【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及探針接觸阻抗，特別涉及一種探針接觸阻抗實時監測與補償方法、裝置及存儲介質。
技術介紹
1、隨著集成電路制造工藝的不斷發展，芯片尺寸持續縮小，集成度不斷提高，這對探針測試技術提出了更高的要求。探針接觸阻抗的穩定性直接影響測試結果的準確性和可靠性，成為當前探針卡測試領域的關鍵技術難題。
2、傳統的探針接觸阻抗監測方法主要依賴于固定閾值判斷和簡單的數學模型，無法有效應對復雜的測試環境和多變的接觸狀態。這些方法在處理瞬時故障和漸進性故障時存在較大的局限性，且難以準確識別由材料變形、表面氧化等因素引起的接觸異常。現有的補償策略大多采用經驗參數設置或單一的反饋調節機制，缺乏對探針結構特性和操作參數的綜合考慮，導致補償效果不理想，且容易出現過度補償或補償不足的問題。同時，由于缺乏智能化的參數優化手段，現有方法難以適應不同材料和不同測試條件下的接觸特性變化。
技術實現思路
1、本專利技術的主要目的為提供一種探針接觸阻抗實時監測與補償方法、裝置及存儲介質，本專利技術提高了芯片的探針測試的精度。
2、為實現上述目的，本專利技術提供了一種探針接觸阻抗實時監測與補償方法，包括以下步驟：
3、獲取包含探針接觸電阻值和接觸力的第一測量數據集，并輸入雙層深度學習神經網絡進行訓練，得到探針接觸阻抗監測模型；
4、實時采集第二測量數據集，并輸入所述智能接觸阻抗監測模型進行雙參數故障檢測，得到接觸狀態分類結果；
5、基于所述接觸狀態分類結果生成
6、將所述補償系數、原始探針結構參數和原始探針操作參數輸入圖注意力堆疊自編碼器進行參數預測，得到目標探針結構參數和目標探針操作參數；
7、對所述目標探針結構參數和所述目標探針操作參數進行云模型計算和賦權運算，得到目標補償指令，所述目標補償指令用于調節探針位置參數和探針壓力參數。
8、本專利技術還提供了一種探針接觸阻抗實時監測與補償裝置，包括：
9、獲取模塊，用于獲取包含探針接觸電阻值和接觸力的第一測量數據集，并輸入雙層深度學習神經網絡進行訓練，得到探針接觸阻抗監測模型；
10、檢測模塊，用于實時采集第二測量數據集，并輸入所述智能接觸阻抗監測模型進行雙參數故障檢測，得到接觸狀態分類結果；
11、計算模塊，用于基于所述接觸狀態分類結果生成二維補償矩陣，并對所述第二測量數據集進行非線性映射計算，得到補償系數；
12、預測模塊，用于將所述補償系數、原始探針結構參數和原始探針操作參數輸入圖注意力堆疊自編碼器進行參數預測，得到目標探針結構參數和目標探針操作參數；
13、輸出模塊，用于對所述目標探針結構參數和所述目標探針操作參數進行云模型計算和賦權運算，得到目標補償指令，所述目標補償指令用于調節探針位置參數和探針壓力參數。
14、本專利技術還提供一種計算機設備，包括存儲器和處理器，所述存儲器中存儲有計算機程序，所述處理器執行所述計算機程序時實現上述任一項所述方法的步驟。
15、本專利技術還提供一種計算機可讀存儲介質，其上存儲有計算機程序，所述計算機程序被處理器執行時實現上述任一項所述的方法的步驟。
16、綜上所述，本專利技術提供的技術方案通過構建雙層深度學習神經網絡進行探針接觸阻抗監測，結合物理模型編碼和材料特性響應，顯著強化了模型對接觸狀態的表征能力，采用圖注意力堆疊自編碼器進行參數優化，實現了探針結構參數和操作參數的自適應調整，引入云模型和層次分析方法進行權重計算，建立了完整的補償指令生成機制，設計了基于雙參數的故障檢測算法，通過電阻-力耦合特征空間的構建，實現了對瞬時故障和漸進性故障的精確識別；采用自適應網格劃分和非線性映射技術，解決了補償過程中的參數空間劃分問題，提高了補償的精細化程度；通過多模態特征融合和跨模態特征交互，增強了系統對不同類型數據的處理能力，使補償策略更加全面和穩定。
