【技術實現步驟摘要】
本技術涉及設備工作臺，具體涉及一種等離子體化學氣相沉積設備工作臺。
技術介紹
1、等離子體化學氣相沉積設備是一種用于動力與電氣工程、電子與通信
的工藝試驗儀器，當前的半導體及平板制造中，等離子增強化學氣相沉積)以其沉積快速、低溫、重復性好等特點，成為沉積薄膜材料的最廣泛的方法之一，工作臺材質采用優質冷軋鋼板，表面采用靜電噴涂處理而制成，堅固的工作桌框架，牢固平穩，可使工作桌臺面均勻承重達到1000kg。桌面有多種材質組成，適用于各行業辦公場所。
2、例如公開號為cn214991843u的中國專利，其中提出了工作臺及等離子體化學氣相沉積設備，該組件臺包括：支撐柱；設置在所述支撐柱上的承載臺；設置在所述承載臺上的電磁鐵以及靜電吸附裝置，所述電磁鐵設置在所述承載臺和所述靜電吸附裝置之間，且所述電磁鐵與所述靜電吸附裝置之間相互絕緣，所述靜電吸附裝置的遠離所述電磁鐵的表面上設置有絕緣層。通過在工作臺上設置電磁鐵，在工作時，所述電磁鐵先將待吸附的物體吸附至靜電吸附裝置上，然后所述靜電吸附裝置再通過靜電吸附的方式將待吸附的物體固定。上述吸附方式可以增強吸附的穩定性，從而解決了掩膜板與工作臺之間的間隙不穩定所導致的掩膜效果變差的問題，但是該方案在實際運用的過程中，倘如等離子體化學氣相沉積設備在較為濕潤的空氣進行長期使用或存放后，極易導致等離子體化學氣相沉積設備受潮損壞或發生短路等現象，從而影響等離子體化學氣相沉積設備的使用壽命，為解決上述問題，為此我們體提出了一種等離子體化學氣相沉積設備工作臺。
技
1、針對現有技術的不足，本技術提供了一種等離子體化學氣相沉積設備工作臺，解決了
技術介紹
中提到的問題。
2、本技術的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：
3、一種等離子體化學氣相沉積設備工作臺，包括：放置盒，所述放置盒的內部活動套設有放置板，所述放置板的頂面固定連接有等離子體化學氣相沉積設備；格擋板，所述格擋板活動套設在所述放置盒的內部，所述格擋板的左右兩側與底面均固定連接有密封墊；調節組件，所述調節組件設置在所述放置盒的內部，用于調節所述放置板的位置。
4、通過采用上述技術方案，通過設置調節組件，調節組件可以調節放置板的位置，使得放置板可以移出放置盒的內部，從而方便工作人員后期使用放置板頂面的等離子體化學氣相沉積設備。
5、較佳的，所述調節組件包括：兩個調節槽，兩個所述調節槽分別開設在所述放置盒內部的底面，所述調節槽的頂面固定連接有絲桿滑臺，所述絲桿滑臺的滑塊頂面與所述放置板的底面固定連接在一起；兩個限位槽，兩個所述限位槽均開設在所述放置盒內部的底面，所述放置板的底面固定連接有兩個限位塊，所述限位塊與所述限位槽滑動安裝在一起；定位件，所述定位件設置在所述放置盒的內部，用于對所述格擋板進行定位。
6、通過采用上述技術方案，通過設置定位件，定位件可以對格擋板進行定位，使得格擋板可以固定在放置盒的內部。
7、較佳的，所述定位件包括：兩個定位槽，兩個所述定位槽分別開設在所述放置盒內部的左右兩側，所述格擋板的左右兩側均固定連接有定位塊，所述定位塊與所述定位槽活動套設在一起。
8、通過采用上述技術方案，通過設置放置盒，當工作人員將格擋板固定在放置盒的內部，此時密封墊可以對放置盒與格擋板之間進行密封，從而減少濕潤的氣體進入放置盒的內部，以此避免等離子體化學氣相沉積設備受潮損壞或發生短路等現象，提高等離子體化學氣相沉積設備的使用壽命。
9、較佳的，所述定位槽內部的底面開設有安裝槽，所述安裝槽的內部固定連接有驅動電機。
10、通過采用上述技術方案，通過設置絲桿滑臺，絲桿滑臺的滑塊可以帶動放置板進行移動，使得等離子體化學氣相沉積設備可以移出放置盒的內部，從而方便工作人員后期操作等離子體化學氣相沉積設備。
