【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于單晶爐，具體的說是一種單晶爐拉晶裝置。
技術介紹
1、隨著半導體行業和光伏行業的發展，對單晶硅提出了更大的市場需求，目前直拉法生長單晶硅是目前生產單晶硅最廣泛的應用技術，直拉法生長單晶硅時，單晶爐為核心生產設備，單晶爐包括加熱器、坩堝和提拉頭，通過加熱器對放在坩堝中的硅料加熱至熔體，提拉頭提拉頭將籽晶浸入硅熔體中，在籽晶下方生長并提拉單晶棒。
2、公開號為cn114232071b的一項專利公開了一種單晶爐拉晶裝置，通過工藝進行第一次放肩，在晶棒的尺寸大于夾持空間之后再通過工藝將晶棒縮頸從而得到夾持部，在驅動下提升外軸和托板，從而將晶棒的夾持部被夾持在每個夾塊上，之后再通過工藝要求對晶棒進行第二次放肩，并以預設的速度進行拉晶，從而使得拉制出的晶棒的重量作用于托板上，減小細晶的受力，減小細晶由于負載過重而導致斷裂的可能。解決了現有技術中在大直徑晶棒生長過程中細晶容易斷裂的技術問題；達到減小細晶斷裂的可能的技術效果。
3、上述現有技術中，在拉晶時，一般使用石墨夾頭夾持籽晶，由籽晶引出細晶，隨后經過放肩收肩形成圓柱狀的粗晶棒，在大直徑晶棒拉出過程中，需要驅動石墨夾頭帶動籽晶不斷向上移動，拉出后的粗晶棒的全部重量都施加在細晶上，由于籽晶和細晶直徑較為細小，容易在大負載、高晶轉過程中出現折斷，導致晶棒掉落，發生生產安全事故。
4、為此，本專利技術提供一種單晶爐拉晶裝置。
技術實現思路
1、為了彌補現有技術的不足，解決
技術介紹
中所提出的至少一個技
2、本專利技術解決其技術問題所采用的技術方案是：本專利技術所述的一種單晶爐拉晶裝置，包括圓筒，所述圓筒下端轉動連接有兩個弧形板，所述圓筒內滑動設置有第一圓柱桿，所述第一圓柱桿下端通過第三圓板固接有圓柱塊，所述圓柱塊下端安裝有石墨夾頭，所述第三圓板下端設有夾持組件，所述夾持組件包括第三圓板下端四周通過伸縮組件連接的夾持板，兩個所述弧形板下端放置有單晶加熱爐。
3、優選的，所述圓筒內部滑動連接有第二圓板，所述第二圓板下端轉動連接有第一圓板，所述第一圓板下端與第一圓柱桿固接。
4、優選的，所述伸縮組件包括與第三圓板固接的第二圓柱桿，所述第二圓柱桿下端內部分別滑動連接有第三圓柱桿，所述第三圓柱桿下端分別與夾持板固接。
5、優選的，所述第三圓板下端轉動連接有第四圓板，所述第四圓板邊緣分別開設有若干弧形孔，所述第二圓柱桿分別能夠在弧形孔內滑動。
6、優選的，所述圓筒下端固接有第一圓環，所述第一圓環一側固接有第一固定塊，兩個所述弧形板下端設有第三圓環，所述第三圓環一側固接有第二固定塊，所述第一固定塊與第二固定塊之間共同固接有第四圓柱桿，兩個所述弧形板分別能夠在第四圓柱桿外側轉動。
7、優選的，所述圓柱塊外側滑動連接有第五圓板，所述第五圓板邊緣分別設有腰形孔，所述第二圓柱桿分別能夠在腰形孔內滑動。
8、優選的，所述第三圓板與第五圓板外分別側轉動連接有滑動組件，所述滑動組件包括所述第三圓板與第五圓板外分別側轉動連接的第二圓環，所述第二圓環邊緣四周分別固接有第一矩形塊，所述第一矩形塊中部轉動連接有滾珠。
9、優選的，所述圓筒一側通過連接塊滑動連接有圓柱立柱，所述圓柱立柱與u形立柱中部固定連接，所述圓柱立柱下端固接有第一齒輪，所述第一齒輪嚙合有第二齒輪，所述第二齒輪上端固接有電機的輸出端，所述電機通過電機座與u形立柱一側固接。
10、優選的，所述弧形板中部分別設有矩形孔，所述矩形孔內分別滑動設置有夾持塊。
