本發(fā)明專利技術(shù)提供的基于人工智能的蝕刻工藝評估方法及系統(tǒng)，涉及人工智能技術(shù)領(lǐng)域。在本發(fā)明專利技術(shù)中，首先，確定出光刻圖案語義向量；其次，通過蝕刻工藝評估網(wǎng)絡(luò)包括的向量空間轉(zhuǎn)換單元，對光刻圖案語義向量進(jìn)行空間轉(zhuǎn)換操作，輸出對應(yīng)的光刻圖案轉(zhuǎn)換向量；然后，依據(jù)光刻圖案轉(zhuǎn)換向量，通過蝕刻工藝評估網(wǎng)絡(luò)包括的蝕刻工藝評估單元，將目標(biāo)蝕刻工藝包括的多種局部蝕刻工藝進(jìn)行聯(lián)合挖掘與評估操作，輸出目標(biāo)蝕刻工藝對應(yīng)的目標(biāo)工藝評估數(shù)據(jù)。基于上述內(nèi)容，可以改善現(xiàn)有技術(shù)中存在的蝕刻工藝評估的效率和可靠性相對不高的問題。
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及人工智能，具體而言，涉及一種基于人工智能的蝕刻工藝評估方法及系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
1、柔性線路板（flexible?printed?circuit，簡稱fpc）是一種基于柔性基材（如聚酰亞胺或聚酯膜等）的電子結(jié)構(gòu)件，廣泛應(yīng)用于各種電子產(chǎn)品中，如智能手機、可穿戴設(shè)備、醫(yī)療儀器等。其中，fpc的制造過程中，蝕刻（蝕刻是將未保護(hù)的部分銅或其他金屬材料去除的過程，從而形成需要的電路圖案）等工藝是至關(guān)重要的步驟，它們影響著線路的精度、材料的保護(hù)以及電路的整體性能。因此，需要對蝕刻工藝進(jìn)行相應(yīng)的評估，但是，在現(xiàn)有技術(shù)中，一般是基于人工進(jìn)行評估，使得容易出現(xiàn)評估的效率不高的問題，另外，受限于評估人員的經(jīng)驗知識，也存在可靠性不高的問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、有鑒于此，本專利技術(shù)的目的在于提供一種基于人工智能的蝕刻工藝評估方法及系統(tǒng)，以改善現(xiàn)有技術(shù)中存在的蝕刻工藝評估的效率和可靠性相對不高的問題。
2、為實現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)采用如下技術(shù)方案：
3、一種基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，包括：
4、確定出光刻圖案語義向量，其中，所述光刻圖案語義向量是基于光刻圖案語義空間中形成的或是通過蝕刻工藝評估網(wǎng)絡(luò)中的光刻圖案挖掘單元對目標(biāo)光刻圖案進(jìn)行語義挖掘操作形成的，所述光刻圖案語義空間是所述光刻圖案挖掘單元在訓(xùn)練完成之后對各訓(xùn)練光刻圖案進(jìn)行語義挖掘操作形成的語義向量所在的空間，所述目標(biāo)光刻圖案是曝光工藝形成的圖案，且屬于待評估的目標(biāo)蝕刻工藝需要刻蝕的圖案；
5、通過所述蝕刻工藝評估網(wǎng)絡(luò)包括的向量空間轉(zhuǎn)換單元，對所述光刻圖案語義向量進(jìn)行空間轉(zhuǎn)換操作，輸出對應(yīng)的光刻圖案轉(zhuǎn)換向量；
6、依據(jù)所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量，通過所述蝕刻工藝評估網(wǎng)絡(luò)包括的蝕刻工藝評估單元，將所述目標(biāo)蝕刻工藝包括的多種局部蝕刻工藝進(jìn)行聯(lián)合挖掘與評估操作，輸出所述目標(biāo)蝕刻工藝對應(yīng)的目標(biāo)工藝評估數(shù)據(jù)。
7、在本專利技術(shù)較佳的選擇中，在上述基于人工智能的蝕刻工藝評估方法中，所述蝕刻工藝評估單元包括聯(lián)合挖掘子單元和工藝評估子單元；
