【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種半導體檢測，特別涉及一種led測試用針座組件及探針臺。
技術介紹
1、在晶圓測試過程中，通常需要對晶圓的晶粒進行測試。對晶粒的測試的方式大致為：將探針的針尖與晶粒上的焊盤接觸，測試系統通過探針向晶粒輸入特定的電信號，并通過探針接收晶粒所反饋的電信號，測試系統根據該反饋信號判斷晶粒是否合格。晶粒的測試人員會將探針安裝在一個手動位移平臺上，從而形成一個探針模組。使用者可以通過位移平臺對探針的位置進行微調，從而使探針沿x軸、y軸或z軸運動，從而使探針的位置能夠與晶粒的位置相匹配。
2、現有技術中，為了實現針座組件的小型化，如專利號cn202221255308.7，探針的水平調節通過在水平角度內轉動實現，將探針安裝部安裝在旋轉本體上，旋轉本體轉動而帶動探針轉動，眾所周知，旋轉軸通過軸承實現轉動安裝，但軸承安裝時，軸承安裝孔與軸承之間存在間隙，不利于定位的穩定性和角度調節的精確性。
技術實現思路
1、本技術旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本技術提出一種led測試用針座組件，能夠在一定程度上消除軸承安裝間隙，提升定位的穩定性和角度調節的精確性。
2、本技術還提供了一種探針臺。
3、根據本技術實施例的一種led測試用針座組件，包括組件本體、擺動部和探針安裝部。所述擺動部設置在所述組件本體上，所述擺動部沿豎直方向開設上下分布的兩個第一軸承安裝孔，每個所述第一軸承安裝孔中均設有第一支撐軸承，兩個所述第一支撐軸承用于安裝擺動軸；所述擺動
4、根據本技術實施例的一種led測試用針座組件，至少具有如下有益效果：
5、應用上述實施例的技術，通過擰緊上下分布的兩個第一鎖緊螺釘，可以把第一支撐軸承緊密地固定在第一軸承安裝孔內，在一定程度上消除軸承的安裝間隙，實現第一支撐軸承與第一軸承安裝孔之間的零間隙定位，有利于提高擺動軸的定位精度和定位的穩定性，以及角度調節的精確性；并且，拆裝擺動軸時，通過松開第一鎖緊螺釘，擺動軸的第一軸承安裝孔會在材料的彈性變形作用下放松對第一支撐軸承的抱緊力，方便第一支撐軸承和擺動軸的安裝與拆卸。
6、根據本技術的一些實施例，所述探針安裝部遠離所述探針的一端沿豎直方向開設有軸孔，所述探針安裝部對應所述軸孔設有第二抱緊避讓槽，所述第二抱緊避讓槽連通所述軸孔，所述探針安裝部對應所述第二抱緊避讓槽穿設有第二鎖緊螺釘，通過擰緊所述第二鎖緊螺釘能夠調節所述第二抱緊避讓槽的間距。
7、根據本技術的一些實施例，所述組件本體上設有凸輪，所述凸輪止抵于所述探針安裝部遠離所述探針的一端，所述凸輪轉動能夠驅動所述探針安裝部擺動。
8、根據本技術的一些實施例，所述組件本體沿所述凸輪的軸向設有錐形的第二軸承安裝孔，所述第二軸承安裝孔內設有沿軸向布置的兩個第二支撐軸承，所述第二支撐軸承用于安裝所述轉軸，所述轉軸與所述凸輪驅動連接；所述第二支撐軸承和所述第二軸承安裝孔之間設有軸承抱緊錐套，其中，遠離所述凸輪的所述第二支撐軸承的外圈向外翻折形成翻邊，所述翻邊的底面止抵于所述軸承抱緊錐套的端部，所述組件本體上沿所述凸輪的軸向設有壓緊螺釘，所述壓緊螺釘的螺帽止抵于所述翻邊的頂面。
9、根據本技術的一些實施例，所述凸輪的一端設有撥動部；所述組件本體沿豎直方向螺接有第一調節螺桿，所述第一調節螺桿的底部止抵于所述撥動部。
10、根據本技術的一些實施例，所述組件本體對應所述第一調節螺桿的安裝位置開設有第一臺階孔，所述第一臺階孔中設有第一臺階螺帽，所述第一調節螺桿配合安裝在所述第一臺階螺帽中；所述組件本體上開設有第三抱緊避讓槽，所述第三抱緊避讓槽與所述第一臺階孔連通，所述組件本體對應所述第三抱緊避讓槽穿設有第三鎖緊螺釘，通過擰緊所述第三鎖緊螺釘能夠調節所述第三抱緊避讓槽的間距。