11、優選的，所述第四圓柱桿中部固接有第三u形塊，所述第三u形塊中部固接有第五圓柱桿，所述夾持塊一側兩端分別固接有電動伸縮桿的輸出端，所述電動伸縮桿遠離夾持塊一側共同固接有第二u形塊，所述第二u形塊兩端分別轉動連接有連桿，所述連桿分別通過扭簧與第五圓柱桿轉動連接。
12、本專利技術的有益效果如下：
13、1.本專利技術所述的一種單晶爐拉晶裝置，通過驅動石墨夾頭帶動籽晶接觸單晶硅溶液液面使下端形成細晶，使細晶下端經過放肩及收肩等步驟形成粗晶棒，隨后驅動伸縮組件帶動夾持板向下移動，使夾持板移動至粗晶棒上端四周，隨后驅動夾持板同時向靠近粗晶棒側壁移動并夾持，通過驅動夾持板將粗晶棒端部夾持并跟隨細晶同步向上移動，減少細晶的受力，減少了因為細晶載重過大導致細晶斷裂的可能，減少拉晶過程中的安全隱患。
14、2.本專利技術所述的一種單晶爐拉晶裝置，由于連桿通過扭簧與第五圓柱桿連接，使兩側的連桿始終帶動第二u形塊向靠近弧形板一側轉動，隨后通過驅動電動伸縮桿伸長帶動夾持塊同時向粗晶棒兩側靠近，直至抵住粗晶棒兩側，防止驅動夾持板帶動中部的粗晶棒向單晶加熱爐一側轉動時，造成中部的粗晶棒晃動發生磕碰。
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1.一種單晶爐拉晶裝置，包括圓筒（1），所述圓筒（1）下端轉動連接有兩個弧形板（13），所述圓筒（1）內滑動設置有第一圓柱桿（14），所述第一圓柱桿（14）下端通過第三圓板（143）固接有圓柱塊（144），所述圓柱塊（144）下端安裝有石墨夾頭（1441），所述第三圓板（143）下端設有夾持組件，其特征在于：所述夾持組件包括第三圓板（143）下端四周通過伸縮組件連接的夾持板（147），兩個所述弧形板（13）下端放置有單晶加熱爐（3）。
2.根據權利要求1所述的一種單晶爐拉晶裝置，其特征在于：所述圓筒（1）內部滑動連接有第二圓板（142），所述第二圓板（142）下端轉動連接有第一圓板（141），所述第一圓板（141）下端與第一圓柱桿（14）固接。
3.根據權利要求1所述的一種單晶爐拉晶裝置，其特征在于：所述伸縮組件包括與第三圓板（143）固接的第二圓柱桿（1452），所述第二圓柱桿（1452）下端內部分別滑動連接有第三圓柱桿（1453），所述第三圓柱桿（1453）下端分別與夾持板（147）固接。
4.根據權利要求3所述的一種單晶爐拉晶裝置，其特征
5.根據權利要求1所述的一種單晶爐拉晶裝置，其特征在于：所述圓筒（1）下端固接有第一圓環（12），所述第一圓環（12）一側固接有第一固定塊（121），兩個所述弧形板（13）下端設有第三圓環（15），所述第三圓環（15）一側固接有第二固定塊（151），所述第一固定塊（121）與第二固定塊（151）之間共同固接有第四圓柱桿（16），兩個所述弧形板（13）分別能夠在第四圓柱桿（16）外側轉動。
6.根據權利要求4所述的一種單晶爐拉晶裝置，其特征在于：所述圓柱塊（144）外側滑動連接有第五圓板（146），所述第五圓板（146）邊緣分別設有腰形孔（1461），所述第二圓柱桿（1452）分別能夠在腰形孔（1461）內滑動。
7.根據權利要求6所述的一種單晶爐拉晶裝置，其特征在于：所述第三圓板（143）與第五圓板（146）外分別側轉動連接有滑動組件，所述滑動組件包括所述第三圓板（143）與第五圓板（146）外分別側轉動連接的第二圓環（1431），所述第二圓環（1431）邊緣四周分別固接有第一矩形塊（1432），所述第一矩形塊（1432）中部轉動連接有滾珠（1433）。
