【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及晶圓加工，具體的是一種大尺寸晶圓夾持機構(gòu)。
技術(shù)介紹
1、晶圓通常由高純度的單晶硅制成，具有非常高的純度和平整度，這種硅晶片在制造過程中，通過一系列復(fù)雜的工藝，如化學(xué)氣相沉積、光刻、蝕刻、離子注入等，可以在其上構(gòu)建出晶體管、二極管、場效應(yīng)晶體管、光電器件等電子元器件，以及集成電路，而為了對晶圓進行加工，就需要使用到晶圓夾持機構(gòu)。
2、現(xiàn)有技術(shù)中公開了專利申請?zhí)枴癱n202021104496.4”，一種芯片加工晶圓夾持裝置，包括：基座、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、間距調(diào)整機構(gòu)、固定機構(gòu)和控制器；旋轉(zhuǎn)機構(gòu)沿上下方向安裝在所述基座的內(nèi)側(cè)頂端中心位置，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的頂端延伸出基座的上表面；間距調(diào)整機構(gòu)沿左右方向安裝在所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的頂端；固定機構(gòu)安裝在所述間距調(diào)整機構(gòu)的頂端；控制器安裝在所述基座的前側(cè)中心位置。
3、該晶圓夾持裝置僅能夠?qū)崿F(xiàn)對不同規(guī)格尺寸的晶圓進行吸附固定，但是這樣無法對晶圓的四周進行限位固定，使得晶圓夾持時的穩(wěn)定性較差，同時如果夾持的力度過大，還會導(dǎo)致直接夾傷晶圓，增加成本，從而影響到晶圓夾持時的安全性，不便于使用。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本技術(shù)的目的在于提供一種大尺寸晶圓夾持機構(gòu)，以解決上述
技術(shù)介紹
中提出的問題。
2、本技術(shù)的目的可以通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：
3、一種大尺寸晶圓夾持機構(gòu)，包括底板，底板的上端面安裝有安裝座，安裝座的上端面固定連接有用于移動晶圓的機械臂，機械臂的下端面連接有用于晶圓夾持機構(gòu)主體升降的電動推桿，電動推桿的下端面
4、限位座的內(nèi)部滑動連接有第一滑動板、第二滑動板，第一滑動板與第二滑動板之間連接有兩個連接彈簧，第一滑動板、第二滑動板的兩端均滑動連接有兩個滑桿，兩個滑桿的后端面安裝有連接板，第一滑動板、第二滑動板的內(nèi)側(cè)面均連接有用于夾持晶圓的弧形凹板，兩個弧形凹板的內(nèi)部均連接有海綿塊。
5、優(yōu)選的，兩個弧形凹板內(nèi)部的底端均安裝有橡膠墊，晶圓夾持機構(gòu)主體的下端面轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸的下端面連接有雙頭凸板，雙頭凸板的兩端均螺紋連接有螺桿，兩個螺桿的一側(cè)均固定連接有凸輪。
6、優(yōu)選的，轉(zhuǎn)軸的上側(cè)貫穿晶圓夾持機構(gòu)主體并延伸至晶圓夾持機構(gòu)主體的上端面，轉(zhuǎn)軸的上端面通過電機安裝板固定連接有第一伺服電機，限位座的內(nèi)部安裝有用于限位第一滑動板、第二滑動板的兩個擋板。
7、優(yōu)選的，晶圓夾持機構(gòu)主體的兩端均安裝有固定側(cè)板，兩個固定側(cè)板的內(nèi)側(cè)面均轉(zhuǎn)動連接有雙向螺紋轉(zhuǎn)桿，雙向螺紋轉(zhuǎn)桿的外表面螺紋連接有兩個螺紋夾板，兩個螺紋夾板的內(nèi)側(cè)面均固定安裝有定位板，兩個螺紋夾板的內(nèi)側(cè)面均陣列連接有橡膠條。
8、優(yōu)選的，雙向螺紋轉(zhuǎn)桿的右側(cè)貫穿固定側(cè)板并延伸至固定側(cè)板的右端面，雙向螺紋轉(zhuǎn)桿的右端面通過電機安裝板固定連接有第二伺服電機，兩個固定側(cè)板的內(nèi)側(cè)面連接有兩個限位桿，兩個限位桿的外表面與螺紋夾板的兩端滑動連接。
9、優(yōu)選的，連接彈簧的一側(cè)連接在第一滑動板的后端面，且連接彈簧的另一側(cè)連接在第二滑動板的前端面，第二滑動板位于第一滑動板的后側(cè)。
10、本技術(shù)的有益效果：
11、1、本技術(shù)通過兩個凸輪的同時轉(zhuǎn)動而擠壓第二滑動板和連接板，這樣具有彈力的第一滑動板、第二滑動板便可在兩個滑桿上相向移動，讓兩個弧形凹板處的海綿塊便可貼合夾持到晶圓的兩端，隨后兩個螺紋夾板可以相向移動而適應(yīng)性夾持到晶圓的另外兩端，這樣就會對晶圓的四周進行限位固定，提升晶圓夾持時的穩(wěn)定性；
12、2、本技術(shù)通過利用兩個弧形凹板處的橡膠墊以及兩個螺紋夾板處的橡膠條可以減弱夾持的力度，這樣就可以彈性夾持到晶圓的四周，更好的保護夾持機構(gòu)上的晶圓，避免夾持力過大而直接夾傷晶圓，同時利用螺桿可以更換不同長度的凸輪，以便推動兩個弧形凹板適配夾持不同尺寸的晶圓，提高晶圓夾持機構(gòu)的靈活性。