11、根據本技術的一些實施例，所述組件本體還包括安裝座、z向移動座和y向移動座。所述安裝座用于安裝于探針臺。所述z向移動座滑動安裝于所述安裝座，并能夠沿z軸方向滑動。所述y向移動座滑動安裝于所述z向移動座，并能夠沿y軸方向滑動，所述擺動部設置在所述y向移動座上。
12、根據本技術的一些實施例，所述z向移動座上螺接有第二調節螺桿，當所述第二調節螺桿轉動，所述z向移動座能夠相對于所述y向移動座沿z軸方向移動；所述z向移動座設有第二臺階孔，所述第二臺階孔中設有第二臺階螺帽，所述第二調節螺桿位于所述第二臺階螺帽中；所述z向移動座上開設有第四抱緊避讓槽，所述第四抱緊避讓槽與所述第二臺階孔連通，所述z向移動座對應所述第四抱緊避讓槽穿設有第四鎖緊螺釘，通過擰緊所述第四鎖緊螺釘能夠調節所述第四抱緊避讓槽的間距。
13、根據本技術的一些實施例，所述y向移動座通過雙滑塊滑動安裝在所述z向移動座上。
14、根據本技術的一些實施例，所述y向移動座上螺接有第三調節螺桿，當所述第三調節螺桿轉動，所述y向移動座能夠相對于所述安裝座沿y軸方向移動；所述y向移動座設有第三臺階孔，所述第三臺階孔中設有第三臺階螺帽，所述第三臺階螺帽中設有第四調節螺桿；所述y向移動座上開設有第五抱緊避讓槽，所述第五抱緊避讓槽與所述第三臺階孔連通，所述y向移動座對應所述第五抱緊避讓槽穿設有第五鎖緊螺釘，通過擰緊所述第五鎖緊螺釘能夠調節所述第五抱緊避讓槽的間距。
15、根據本技術的一些實施例，所述z向移動座通過雙滑塊滑動安裝于所述安裝座。
16、根據本技術實施例的一種探針臺，設有如上述實施例所述的led測試用針座組件。
17、本技術的探針臺，在一定程度上消除第一支撐軸承的安裝間隙，有利于提高擺動軸的定位精度和定位的穩定性，以及角度調節的精確性；并且，拆裝擺動軸時，通過松開第一鎖緊螺釘，擺動軸的第一軸承安裝孔會在材料的彈性變形作用下放松對第一支撐軸承的抱緊力，方便零部件的裝配與拆卸。
18、本技術的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本技術的實踐了解到。
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1.一種LED測試用針座組件，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的LED測試用針座組件，其特征在于：所述探針安裝部遠離所述探針的一端沿豎直方向開設有軸孔，所述探針安裝部對應所述軸孔設有第二抱緊避讓槽，所述第二抱緊避讓槽連通所述軸孔，所述探針安裝部對應所述第二抱緊避讓槽穿設有第二鎖緊螺釘，通過擰緊所述第二鎖緊螺釘能夠調節所述第二抱緊避讓槽的間距。
3.根據權利要求1所述的LED測試用針座組件，其特征在于：所述組件本體上設有凸輪，所述凸輪止抵于所述探針安裝部遠離所述探針的一端，所述凸輪轉動能夠驅動所述探針安裝部擺動。
4.根據權利要求3所述的LED測試用針座組件，其特征在于：所述組件本體沿所述凸輪的軸向設有錐形的第二軸承安裝孔，所述第二軸承安裝孔內設有沿軸向布置的兩個第二支撐軸承，所述第二支撐軸承用于安裝轉軸，所述轉軸與所述凸輪驅動連接；所述第二支撐軸承和所述第二軸承安裝孔之間設有軸承抱緊錐套，其中，遠離所述凸輪的所述第二支撐軸承的外圈向外翻折形成翻邊，所述翻邊的底面止抵于所述軸承抱緊錐套的端部，所述組件本體上沿所述凸輪的軸向設有壓緊螺釘，
5.根據權利要求3所述的LED測試用針座組件，其特征在于：所述凸輪的一端設有撥動部；所述組件本體沿豎直方向螺接有第一調節螺桿，所述第一調節螺桿的底部止抵于所述撥動部。
