【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體設備，具體是一種多功能自動化半導體設備系統。
技術介紹
1、在半導體領域這個高精度、高要求的產業中，測試工序已經躍升為一個不可或缺且至關重要的環節，它承載著確保產品質量、滿足客戶期望和維持市場信譽的艱巨使命。半導體器件作為現代電子設備中的核心組成部分，其性能的穩定性和可靠性直接關系到整個系統的運行效率和使用壽命。因此，對半導體產品進行嚴格的測試，不僅是對產品質量的嚴格把關，更是對技術精益求精的追求。
2、然而，許多現有的測試工序設備功能單一，難以滿足復雜多變的測試需求，導致工作人員需要將成品分批次輸送至多個檢測工序設備上進行不同的測試工作，使得成品的檢測效率較低，降低了生產線的靈活性和可擴展性。
技術實現思路
1、針對上述缺陷，本專利技術提出了一種多功能自動化半導體設備系統，通過成品檢測機構和成品打包機構相互配合，不僅可以實現自動上料、成品檢測、自動下料等多工序集成。測試合格的合格品在成品打包機構上自動打包，實現全自動化，不僅大大降低生產成本提高生產效率，而且提高了產品檢測標準，測試數據實現系統收集可追溯，簡化了市場失效分析流程，保證產品可靠性，解決了傳統生產線上的不同測試環節需要不同的設備來完成，效率低下的問題。
2、為達此目的，本專利技術采用以下技術方案：
3、一種多功能自動化半導體設備系統，包括成品檢測機構和成品打包機構，所述成品檢測機構的輸出端與所述成品打包機構的輸入端相連接；
4、所述成品檢測機構包括上料
5、所述移動模塊包括移動導軌和機械臂，所述移動導軌位于所述檢測模塊的上方，所述移動導軌與所述機械臂滑動連接，所述移動導軌的首端位于所述上料模塊的上方，所述移動導軌的末端位于所述下料模塊的上方，所述機械臂的滑動方向與所述成品的輸送方向相一致，所述機械臂用于夾持所述成品。
6、所述機械臂設有兩個，兩個所述機械臂同步運作，兩個所述機械臂之間的距離為所述移動導軌的長度的一半。
7、所述檢測模塊沿成品的輸送方向依次包括絕緣耐壓測試裝置、激光打標裝置、加熱裝置、電參數測試裝置、制冷裝置和視覺檢測裝置；所述絕緣耐壓測試裝置、激光打標裝置、加熱裝置、電參數測試裝置、制冷裝置和視覺檢測裝置分別與所述控制模塊電連接。
8、所述下料模塊包括分揀組件、瑕疵品收集框和合格品輸送裝置；所述分揀組件與所述控制模塊電連接，所述分揀組件用于分揀出瑕疵品和合格品，所述瑕疵品收集框用于存放瑕疵品，所述合格品輸送裝置用于將合格品輸送至所述成品打包機構。
9、所述分揀組件包括分揀機械手和移動氣缸，所述移動氣缸與所述控制模塊電連接，所述移動氣缸的驅動端與所述分揀機械手固定連接，所述分揀機械手于多個所述瑕疵品收集框的上方移動。
10、所述分揀組件還包括吸盤氣缸，所述吸盤氣缸位于合格品輸送裝置的輸入端，所述吸盤氣缸的活動方向朝向所述合格品輸送裝置，所述吸盤氣缸用于吸附合格品，并輸送至合格品輸送裝置。
11、本申請實施例提供的技術方案可以包括以下有益效果：
12、1、通過成品檢測機構和成品打包機構相互配合，不僅可以實現自動上料、成品檢測、自動下料等多工序集成。測試合格的合格品在成品打包機構上自動打包，實現全自動化，不僅大大降低生產成本提高生產效率，而且提高了產品檢測標準，測試數據實現系統收集可追溯，簡化了市場失效分析流程，保證產品可靠性，解決了傳統生產線上的不同測試環節需要不同的設備來完成，效率低下的問題。
13、2、其中一個機械臂將上料模塊的成品運輸至檢測模塊中，同時，另一個機械臂將檢測模塊的成品運輸至下料模塊中，這種交替工作的方式減少了兩個機械臂的空閑時間，提高了其利用率。
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1.一種多功能自動化半導體設備系統，其特征在于，包括成品檢測機構和成品打包機構，所述成品檢測機構的輸出端與所述成品打包機構的輸入端相連接；
2.根據權利要求1所述的一種多功能自動化半導體設備系統，其特征在于，所述移動模塊包括移動導軌和機械臂，所述移動導軌位于所述檢測模塊的上方，所述移動導軌與所述機械臂滑動連接，所述移動導軌的首端位于所述上料模塊的上方，所述移動導軌的末端位于所述下料模塊的上方，所述機械臂的滑動方向與所述成品的輸送方向相一致，所述機械臂用于夾持所述成品。
3.根據權利要求2所述的一種多功能自動化半導體設備系統，其特征在于，所述機械臂設有兩個，兩個所述機械臂同步運作，兩個所述機械臂之間的距離為所述移動導軌的長度的一半。
4.根據權利要求1所述的一種多功能自動化半導體設備系統，其特征在于，所述檢測模塊沿成品的輸送方向依次包括絕緣耐壓測試裝置、激光打標裝置、加熱裝置、電參數測試裝置、制冷裝置和視覺檢測裝置；所述絕緣耐壓測試裝置、激光打標裝置、加熱裝置、電參數測試裝置、制冷裝置和視覺檢測裝置分別與所述控制模塊電連接。
5.根據
6.根據權利要求5所述的一種多功能自動化半導體設備系統，其特征在于，所述分揀組件包括分揀機械手和移動氣缸，所述移動氣缸與所述控制模塊電連接，所述移動氣缸的驅動端與所述分揀機械手固定連接，所述分揀機械手于多個所述瑕疵品收集框的上方移動。
7.根據權利要求5所述的一種多功能自動化半導體設備系統，其特征在于，所述分揀組件還包括吸盤氣缸，所述吸盤氣缸位于合格品輸送裝置的輸入端，所述吸盤氣缸的活動方向朝向所述合格品輸送裝置，所述吸盤氣缸用于吸附合格品，并輸送至合格品輸送裝置。
...【技術特征摘要】
1.一種多功能自動化半導體設備系統，其特征在于，包括成品檢測機構和成品打包機構，所述成品檢測機構的輸出端與所述成品打包機構的輸入端相連接；
2.根據權利要求1所述的一種多功能自動化半導體設備系統，其特征在于，所述移動模塊包括移動導軌和機械臂，所述移動導軌位于所述檢測模塊的上方，所述移動導軌與所述機械臂滑動連接，所述移動導軌的首端位于所述上料模塊的上方，所述移動導軌的末端位于所述下料模塊的上方，所述機械臂的滑動方向與所述成品的輸送方向相一致，所述機械臂用于夾持所述成品。
3.根據權利要求2所述的一種多功能自動化半導體設備系統，其特征在于，所述機械臂設有兩個，兩個所述機械臂同步運作，兩個所述機械臂之間的距離為所述移動導軌的長度的一半。
4.根據權利要求1所述的一種多功能自動化半導體設備系統，其特征在于，所述檢測模塊沿成品的輸送方向依次包括絕緣耐壓測試裝置、激光打標裝置、加熱裝置、電參數測試裝置、制冷裝置和視覺檢測裝置；所述絕緣耐壓測試裝置...
【專利技術屬性】
技術研發人員：馮宇翔，黃浩，
申請(專利權)人：黑龍江匯芯半導體有限公司，
類型：發明
國別省市：
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