11、較佳的，所述定位槽的內部轉動安裝有調節桿，所述調節桿的底端與所述驅動電機驅動軸的頂端固定連接在一起，所述定位塊的頂面開設有調節孔，所述調節桿與所述調節孔螺紋連接在一起。
12、通過采用上述技術方案，通過設置驅動電機，驅動電機的驅動軸可以帶動調節桿進行移動，此時轉動中的調節桿可以帶動定位塊進行移動，使得移動中的定位塊可以帶動格擋板進行移動，從而便于后期調節格擋板在放置盒內部的位置。
13、較佳的，所述放置盒的一側固定連接有密封條，所述放置盒底面的四個拐角位置均固定連接有支撐腿。
14、通過采用上述技術方案，通過設置限位塊，通過限位塊滑動安裝在限位槽的內部，使得限位塊可以對放置板進行限位。
15、綜上所述，本技術主要具有以下有益效果：
16、通過設置放置盒，當工作人員將格擋板固定在放置盒的內部，此時密封墊可以對放置盒與格擋板之間進行密封，從而減少濕潤的氣體進入放置盒的內部，以此避免等離子體化學氣相沉積設備受潮損壞或發生短路等現象，提高等離子體化學氣相沉積設備的使用壽命，通過設置絲桿滑臺，絲桿滑臺的滑塊可以帶動放置板進行移動，使得等離子體化學氣相沉積設備可以移出放置盒的內部，從而方便工作人員后期操作等離子體化學氣相沉積設備，通過設置驅動電機，驅動電機的驅動軸可以帶動調節桿進行移動，此時轉動中的調節桿可以帶動定位塊進行移動，使得移動中的定位塊可以帶動格擋板進行移動，從而便于后期調節格擋板在放置盒內部的位置。
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1.一種等離子體化學氣相沉積設備工作臺，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種等離子體化學氣相沉積設備工作臺，其特征在于，所述調節組件包括：
3.根據權利要求2所述的一種等離子體化學氣相沉積設備工作臺，其特征在于，所述定位件包括：
4.根據權利要求3所述的一種等離子體化學氣相沉積設備工作臺，其特征在于，所述定位槽(10)內部的底面開設有安裝槽(12)，所述安裝槽(12)的內部固定連接有驅動電機(13)。
5.根據權利要求4所述的一種等離子體化學氣相沉積設備工作臺，其特征在于，所述定位槽(10)的內部轉動安裝有調節桿(14)，所述調節桿(14)的底端與所述驅動電機(13)驅動軸的頂端固定連接在一起，所述定位塊(11)的頂面開設有調節孔(15)，所述調節桿(14)與所述調節孔(15)螺紋連接在一起。
6.根據權利要求1所述的一種等離子體化學氣相沉積設備工作臺，其特征在于，所述放置盒(1)的一側固定連接有密封條(16)，所述放置盒(1)底面的四個拐角位置均固定連接有支撐腿(17)。
【技術特征摘要】
1.一種等離子體化學氣相沉積設備工作臺，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種等離子體化學氣相沉積設備工作臺，其特征在于，所述調節組件包括：
3.根據權利要求2所述的一種等離子體化學氣相沉積設備工作臺，其特征在于，所述定位件包括：
4.根據權利要求3所述的一種等離子體化學氣相沉積設備工作臺，其特征在于，所述定位槽(10)內部的底面開設有安裝槽(12)，所述安裝槽(12)的內部固定連接有驅動電機(13)。
5.根據權利要...
【專利技術屬性】
技術研發人員：魏安求，逯好峰，葉小健，
申請(專利權)人：揚州棒杰新能源科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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