6.根據權利要求5所述的LED測試用針座組件，其特征在于：所述組件本體對應所述第一調節螺桿的安裝位置開設有第一臺階孔，所述第一臺階孔中設有第一臺階螺帽，所述第一調節螺桿配合安裝在所述第一臺階螺帽中；所述組件本體上開設有第三抱緊避讓槽，所述第三抱緊避讓槽與所述第一臺階孔連通，所述組件本體對應所述第三抱緊避讓槽穿設有第三鎖緊螺釘，通過擰緊所述第三鎖緊螺釘能夠調節所述第三抱緊避讓槽的間距。
7.根據權利要求1所述的LED測試用針座組件，其特征在于，所述組件本體還包括：
8.根據權利要求7所述的LED測試用針座組件，其特征在于：所述Z向移動座上螺接有第二調節螺桿，當所述第二調節螺桿轉動，所述Z向移動座能夠相對于所述Y向移動座沿Z軸方向移動；所述Z向移動座設有第二臺階孔，所述第二臺階孔中設有第二臺階螺帽，所述第二調節螺桿位于所述第二臺階螺帽中；所述Z向移動座上開設有第四抱緊避讓槽，所述第四抱緊避讓槽與所述第二臺階孔連通，所述Z向移動座對應所述第四抱緊避讓槽穿設有第四鎖緊螺釘，通過擰緊所述第四鎖緊螺釘能夠調節所述第四抱緊避讓槽的間距。
9.根據權利要求7所述的LED測試用針座組件，其特征在于：所述Y向移動座上螺接有第三調節螺桿，當所述第三調節螺桿轉動，所述Y向移動座能夠相對于所述安裝座沿Y軸方向移動；所述Y向移動座設有第三臺階孔，所述第三臺階孔中設有第三臺階螺帽，所述第三臺階螺帽中設有第四調節螺桿；所述Y向移動座上開設有第五抱緊避讓槽，所述第五抱緊避讓槽與所述第三臺階孔連通，所述Y向移動座對應所述第五抱緊避讓槽穿設有第五鎖緊螺釘，通過擰緊所述第五鎖緊螺釘能夠調節所述第五抱緊避讓槽的間距。
10.一種探針臺，其特征在于：設有如權利要求1至9中任一項所述的LED測試用針座組件。
...【技術特征摘要】
1.一種led測試用針座組件，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的led測試用針座組件，其特征在于：所述探針安裝部遠離所述探針的一端沿豎直方向開設有軸孔，所述探針安裝部對應所述軸孔設有第二抱緊避讓槽，所述第二抱緊避讓槽連通所述軸孔，所述探針安裝部對應所述第二抱緊避讓槽穿設有第二鎖緊螺釘，通過擰緊所述第二鎖緊螺釘能夠調節所述第二抱緊避讓槽的間距。
3.根據權利要求1所述的led測試用針座組件，其特征在于：所述組件本體上設有凸輪，所述凸輪止抵于所述探針安裝部遠離所述探針的一端，所述凸輪轉動能夠驅動所述探針安裝部擺動。
4.根據權利要求3所述的led測試用針座組件，其特征在于：所述組件本體沿所述凸輪的軸向設有錐形的第二軸承安裝孔，所述第二軸承安裝孔內設有沿軸向布置的兩個第二支撐軸承，所述第二支撐軸承用于安裝轉軸，所述轉軸與所述凸輪驅動連接；所述第二支撐軸承和所述第二軸承安裝孔之間設有軸承抱緊錐套，其中，遠離所述凸輪的所述第二支撐軸承的外圈向外翻折形成翻邊，所述翻邊的底面止抵于所述軸承抱緊錐套的端部，所述組件本體上沿所述凸輪的軸向設有壓緊螺釘，所述壓緊螺釘的螺帽止抵于所述翻邊的頂面。
5.根據權利要求3所述的led測試用針座組件，其特征在于：所述凸輪的一端設有撥動部；所述組件本體沿豎直方向螺接有第一調節螺桿，所述第一調節螺桿的底部止抵于所述撥動部。
6.根據權利要求5所述的led測試用針座組件，其特征在于：所述組件本體對應所述第一調節螺桿的安裝位置開設有第一臺階孔，所述第一臺階孔中設有第一臺階螺帽，所...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王偉謙，楊應俊，吳貴陽，
申請(專利權)人：矽電半導體設備深圳股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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