8.根據權利要求1所述的一種單晶爐拉晶裝置，其特征在于：所述圓筒（1）一側通過連接塊（21）滑動連接有圓柱立柱（2），所述圓柱立柱（2）與U形立柱（22）中部固定連接，所述圓柱立柱（2）下端固接有第一齒輪（23），所述第一齒輪（23）嚙合有第二齒輪（24），所述第二齒輪（24）上端固接有電機（241）的輸出端，所述電機（241）通過電機座與U形立柱（22）一側固接。
9.根據權利要求5所述的一種單晶爐拉晶裝置，其特征在于：所述弧形板（13）中部分別設有矩形孔（131），所述矩形孔（131）內分別滑動設置有夾持塊（17）。
10.根據權利要求9所述的一種單晶爐拉晶裝置，其特征在于：所述第四圓柱桿（16）中部固接有第三U形塊（161），所述第三U形塊（161）中部固接有第五圓柱桿（162），所述夾持塊（17）一側兩端分別固接有電動伸縮桿（171）的輸出端，所述電動伸縮桿（171）遠離夾持塊（17）一側共同固接有第二U形塊（172），所述第二U形塊（172）兩端分別轉動連接有連桿（173），所述連桿（173）分別通過扭簧與第五圓柱桿（162）轉動連接。
...【技術特征摘要】
1.一種單晶爐拉晶裝置，包括圓筒（1），所述圓筒（1）下端轉動連接有兩個弧形板（13），所述圓筒（1）內滑動設置有第一圓柱桿（14），所述第一圓柱桿（14）下端通過第三圓板（143）固接有圓柱塊（144），所述圓柱塊（144）下端安裝有石墨夾頭（1441），所述第三圓板（143）下端設有夾持組件，其特征在于：所述夾持組件包括第三圓板（143）下端四周通過伸縮組件連接的夾持板（147），兩個所述弧形板（13）下端放置有單晶加熱爐（3）。
2.根據權利要求1所述的一種單晶爐拉晶裝置，其特征在于：所述圓筒（1）內部滑動連接有第二圓板（142），所述第二圓板（142）下端轉動連接有第一圓板（141），所述第一圓板（141）下端與第一圓柱桿（14）固接。
3.根據權利要求1所述的一種單晶爐拉晶裝置，其特征在于：所述伸縮組件包括與第三圓板（143）固接的第二圓柱桿（1452），所述第二圓柱桿（1452）下端內部分別滑動連接有第三圓柱桿（1453），所述第三圓柱桿（1453）下端分別與夾持板（147）固接。
4.根據權利要求3所述的一種單晶爐拉晶裝置，其特征在于：所述第三圓板（143）下端轉動連接有第四圓板（145），所述第四圓板（145）邊緣分別開設有若干弧形孔（1451），所述第二圓柱桿（1452）分別能夠在弧形孔（1451）內滑動。
5.根據權利要求1所述的一種單晶爐拉晶裝置，其特征在于：所述圓筒（1）下端固接有第一圓環（12），所述第一圓環（12）一側固接有第一固定塊（121），兩個所述弧形板（13）下端設有第三圓環（15），所述第三圓環（15）一側固接有第二固定塊（151），所述第一固定塊（121）與第二固定塊（151）之間共同固接有第四圓柱桿（16），兩個所述弧形板（13）分別能夠在第四圓柱桿（16）外側轉動。
<...【專利技術屬性】
技術研發人員：劉陳亞，高樹良，張懌，
申請(專利權)人：連城凱克斯科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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