【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及膠泵控制，特別涉及一種用于濕法設備的多路膠泵控制系統。
技術介紹
1、在集成電路行業內，膠泵的控制是濕法工藝設備中的關鍵部分，其通過膠量、速度等方式用于晶圓表面的膜的形成或清洗過程中雜質的去除。為了保證濕法工藝設備的生產能力，需要多路膠泵的同時控制，結合外部流量計和閥的控制，從而實現設備中多單元的并行運行。
2、然而上述方法中的多路膠泵的控制往往結合驅動器，采用一泵一控的方式，并且膠泵控制、流量計、閥的啟停控制相互獨立，通信過程可能存在延遲，從而無法保證流量的精確控制。此外，膠泵的數量較多時，會導致設備的接口數量不足，無法滿足多單元模塊的需要。針對以上問題，以下提出一種解決方案。
技術實現思路
1、本專利技術的目的是提供一種用于濕法設備的多路膠泵控制系統，具有實現多個膠泵的并行控制，減少設備接口的數量需求，保證多單元的并行運行的優點。
2、本專利技術的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：
3、一種用于濕法設備的多路膠泵控制系統，包括
4、工控機，所述工控機用于發出參數命令；
5、若干多路膠泵控制器，所述工控機與若干個多路膠泵控制器之間基于串口通信實現數據傳輸；所述多路膠泵控制器的主控板包括控制器主控和若干控制器從控，所述控制器主控用于發出控制命令，若干所述控制器從控接收控制命令；
6、若干被控硬件，所述被控硬件的數量與控制器從控的數量相同，若干所述控制器從控分別與若干被控硬件一一對應，所述控
7、所述多路膠泵控制器基于主控板的嵌入式軟件結合工控機的命令參數和被控硬件的信號反饋、動作執行來實現多泵一控的實時協同驅動。
8、作為優選，所述被控硬件包括膠泵、流量計和閥門，所述控制器從控控制膠泵和流量計的狀態，且所述控制器通過控制閥控點實現對閥門狀態的控制。
9、作為優選，所述控制器主控包括主通信模塊、主存儲模塊、主顯示模塊和主報警模塊，
10、所述主通信模塊用于實現工控機和控制器從控之間參數命令和控制命令的交互；
11、所述主存儲模塊用于控制命令及參數命令的存儲；
12、所述主顯示模塊通過led屏顯示膠泵的控制參數和當前狀態，以及閥門的狀態和流量計的數值；
13、所述主報警模塊用于實現被控硬件在非正常狀態時的報警提示。
14、作為優選，所述控制器從控包括從通信模塊、從復位模塊、從驅動模塊和從查詢模塊，
15、所述從通信模塊完成與控制器主控、被控硬件之間的通信；
16、所述從驅動模塊通過不同頻率的pwm對膠泵進行速度控制驅動，同時通過引腳的高低電平結合閥控點對閥門進行控制；
17、所述從復位模塊根據泵的home開關狀態、閥門的開關狀態、流量計的計數量來進行復位操作；
18、所述從查詢模塊用于實現被控硬件當前狀態的查詢。
19、作為優選，所述多路膠泵控制器還包括電機驅動器、顯示屏、控制器總開關、控制器電源接口、用于被控硬件供電的電源接口和用于接收和輸出被控硬件信號的信號接口。
20、一種用于濕法設備的多路膠泵控制系統的控制方法，包括如下步驟，
21、s1：多路膠泵控制器上電初始化后，循環等待工控機的參數命令，在接收到參數命令之后，首先對參數命令進行解析，若參數命令解析錯誤，則返回繼續等待參數命令；若參數命令解析成功，則在led屏顯示存儲，并通過通信模塊將控制命令分發到各個控制器從控上；
22、s2：控制器從控對控制命令進行解析驗證，根據控制命令執行驅動、查詢或復位功能；
23、s3：若為查詢功能，則返回膠泵、流量計和閥開關的狀態信息；若為復位功能，則對膠泵、流量計和閥開關等硬件進行復位；若為驅動功能，則根據速度設置pwm頻率，并根據預設膠量和流量計的數值控制pwm波的停止和閥的關閉；最終根據執行結果狀態，然后確定是否產生報警提示。
24、本專利技術的有益效果為：本申請以主從模式并基于多個單片機實現了多泵一控，減少了設備接口需要，能夠有效滿足多單元模塊的多路控制需求，同時從控制的單片機能夠將預設的速度轉換為pwm波的頻率，用于驅動膠泵，同時可以通過預期的膠量和流量計的實時數據對pwm波的個數進行精確調整，同時結合引腳的電平高低對閥進行開關控制，保證多個膠路膠量的高精度供給和實時性控制。
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1.一種用于濕法設備的多路膠泵控制系統，其特征在于，包括
2.根據權利要求1所述的一種用于濕法設備的多路膠泵控制系統，其特征在于，所述被控硬件包括膠泵、流量計和閥門，所述控制器從控控制膠泵和流量計的狀態，且所述控制器通過控制閥控點實現對閥門狀態的控制。
3.根據權利要求2所述的一種用于濕法設備的多路膠泵控制系統，其特征在于，所述控制器主控包括主通信模塊、主存儲模塊、主顯示模塊和主報警模塊，
4.根據權利要求3所述的一種用于濕法設備的多路膠泵控制系統，其特征在于，所述控制器從控包括從通信模塊、從復位模塊、從驅動模塊和從查詢模塊，
5.根據權利要求1所述的一種用于濕法設備的多路膠泵控制系統，其特征在于，所述多路膠泵控制器還包括電機驅動器(1)、顯示屏(2)、控制器總開關(3)、控制器電源接口(4)、用于被控硬件供電的電源接口(5)和用于接收和輸出被控硬件信號的信號接口(6)。
6.根據權利要求5所述的一種用于濕法設備的多路膠泵控制系統的控制方法，其特征在于，包括如下步驟，
【技術特征摘要】
1.一種用于濕法設備的多路膠泵控制系統，其特征在于，包括
2.根據權利要求1所述的一種用于濕法設備的多路膠泵控制系統，其特征在于，所述被控硬件包括膠泵、流量計和閥門，所述控制器從控控制膠泵和流量計的狀態，且所述控制器通過控制閥控點實現對閥門狀態的控制。
3.根據權利要求2所述的一種用于濕法設備的多路膠泵控制系統，其特征在于，所述控制器主控包括主通信模塊、主存儲模塊、主顯示模塊和主報警模塊，
4.根據權利要求3所述的一種用于濕法設備...
【專利技術屬性】
技術研發人員：高偉峰，張素梅，孔德君，
申請(專利權)人：浙江大學紹興研究院，
類型：發明
國別省市：
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