System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和長度必須引用該字符串內(nèi)的位置。 參數(shù)名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 国产精品亚洲а∨无码播放,麻豆亚洲AV永久无码精品久久,亚洲av无码专区在线 
  • 

  • 
<ul id="o6k0g"></ul>
    <ul id="o6k0g"></ul>
    

    

    
    
      
    
          
          
    
            
    
                
    
                    
    
                        
    
                            
    一種在四探針機臺上根據(jù)探針力確定凸輪旋轉(zhuǎn)度數(shù)的方法技術(shù)
    
                            
    技術(shù)編號：44380951 閱讀：3 留言：0更新日期：2025-02-25 09:55
    
                        
    
                        
    
                            
                            本發(fā)明專利技術(shù)提供了一種在四探針機臺上根據(jù)探針力確定凸輪旋轉(zhuǎn)度數(shù)的方法，包括：獲取施加在樣品上的探針力和探針針尖與止動墊片之間距離的函數(shù)關(guān)系，根據(jù)所述函數(shù)關(guān)系得到k<subgt;p</subgt;和b<subgt;p</subgt;；獲取凸輪旋轉(zhuǎn)角度和探針高度之間的函數(shù)關(guān)系，得到k<subgt;c</subgt;；在機臺上測試下針曲線，得到θ<subgt;0</subgt;；根據(jù)以下公式，計算得到θ<subgt;t</subgt;；F<subgt;t</subgt;表示目標探針力，θ<subgt;t</subgt;表示目標探針力下對應(yīng)的凸輪度數(shù)，k<subgt;p</subgt;和b<subgt;p</subgt;表示探針力與針尖和止動墊片間位置關(guān)系的斜率和截距，θ<subgt;0</subgt;表示止動墊片剛接觸上樣品時的凸輪度數(shù)，k<subgt;c</subgt;表示探頭所在高度與凸輪旋轉(zhuǎn)角度關(guān)系的斜率。
    
                            
                            
    


    
                            

                            
    【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
    
                                
    本專利技術(shù)半導(dǎo)體測試，具體涉及一種在四探針機臺上根據(jù)探針力確定凸輪旋轉(zhuǎn)度數(shù)的方法。

    技術(shù)介紹
    1、四探針測試技術(shù)得益于其能得到較為準確的材料電阻率和方塊電阻，被廣泛應(yīng)用于監(jiān)控半導(dǎo)體集成電路工藝過程中片上薄膜生長的質(zhì)量或物理特性。但由于部分材料的方塊電阻對外部施加的壓力極為敏感，如果壓力過大會造成樣品的損壞，而壓力過小會造成測量結(jié)果的偏差。
    2、因此，如何對四探針施加在待測樣品上的壓力進行精確控制，是本領(lǐng)域技術(shù)人員關(guān)注的焦點。

    技術(shù)實現(xiàn)思路
    1、本專利技術(shù)的目的是提出一種在四探針機臺上根據(jù)探針力確定凸輪旋轉(zhuǎn)度數(shù)的方法，可以對四探針施加在待測樣品上的壓力進行精確控制。
    2、為了實現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)提供了一種在四探針機臺上根據(jù)探針力確定凸輪旋轉(zhuǎn)度數(shù)的方法，包括：
    3、獲取施加在樣品上的探針力和探針針尖與止動墊片之間距離的函數(shù)關(guān)系，根據(jù)所述函數(shù)關(guān)系得到kp和bp；
    4、獲取凸輪旋轉(zhuǎn)角度和探針高度之間的函數(shù)關(guān)系，得到kc；
    5、在機臺上測試下針曲線，得到θ0；
    6、根據(jù)以下公式，計算得到θt；
    7、
    8、ft表示目標探針力，θt表示目標探針力下對應(yīng)的凸輪度數(shù)，kp和bp表示探針力與針尖和止動墊片間位置關(guān)系的斜率和截距，θ0表示止動墊片剛接觸上樣品時的凸輪度數(shù)，kc表示探頭所在高度與凸輪旋轉(zhuǎn)角度關(guān)系的斜率。
    9、可選方案中，根據(jù)以下函數(shù)關(guān)系得到kp和bp，
    10、fp＝kpxpp+bp；
    11、其中，fp表示探針力(探針對樣品施加的)，xpp表示針尖和止動墊片之間的距離，針尖低于止動墊片時，xpp為負數(shù)。
    12、可選方案中，根據(jù)以下函數(shù)關(guān)系獲得kc
    13、z＝kcθ+bc；
    14、z表示探頭與樣品之間的距離，bc表示探頭所在高度與凸輪旋轉(zhuǎn)角度關(guān)系截距；θ表示凸輪旋轉(zhuǎn)角度。
    15、可選方案中，在機臺上測試下針曲線，得到θ0的方法包括：
    16、將探頭裝在夾具上，探頭和凸輪間通過機械機構(gòu)連接，將樣品放置于載片臺上，通過軟件控制凸輪轉(zhuǎn)動的角度，從而帶動探頭下降，通過位移傳感器讀取止動墊片的高度位置，得到探頭下降高度隨著凸輪旋轉(zhuǎn)角度的變化曲線；
    17、隨著凸輪轉(zhuǎn)動，探針下降，直到止動墊片與樣品接觸，此時再轉(zhuǎn)動凸輪探頭不會再下降，讀取探頭高度靜止不變時的第一個點所對應(yīng)的凸輪轉(zhuǎn)動度數(shù)，作為θ0。
    18、本專利技術(shù)的有益效果在于：
    19、本專利技術(shù)通過測試獲得kp和bp、kc、θ0，根據(jù)公式計算得到θt。
    20、
    21、測試時，固定凸輪度數(shù)在這個位置進行測試。
    本文檔來自技高網(wǎng)...
                            
