【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體轉運的，尤其涉及轉運裝置及真空處理設備。
技術介紹
1、半導體等工件在工藝生產中需要置于真空環境內，則在工件傳輸過程中的真空密封要求就比較高，因此會配置專門的傳輸結構進行傳輸。
2、現有技術中，工件的搬運由機械手來實現，機械手安裝在真空腔室的底部，其執行端配置有相應的抓取結構，以便于精確抓取每個工件并將其放置在相應的工位處。
3、但是該機械手的抓取和放置只能在特定范圍內完成，對于工件的朝向、和相鄰工件之間的間距調整則無法實現，因此還需要設置多組驅動結構來實現工件朝向和間距的調整，導致整體真空處理設備的結構復雜，成本較高。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供轉運裝置及真空處理設備，解決了現有技術中工件轉運時其朝向和間距的調整需要設置多組驅動結構而導致真空處理設備的整體結構復雜，成本較高的問題。
2、為達此目的，本專利技術采用以下技術方案：
3、第一方面，本專利技術提供了轉運裝置，其包括：
4、承載臺；
5、多個托盤，所述托盤用于承載工件，每個所述托盤均通過調整組件活動連接于所述承載臺，所述調整組件用于帶動所述托盤活動，且多個所述托盤的活動方向不同；
6、驅動組件，所述驅動組件設置于所述承載臺，并與多個所述調整組件連接以同時驅動多個所述調整組件沿不同方向動作；
7、所述調整組件包括：
8、旋轉盤，轉動連接于所述承載臺并與所述驅動組件連接，所述驅動組件用
9、推送齒輪，固定于所述承載臺；
10、推送齒條，固定于所述托盤并與所述推送齒輪嚙合，隨著所述托盤同步旋轉的同時推動所述托盤滑動。
11、可選地，所述調整組件還包括：
12、輸送盤，固定于所述旋轉盤，所述輸送盤和所述托盤中，其中一個設置滑軌，另一個設置能夠與所述滑軌滑動連接的滑塊。
13、可選地，所述旋轉盤為與所述驅動組件嚙合的旋轉齒輪。
14、可選地，所述驅動組件包括：
15、多個驅動齒輪，均轉動連接于所述承載臺，多個所述驅動齒輪依次嚙合，且每個所述驅動齒輪均與一個所述調整組件嚙合；
16、驅動齒條，滑動連接于所述承載臺并與其中一個所述驅動齒輪嚙合。
17、可選地，所述驅動組件還包括：
18、彈性限位件，一端與承載臺連接，另一端與所述驅動齒條連接。
19、可選地，所述轉運裝置還包括：
20、第一限位塊，活動連接于所述承載臺；
21、第二限位塊，固定設置于任一所述調整組件并能與所述第一限位塊抵接以鎖定所述調整組件的旋轉。
22、可選地，所述調整組件帶動所述托盤偏心旋轉。
23、第二方面，本專利技術還提供了真空反應設備，其包括：
24、真空處理腔；
25、如第一方面中任一項所述的轉運裝置，設置于所述真空處理腔內以調節多個工件的朝向和相鄰工件之間的間距。
26、可選地，所述真空反應設備包括：
27、驅動件，設置于所述真空處理腔外，且所述驅動件的驅動端穿設于所述真空處理腔內并與所述驅動組件連接。
28、可選地，在初始狀態下，所述驅動件的驅動端與所述驅動組件具有間隔。
29、本專利技術的有益效果：
30、第一方面，通過將驅動組件與多個托盤的調整組件同時連接，則在調節工件的朝向和間距時，只需要操作驅動組件，驅動組件就能夠帶動多個調整組件的旋轉盤同時動作，旋轉盤就能夠同步帶動托盤旋轉，而多個旋轉盤可以繞驅動組件的周向布局，則驅動組件在動作時就能夠驅動多個旋轉盤在不同的方向旋轉，同時托盤能夠帶動推送齒條同步旋轉，而推送齒條與推送齒輪處于嚙合狀態，而推送齒輪固定在承載臺上，則隨著推送齒條的轉動，推送齒輪能夠擠壓推送齒輪，推送齒輪就會產生反作用于推送齒條的力以推動推送齒條相對于旋轉盤平移，則推送齒條就能夠帶動托盤同步滑動，從而就可以改變多個托盤上的工件的朝向及相鄰工件之間的間距。而且由于托盤、調整組件以及驅動組件均集成設置在承載臺上，使得轉運裝置可以整體性輸送，則其就可以在承托多個晶圓后直接在過渡腔或者傳送腔內傳送。該轉運裝置在使用時，僅依靠一組驅動組件配合多個調整組件即可實現多個工件的朝向和間距的調整，有效減少了整體結構的復雜度，同時也有利于降低實現工件朝向和間距調節的成本。
31、第二方面，通過設置該轉運裝置，能夠快速便捷的將含有工件的轉運裝置搬運至指定位置處，轉運裝置還能夠直接對多個工件的朝向和間距進行調整，則不再需要設置多組驅動結構，從而有效降低了真空處理設備整體的結構復雜度，也有利于減少真空處理設備的制造成本。
32、第三方面，該轉運裝置中調整組件能夠帶動托盤在較小的空間內完成托盤的旋轉，確保托盤在使用過程中所占據的空間較小，有效提高了該轉運裝置的適應能力，并且托盤的運動軌跡互不干涉，實現工件在腔內轉運時朝向和間距的更大范圍和更精細的調整。
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1.轉運裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的轉運裝置，其特征在于，所述調整組件(4)還包括：
3.根據權利要求2所述的轉運裝置，其特征在于，所述旋轉盤(41)為與所述驅動組件(2)嚙合的旋轉齒輪。
4.根據權利要求1所述的轉運裝置，其特征在于，所述驅動組件(2)包括：
5.根據權利要求4所述的轉運裝置，其特征在于，所述驅動組件(2)還包括：
6.根據權利要求1所述的轉運裝置，其特征在于，所述轉運裝置還包括：
7.根據權利要求1至6中任一項所述的轉運裝置，其特征在于，所述調整組件(4)帶動所述托盤(3)偏心旋轉。
8.真空反應設備，其特征在于，包括：
9.根據權利要求8所述的真空反應設備，其特征在于，所述真空反應設備包括：
10.根據權利要求9所述的真空反應設備，其特征在于，在初始狀態下，所述驅動件(8)的驅動端與所述驅動組件(2)具有間隔。
【技術特征摘要】
1.轉運裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的轉運裝置，其特征在于，所述調整組件(4)還包括：
3.根據權利要求2所述的轉運裝置，其特征在于，所述旋轉盤(41)為與所述驅動組件(2)嚙合的旋轉齒輪。
4.根據權利要求1所述的轉運裝置，其特征在于，所述驅動組件(2)包括：
5.根據權利要求4所述的轉運裝置，其特征在于，所述驅動組件(2)還包括：
6.根據權利要求1...
【專利技術屬性】
技術研發人員：石宇，婁俊飛，高修奎，楊文賓，
申請(專利權)人：無錫邑文微電子科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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