8、其中，所述依據(jù)所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量，通過所述蝕刻工藝評估網(wǎng)絡(luò)包括的蝕刻工藝評估單元，將所述目標(biāo)蝕刻工藝包括的多種局部蝕刻工藝進(jìn)行聯(lián)合挖掘與評估操作，輸出所述目標(biāo)蝕刻工藝對應(yīng)的目標(biāo)工藝評估數(shù)據(jù)的步驟，包括：
9、對于所述目標(biāo)蝕刻工藝包括的多種局部蝕刻工藝中的每一種局部蝕刻工藝，對該局部蝕刻工藝進(jìn)行以下的操作：
10、通過所述聯(lián)合挖掘子單元，依據(jù)所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量將所述局部蝕刻工藝進(jìn)行m個階段的聯(lián)合挖掘操作，輸出第m個階段的蝕刻工藝聯(lián)合向量，其中，第n+1個階段的聯(lián)合挖掘操作處理的數(shù)據(jù)包括第n個階段的蝕刻工藝聯(lián)合向量，n+1小于或等于m；
11、通過所述工藝評估子單元，將所述蝕刻工藝聯(lián)合向量進(jìn)行映射輸出操作，形成所述局部蝕刻工藝對應(yīng)的局部工藝評估數(shù)據(jù)；
12、在得到每一種所述局部蝕刻工藝對應(yīng)的局部工藝評估數(shù)據(jù)之后，基于每一種所述局部蝕刻工藝對應(yīng)的局部工藝評估數(shù)據(jù)，輸出所述目標(biāo)蝕刻工藝對應(yīng)的目標(biāo)工藝評估數(shù)據(jù)。
13、在本專利技術(shù)較佳的選擇中，在上述基于人工智能的蝕刻工藝評估方法中，所述通過所述聯(lián)合挖掘子單元，依據(jù)所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量將所述局部蝕刻工藝進(jìn)行m個階段的聯(lián)合挖掘操作，輸出第m個階段的蝕刻工藝聯(lián)合向量的步驟，包括：
14、確定出所述局部蝕刻工藝對應(yīng)的蝕刻工藝語義向量，其中，所述蝕刻工藝語義向量通過對所述局部蝕刻工藝進(jìn)行詞嵌入操作以得到；
15、通過所述聯(lián)合挖掘子單元，基于所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量和其它局部蝕刻工藝對應(yīng)的蝕刻工藝語義向量將所述局部蝕刻工藝對應(yīng)的蝕刻工藝語義向量進(jìn)行m個階段的聯(lián)合挖掘操作，輸出第m個階段的蝕刻工藝聯(lián)合向量。
16、在本專利技術(shù)較佳的選擇中，在上述基于人工智能的蝕刻工藝評估方法中，所述通過所述聯(lián)合挖掘子單元，基于所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量和其它局部蝕刻工藝對應(yīng)的蝕刻工藝語義向量將所述局部蝕刻工藝對應(yīng)的蝕刻工藝語義向量進(jìn)行m個階段的聯(lián)合挖掘操作，輸出第m個階段的蝕刻工藝聯(lián)合向量的步驟，包括：
17、在第一個階段的聯(lián)合挖掘操作中，確定出各其它局部蝕刻工藝對應(yīng)的蝕刻工藝語義向量的中心向量，并基于該中心向量和所述局部蝕刻工藝對應(yīng)的蝕刻工藝語義向量之間的向量關(guān)聯(lián)參數(shù)，對所述局部蝕刻工藝對應(yīng)的蝕刻工藝語義向量進(jìn)行優(yōu)化，形成第一個階段的蝕刻工藝優(yōu)化向量，以及，利用所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量和該蝕刻工藝優(yōu)化向量之間的向量關(guān)聯(lián)參數(shù)，對該蝕刻工藝優(yōu)化向量進(jìn)行優(yōu)化，形成第一個階段的蝕刻工藝聯(lián)合向量；
18、在第二個階段及以后的每一個階段的聯(lián)合挖掘操作中，分別對各其它局部蝕刻工藝前一個階段的內(nèi)部優(yōu)化向量進(jìn)行內(nèi)部語義優(yōu)化操作，輸出各其它局部蝕刻工藝當(dāng)前階段的內(nèi)部優(yōu)化向量，并對前一個階段的光刻圖案優(yōu)化向量進(jìn)行內(nèi)部語義優(yōu)化操作，輸出當(dāng)前階段的光刻圖案優(yōu)化向量，其中，第一個階段的內(nèi)部優(yōu)化向量為對應(yīng)的蝕刻工藝語義向量，第一個階段的光刻圖案優(yōu)化向量為所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量；
