【技術實現步驟摘要】
本技術涉及硅片清洗，具體涉及一種硅片清洗花籃。
技術介紹
1、硅片是半導體制造中的基礎材料，它是從高純度硅材料中切割出來的薄片，用于制造集成電路、太陽能電池和其他電子器件，硅片清洗是半導體制造過程中的一個關鍵步驟，它對于確保硅片表面的純凈度和后續工藝的成功至關重要。清洗過程旨在去除硅片表面的污染物，包括有機物、無機鹽、金屬離子、顆粒和其他雜質，硅片清洗無論何種方法都需要將硅片插入抗變形抗化學腐蝕的花籃中清洗，這種花籃能夠裝各個硅片均勻分開以便完成清洗。隨著市場上硅片的片厚逐漸變薄，當硅片厚度較小時會出現粘片現象，嚴重影響生產效率及產品質量。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種硅片清洗花籃，以解決上述
技術介紹
中提出的問題。
2、為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：一種硅片清洗花籃，包括兩個花籃側板，兩個所述花籃側板之間固定裝配有兩個連板，兩個所述花籃側板和兩個所述連板形成框架，兩個所述花籃側板之間上端固定裝配有兩個頂梁，兩個所述連板的內側壁固定裝配有多個花籃夾板，所述花籃夾板的外壁通過防粘片結構與頂梁相連。
3、優選的，所述防粘片結構包括支筒，所述支筒固定裝配于頂梁的側壁，所述支筒的內壁滑動裝配有連桿，所述連桿為l形狀，所述連桿的側壁固定裝配有把桿，所述連桿的內側端下側固定裝配有凸塊，所述凸塊與花籃夾板的側壁相貼合。
4、優選的，兩個所述花籃側板之間上端固定裝配有兩個輔助支桿。
5、與現有技術相比，本技術的有益效果是：通過花
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1.一種硅片清洗花籃，其特征在于：包括兩個花籃側板(1)，兩個所述花籃側板(1)之間固定裝配有兩個連板(2)，兩個所述花籃側板(1)和兩個所述連板(2)形成框架，兩個所述花籃側板(1)之間上端固定裝配有兩個頂梁(3)，兩個所述連板(2)的內側壁固定裝配有多個花籃夾板(4)，所述花籃夾板(4)的外壁通過防粘片結構(5)與頂梁(3)相連。
2.根據權利要求1所述的一種硅片清洗花籃，其特征在于：所述防粘片結構(5)包括支筒(53)，所述支筒(53)固定裝配于頂梁(3)的側壁，所述支筒(53)的內壁滑動裝配有連桿(52)，所述連桿(52)為L形狀，所述連桿(52)的側壁固定裝配有把桿(54)，所述連桿(52)的內側端下側固定裝配有凸塊(51)，所述凸塊(51)與花籃夾板(4)的側壁相貼合。
3.根據權利要求1所述的一種硅片清洗花籃，其特征在于：兩個所述花籃側板(1)之間上端固定裝配有兩個輔助支桿(6)。
【技術特征摘要】
1.一種硅片清洗花籃，其特征在于：包括兩個花籃側板(1)，兩個所述花籃側板(1)之間固定裝配有兩個連板(2)，兩個所述花籃側板(1)和兩個所述連板(2)形成框架，兩個所述花籃側板(1)之間上端固定裝配有兩個頂梁(3)，兩個所述連板(2)的內側壁固定裝配有多個花籃夾板(4)，所述花籃夾板(4)的外壁通過防粘片結構(5)與頂梁(3)相連。
2.根據權利要求1所述的一種硅片清洗花籃，其特征在于：所述防粘片結...
【專利技術屬性】
技術研發人員：郭躍，祖佳葆，劉哲，
申請(專利權)人：錦州佑華硅材料有限公司，
類型：新型
國別省市：
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