利要求1所述的基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，其特征在于，所述預設位置與電流靶靶心位于同一平面，距離接觸放電中心點10cm，所述預設位置的高度和接觸放電中心點相同。
6.根據權利要求1所述的基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，其特征在于，還包括：
7.根據權利要求1所述的基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，其特征在于，還包括：
8.根據權利要求
9.一種基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量方法，應用于如權利要求1至8任一項所述的基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，其特征在于，包括：
10.根據權利要求9所述的基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量方法，其特征在于，所述波形參數包括關鍵參數、特征點和統計量，對應地，采用時域分析算法對靜電放電輻射電場的波形進行處理，得到輻射電場的波形參數，包括：
...【技術特征摘要】
1.一種基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，其特征在于，所述脈沖電場探頭包括接收天線和固定部，所述接收天線的一端和信號光纖連接，另一端穿過所述固定部并通過所述固定部固定。
3.根據權利要求2所述的基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，其特征在于，所述接收天線為后端設有積分電路的單極子天線。
4.根據權利要求1所述的基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，其特征在于，所述金屬板的表面設有用于減小電磁波反射的吸波材料。
5.根據權利要求1所述的基于脈沖電場探頭的靜電放電輻射電場測量裝置，其特征在于，所述預設位置與電流靶靶心位于同一平面，距離接觸放電中心點10cm，所述預設位置的高...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李紅延，林浩宇，白冰，黃攀，李抵非，徐浩，
申請(專利權)人：中國計量科學研究院，
類型：發明
國別省市：
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