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1.一種探針接觸阻抗實時監測與補償方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.根據權利要求1所述的探針接觸阻抗實時監測與補償方法，其特征在于，所述獲取包含探針接觸電阻值和接觸力的第一測量數據集，并輸入雙層深度學習神經網絡進行訓練，得到探針接觸阻抗監測模型，包括：
3.根據權利要求2所述的探針接觸阻抗實時監測與補償方法，其特征在于，所述實時采集第二測量數據集，并輸入所述智能接觸阻抗監測模型進行雙參數故障檢測，得到接觸狀態分類結果，包括：
4.根據權利要求3所述的探針接觸阻抗實時監測與補償方法，其特征在于，所述基于所述接觸狀態分類結果生成二維補償矩陣，并對所述第二測量數據集進行非線性映射計算，得到補償系數，包括：
5.根據權利要求4所述的探針接觸阻抗實時監測與補償方法，其特征在于，所述將所述補償基準數據輸入核函數映射單元，采用徑向基函數進行非線性特征變換，得到變換特征空間，并對所述變換特征空間進行自適應網格劃分，沿電阻維度和力維度分別設置10個均勻分布的網格節點，得到二維網格結構，包括：
6.根據權利要求4所述的探針接觸阻抗實時監
7.根據權利要求4所述的探針接觸阻抗實時監測與補償方法，其特征在于，所述對所述目標探針結構參數和所述目標探針操作參數進行云模型計算和賦權運算，得到目標補償指令，所述目標補償指令用于調節探針位置參數和探針壓力參數，包括：
8.一種探針接觸阻抗實時監測與補償裝置，其特征在于，用于實現權利要求1至7中任一項所述方法的步驟，所述裝置包括：
9.一種計算機設備，包括存儲器和處理器，所述存儲器中存儲有計算機程序，其特征在于，所述處理器執行所述計算機程序時實現權利要求1至7中任一項所述方法的步驟。
10.一種計算機可讀存儲介質，其上存儲有計算機程序，其特征在于，所述計算機程序被處理器執行時實現權利要求1至7中任一項所述的方法的步驟。
...【技術特征摘要】
1.一種探針接觸阻抗實時監測與補償方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.根據權利要求1所述的探針接觸阻抗實時監測與補償方法，其特征在于，所述獲取包含探針接觸電阻值和接觸力的第一測量數據集，并輸入雙層深度學習神經網絡進行訓練，得到探針接觸阻抗監測模型，包括：
3.根據權利要求2所述的探針接觸阻抗實時監測與補償方法，其特征在于，所述實時采集第二測量數據集，并輸入所述智能接觸阻抗監測模型進行雙參數故障檢測，得到接觸狀態分類結果，包括：
4.根據權利要求3所述的探針接觸阻抗實時監測與補償方法，其特征在于，所述基于所述接觸狀態分類結果生成二維補償矩陣，并對所述第二測量數據集進行非線性映射計算，得到補償系數，包括：
5.根據權利要求4所述的探針接觸阻抗實時監測與補償方法，其特征在于，所述將所述補償基準數據輸入核函數映射單元，采用徑向基函數進行非線性特征變換，得到變換特征空間，并對所述變換特征空間進行自適應網格劃分，沿電阻維度和力維度分別設置10個均勻分布的網格節點，得到...
【專利技術屬性】
技術研發人員：涂炳超，
申請(專利權)人：東莞市臺易電子科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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