    
                            
    【技術(shù)保護點】
    
                                
    1.一種在四探針機臺上根據(jù)探針力確定凸輪旋轉(zhuǎn)度數(shù)的方法，其特征在于，包括：
    2.如權(quán)利要求1所述的在四探針機臺上根據(jù)探針力確定凸輪旋轉(zhuǎn)度數(shù)的方法，其特征在于，根據(jù)以下函數(shù)關(guān)系得到kp和bp，
    3.如權(quán)利要求1所述的在四探針機臺上根據(jù)探針力確定凸輪旋轉(zhuǎn)度數(shù)的方法，其特征在于，根據(jù)以下函數(shù)關(guān)系獲得kc，
    4.如權(quán)利要求1所述的在四探針機臺上根據(jù)探針力確定凸輪旋轉(zhuǎn)度數(shù)的方法，其特征在于，在機臺上測試下針曲線，得到θ0的方法包括：
    
                            
    
                            
    【技術(shù)特征摘要】
    
                                
    1.一種在四探針機臺上根據(jù)探針力確定凸輪旋轉(zhuǎn)度數(shù)的方法，其特征在于，包括：
    2.如權(quán)利要求1所述的在四探針機臺上根據(jù)探針力確定凸輪旋轉(zhuǎn)度數(shù)的方法，其特征在于，根據(jù)以下函數(shù)關(guān)系得到kp和bp，
    3.如權(quán)利要求1...
                            
    
                            
    【專利技術(shù)屬性】
    
                                技術(shù)研發(fā)人員：盧琪，潘貝貝，劉相華，郭俊超，
    
        申請(專利權(quán))人：麥嶠里上海半導(dǎo)體科技有限責任公司，
    
        類型：發(fā)明
    
        國別省市：
    
                            
    
                            
                        
    
                    
    
                    
                    
                     
                
    
                
                
    
                    
    
                        網(wǎng)友詢問留言
                        已有0條評論
                    
    
                    
    
                        
    
                            
      
                                
    • 
                                
						

      還沒有人留言評論。發(fā)表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。
      


                              
                            
    
                            
    
                                 1 

                            
    
                        
    
                        
                        
    
                            
    
                              
                            
    
                            
                        
    
                    
    
                
    
            
    
              
             
          
    
      
    
    
    

    
    
    




  


主站蜘蛛池模板：
无码人妻丰满熟妇区毛片18|
亚洲国产精品成人AV无码久久综合影院|
中文字幕无码精品亚洲资源网|
亚洲国产a∨无码中文777
|
久久亚洲AV无码精品色午夜|
蜜桃臀无码内射一区二区三区|
影音先锋无码a∨男人资源站|
亚洲av无码专区在线播放|
亚洲最大中文字幕无码网站|
亚洲中文字幕无码永久在线|
无码日本电影一区二区网站|
一本加勒比hezyo无码专区|
亚洲av永久无码嘿嘿嘿|
久久国产精品无码网站|
在线无码视频观看草草视频|
乱色精品无码一区二区国产盗|
亚洲无码黄色网址|
亚洲AV无码一区二区三区牛牛|
永久免费av无码入口国语片|
白嫩无码人妻丰满熟妇啪啪区百度|
久久亚洲AV无码精品色午夜麻豆|
亚洲av中文无码乱人伦在线播放|
亚洲区日韩区无码区|
国产成人无码A区精油按摩|
在线观看成人无码中文av天堂|
午夜人性色福利无码视频在线观看|
国产网红主播无码精品|
曰韩无码无遮挡A级毛片|
亚洲av无码兔费综合|
亚洲精品9999久久久久无码|
精品无码人妻一区二区免费蜜桃|
亚洲AV无码成人精品区在线观看|
中文字幕久久精品无码|
久久99久久无码毛片一区二区|
人妻无码久久久久久久久久久|
国产精品无码翘臀在线观看|
手机在线观看?v无码片|
亚洲精品一级无码鲁丝片|
中文无码vs无码人妻|
亚洲日韩中文无码久久|
精品多人p群无码|