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1.一種大尺寸晶圓夾持機構(gòu)，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的上端面安裝有安裝座(2)，所述安裝座(2)的上端面固定連接有用于移動晶圓的機械臂(3)，所述機械臂(3)的下端面連接有用于晶圓夾持機構(gòu)主體(5)升降的電動推桿(4)，所述電動推桿(4)的下端面固定安裝有晶圓夾持機構(gòu)主體(5)，所述晶圓夾持機構(gòu)主體(5)的下端面固定連接有限位座(6)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸晶圓夾持機構(gòu)，其特征在于，兩個所述弧形凹板(12)內(nèi)部的底端均安裝有橡膠墊(13)，所述晶圓夾持機構(gòu)主體(5)的下端面轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)軸(111)，所述轉(zhuǎn)軸(111)的下端面連接有雙頭凸板(15)，所述雙頭凸板(15)的兩端均螺紋連接有螺桿(16)，兩個所述螺桿(16)的一側(cè)均固定連接有凸輪(17)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種大尺寸晶圓夾持機構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸(111)的上側(cè)貫穿晶圓夾持機構(gòu)主體(5)并延伸至晶圓夾持機構(gòu)主體(5)的上端面，所述轉(zhuǎn)軸(111)的上端面通過電機安裝板固定連接有第一伺服電機(18)，所述限位座(6)的內(nèi)部安裝有用于限位第一滑動板(7)、第
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸晶圓夾持機構(gòu)，其特征在于，所述晶圓夾持機構(gòu)主體(5)的兩端均安裝有固定側(cè)板(20)，兩個所述固定側(cè)板(20)的內(nèi)側(cè)面均轉(zhuǎn)動連接有雙向螺紋轉(zhuǎn)桿(21)，所述雙向螺紋轉(zhuǎn)桿(21)的外表面螺紋連接有兩個螺紋夾板(23)，兩個所述螺紋夾板(23)的內(nèi)側(cè)面均固定安裝有定位板(24)，兩個所述螺紋夾板(23)的內(nèi)側(cè)面均陣列連接有橡膠條(25)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種大尺寸晶圓夾持機構(gòu)，其特征在于，所述雙向螺紋轉(zhuǎn)桿(21)的右側(cè)貫穿固定側(cè)板(20)并延伸至固定側(cè)板(20)的右端面，所述雙向螺紋轉(zhuǎn)桿(21)的右端面通過電機安裝板固定連接有第二伺服電機(22)，兩個所述固定側(cè)板(20)的內(nèi)側(cè)面連接有兩個限位桿(26)，兩個所述限位桿(26)的外表面與螺紋夾板(23)的兩端滑動連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸晶圓夾持機構(gòu)，其特征在于，所述連接彈簧(9)的一側(cè)連接在第一滑動板(7)的后端面，且連接彈簧(9)的另一側(cè)連接在第二滑動板(8)的前端面，第二滑動板(8)位于第一滑動板(7)的后側(cè)。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種大尺寸晶圓夾持機構(gòu)，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的上端面安裝有安裝座(2)，所述安裝座(2)的上端面固定連接有用于移動晶圓的機械臂(3)，所述機械臂(3)的下端面連接有用于晶圓夾持機構(gòu)主體(5)升降的電動推桿(4)，所述電動推桿(4)的下端面固定安裝有晶圓夾持機構(gòu)主體(5)，所述晶圓夾持機構(gòu)主體(5)的下端面固定連接有限位座(6)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸晶圓夾持機構(gòu)，其特征在于，兩個所述弧形凹板(12)內(nèi)部的底端均安裝有橡膠墊(13)，所述晶圓夾持機構(gòu)主體(5)的下端面轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)軸(111)，所述轉(zhuǎn)軸(111)的下端面連接有雙頭凸板(15)，所述雙頭凸板(15)的兩端均螺紋連接有螺桿(16)，兩個所述螺桿(16)的一側(cè)均固定連接有凸輪(17)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種大尺寸晶圓夾持機構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸(111)的上側(cè)貫穿晶圓夾持機構(gòu)主體(5)并延伸至晶圓夾持機構(gòu)主體(5)的上端面，所述轉(zhuǎn)軸(111)的上端面通過電機安裝板固定連接有第一伺服電機(18)，所述限位座(6)的內(nèi)部安裝有用于限位第一滑動板(7)、第二滑動...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：任凱，徐志先，劉亮，
申請(專利權(quán))人：博納半導(dǎo)體設(shè)備浙江有限公司，
類型：新型
國別省市：
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