19、確定出各其它局部蝕刻工藝當(dāng)前階段的內(nèi)部優(yōu)化向量的中心向量，并基于該中心向量和前一個階段的蝕刻工藝聯(lián)合向量之間的向量關(guān)聯(lián)參數(shù)，對該蝕刻工藝聯(lián)合向量進(jìn)行優(yōu)化，形成當(dāng)前階段的蝕刻工藝優(yōu)化向量，以及，利用當(dāng)前階段的光刻圖案優(yōu)化向量和該蝕刻工藝優(yōu)化向量之間的向量關(guān)聯(lián)參數(shù)，對該蝕刻工藝優(yōu)化向量進(jìn)行優(yōu)化，形成當(dāng)前階段的蝕刻工藝聯(lián)合向量。
20、在本專利技術(shù)較佳的選擇中，在上述基于人工智能的蝕刻工藝評估方法中，在所述依據(jù)所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量，通過所述蝕刻工藝評估網(wǎng)絡(luò)包括的蝕刻工藝評估單元，將所述目標(biāo)蝕刻工藝包括的多種局部蝕刻工藝進(jìn)行聯(lián)合挖掘與評估操作，輸出所述多種局部蝕刻工藝對應(yīng)的目標(biāo)工藝評估數(shù)據(jù)的步驟之前，所述基于人工智能的蝕刻工藝評估方法還包括：
21、確定出訓(xùn)練第一光刻圖案、所述訓(xùn)練第一光刻圖案對應(yīng)的訓(xùn)練第一圖案語義向量和針對所述訓(xùn)練第一光刻圖案配置的q個階段，其中，所述訓(xùn)練第一圖案語義向量是其它光刻圖案挖掘單元將所述訓(xùn)練第一光刻圖案進(jìn)行語義挖掘操作形成的，所述其它光刻圖案挖掘單元不屬于所述蝕刻工藝評估網(wǎng)絡(luò)，q小于或等于m；
22、通過所述光刻圖案挖掘單元，將所述訓(xùn)練第一光刻圖案進(jìn)行語義挖掘操作，輸出對應(yīng)的第一光刻圖案語義向量；
23、通過所述聯(lián)合挖掘子單元，將所述第一光刻圖案語義向量進(jìn)行q個階段的干擾施加操作，輸出對應(yīng)的光刻圖案干擾向量；
24、通過所述聯(lián)合挖掘子單元，依據(jù)所述訓(xùn)練第一圖案語義向量將所述光刻圖案干擾向量進(jìn)行q個階段的干擾去除操作，輸出對應(yīng)的干擾信息去除向量，其中，干擾去除操作是指將所述訓(xùn)練第一圖案語義向量和所述光刻圖案干擾向量進(jìn)行聯(lián)合挖掘操作，以去除干擾信息；
25、通過所述工藝評估子單元中的第一輸出支路，將所述干擾信息去除向量進(jìn)行圖案還原操作，輸出對應(yīng)的第一還原光刻圖案，其中，所述工藝評估子單元還包括第二輸出支路，所述第二本文檔來自技高網(wǎng)
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【技術(shù)保護(hù)點】
1.一種基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，其特征在于，所述蝕刻工藝評估單元包括聯(lián)合挖掘子單元和工藝評估子單元；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，其特征在于，所述通過所述聯(lián)合挖掘子單元，依據(jù)所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量將所述局部蝕刻工藝進(jìn)行M個階段的聯(lián)合挖掘操作，輸出第M個階段的蝕刻工藝聯(lián)合向量的步驟，包括：
