【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體技術制造領域輔助器械，尤其涉及一種晶圓宏觀檢查模組。
技術介紹
1、晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能之ic產品，晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅，其中在制作生產晶圓的過程中常需使用到檢查平臺易便于觀察晶圓的形狀，晶圓的檢查分為宏觀檢查和微觀檢查，在宏觀檢查時，晶圓的晶面檢查缺少裝夾晶圓的檢查裝置。
技術實現思路
1、針對上述問題，本技術提供了一種晶圓宏觀檢查模組，能實現θ1、θ2、小旋轉和大旋轉四個方向運動。
2、為解決上述技術問題，本技術所采用的技術方案是：晶圓宏觀檢查模組，包括θ1動作的第一轉動模組、θ2動作的第二轉動模組、大旋轉動作的第一旋轉模組、小旋轉動作的第二旋轉模組和夾持模組；
3、其中：第一旋轉模組包括第一電機、第一固定座和旋轉裝置，第一電機和旋轉裝置分別固定在第一固定座的上端和下端，旋轉裝置與主框架進行固定，旋轉裝置側邊安裝有第二光電感應模組，通過第一電機驅動旋轉裝置帶動整個主框架進行大旋轉動作；
4、主框架由底板、左側板和右側板構成，其中左側板和右側板的下端分別固定在底板的兩端，左側板和右側板的上端均設有鉸接軸、軸承和連接座，兩組所述連接座之間安裝有第二固定座；
5、第二固定座安裝有第二旋轉模組，第二旋轉模組包括第二電機和第一皮帶輪模組，第一皮帶輪模組上方安裝有輔助框架，輔助框架上端兩
6、輔助框架一側還固定有第二轉動模組，第二轉動模組為固定在輔助框架外側壁的第四電機，第四電機的主軸通過鍵與夾持模組進行聯動，通過第四電機帶動整個輔助框架進行θ2動作，輔助框架另一側的外側壁安裝有用于感應第二轉動模組狀態的第四光電感應模組；
7、左側板固定有第一轉動模組，右側板設有感應第一轉動模組狀態的第三光電感應模組，第一轉動模組包括左側板外壁的第二皮帶輪模組和第三電機，第三電機帶動第二皮帶輪模組進行θ1動作，即帶動第二固定做和輔助框架進行翻轉的θ1動作。
8、第一旋轉模組通過安裝模組固定在工作臺上。
9、進一步的，第一皮帶輪模組包括第一主動輪、第一從動輪和第一皮帶，第一主動輪固定在第二電機的主軸上，第一從動輪通過第一連接軸和連接板與輔助框架進行固定，連接板側邊設有第一光電感應模組，所述第二固定座上安裝有用于調節第一皮帶輪模組松緊度的第一調節裝置。
10、進一步的，第二皮帶輪模組包括第二主動輪、第二從動輪和第二皮帶，所述第二主動輪與第三電機主軸連接，第二從動輪安裝在鉸接軸的一端，且左側板上還安裝有用于調節第二皮帶輪模組松緊度的第二調節裝置。
11、進一步的，夾持模組包括設于兩端與輔助框架進行固定的安裝座和若干夾持機械手。
12、由上述對本技術結構的描述可知，和現有技術相比，本技術具有如下優點：此模組可用于6寸、8寸、12寸晶圓晶面宏觀檢查，亦可作為晶圓搬運機的中轉站，用于晶圓的預對位，通過機械手上料，把晶圓放到產品宏觀模組上，通過夾持機械手兩軸靠位進行夾持動作。此模組可實現θ1、θ2、小旋轉和大旋轉四個方向運動，能夠更完整的通過四軸同時運動，對晶圓宏觀檢查更加完整。
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1.晶圓宏觀檢查模組，其特征在于：包括第一轉動模組、第二轉動模組、第一旋轉模組、第二旋轉模組和夾持模組；
2.根據權利要求1所述的晶圓宏觀檢查模組，其特征在于：所述第一旋轉模組通過安裝模組(16)固定在工作臺上。
3.根據權利要求1所述的晶圓宏觀檢查模組，其特征在于：所述第一皮帶輪模組包括第一主動輪(17)、第一從動輪(18)和第一皮帶(19)，第一主動輪(17)固定在第二電機(12)的主軸上，第一從動輪(18)通過連接軸(20)和連接板(21)與輔助框架(13)進行固定，連接板(21)側邊設有第一光電感應模組(22)，所述第二固定座(11)上安裝有用于調節第一皮帶輪模組松緊度的第一調節裝置(23)。
4.根據權利要求1所述的晶圓宏觀檢查模組，其特征在于：所述第二皮帶輪模組包括第二主動輪(24)、第二從動輪(25)和第二皮帶(26)，所述第二主動輪(24)與第三電機(15)主軸連接，第二從動輪(25)安裝在鉸接軸(8)的一端，且左側板(6)上還安裝有用于調節第二皮帶輪模組松緊度的第二調節裝置(27)。
5.根據權利要求1所述的晶圓宏
6.根據權利要求1所述的晶圓宏觀檢查模組，其特征在于：所述右側板(7)設有感應第一轉動模組狀態的第三光電感應模組(30)。
7.根據權利要求1所述的晶圓宏觀檢查模組，其特征在于：所述輔助框架(13)另一側的外側壁安裝有用于感應第二轉動模組狀態的第四光電感應模組(31)。
...【技術特征摘要】
1.晶圓宏觀檢查模組，其特征在于：包括第一轉動模組、第二轉動模組、第一旋轉模組、第二旋轉模組和夾持模組；
2.根據權利要求1所述的晶圓宏觀檢查模組，其特征在于：所述第一旋轉模組通過安裝模組(16)固定在工作臺上。
3.根據權利要求1所述的晶圓宏觀檢查模組，其特征在于：所述第一皮帶輪模組包括第一主動輪(17)、第一從動輪(18)和第一皮帶(19)，第一主動輪(17)固定在第二電機(12)的主軸上，第一從動輪(18)通過連接軸(20)和連接板(21)與輔助框架(13)進行固定，連接板(21)側邊設有第一光電感應模組(22)，所述第二固定座(11)上安裝有用于調節第一皮帶輪模組松緊度的第一調節裝置(23)。
4.根據權利要求1所述的晶圓宏觀檢查模組，其特征在于：...
【專利技術屬性】
技術研發人員：田金泉，王廣祿，李濤，陳曦，
申請(專利權)人：憬承光電科技廈門有限公司，
類型：新型
國別省市：
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