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，其特征在于，所述通過所述聯(lián)合挖掘子單元，基于所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量和其它局部蝕刻工藝對應(yīng)的蝕刻工藝語義向量將所述局部蝕刻工藝對應(yīng)的蝕刻工藝語義向量進(jìn)行M個階段的聯(lián)合挖掘操作，輸出第M個階段的蝕刻工藝聯(lián)合向量的步驟，包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，其特征在于，在所述依據(jù)所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量，通過所述蝕刻工藝評估網(wǎng)絡(luò)包括的蝕刻工藝評估單元，將所述目標(biāo)蝕刻工藝包括的多種局部蝕刻工藝進(jìn)行聯(lián)合挖掘與評估操作，輸出所述多種局部蝕刻工藝對應(yīng)的目標(biāo)工藝評估數(shù)據(jù)的步驟之前，所述基于人工智能的蝕刻工藝評估方法還包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，其特征在于，所述依據(jù)所述訓(xùn)練第一圖案語義向量和所述第一還原圖案語義向量，確定出對應(yīng)的第一誤差指標(biāo)的步驟，包括：
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，其特征在于，所述依據(jù)所述第一誤差指標(biāo)，對所述聯(lián)合挖掘子單元進(jìn)行更新的步驟，包括：
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，其特征在于，所述通過所述光刻圖案挖掘單元，將所述訓(xùn)練第一光刻圖案進(jìn)行語義挖掘操作，輸出對應(yīng)的第一光刻圖案語義向量的步驟之前，所述基于人工智能的蝕刻工藝評估方法包括：
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，其特征在于，在所述依據(jù)所述第一誤差指標(biāo)，對所述聯(lián)合挖掘子單元進(jìn)行更新的步驟之后，所述基于人工智能的蝕刻工藝評估方法還包括：
10.一種基于人工智能的蝕刻工藝評估系統(tǒng)，其特征在于，包括：
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【技術(shù)特征摘要】
1.一種基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，其特征在于，所述蝕刻工藝評估單元包括聯(lián)合挖掘子單元和工藝評估子單元；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，其特征在于，所述通過所述聯(lián)合挖掘子單元，依據(jù)所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量將所述局部蝕刻工藝進(jìn)行m個階段的聯(lián)合挖掘操作，輸出第m個階段的蝕刻工藝聯(lián)合向量的步驟，包括：
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，其特征在于，所述通過所述聯(lián)合挖掘子單元，基于所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量和其它局部蝕刻工藝對應(yīng)的蝕刻工藝語義向量將所述局部蝕刻工藝對應(yīng)的蝕刻工藝語義向量進(jìn)行m個階段的聯(lián)合挖掘操作，輸出第m個階段的蝕刻工藝聯(lián)合向量的步驟，包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于人工智能的蝕刻工藝評估方法，其特征在于，在所述依據(jù)所述光刻圖案轉(zhuǎn)換向量，通過所述蝕刻工藝評估網(wǎng)絡(luò)包括的蝕刻工藝評估單元，將所述目標(biāo)蝕刻工藝包括的多種局部蝕刻工藝進(jìn)行聯(lián)合挖掘與評估操作...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：邵霞，吳喜鵬，王振華，
申請(專利權(quán))人：深圳市盛鴻運科技有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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