【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本公開涉及一種信息處理方法、計算機程序以及信息處理裝置。
技術介紹
1、在專利文獻1中，提出了一種累積從基板處理裝置收集的各種信息并且利用所累積的數據來顯示設置于半導體制造工廠的各基板處理裝置的節能化所需要的信息的綜合管理系統。該綜合管理系統累積包含基板處理裝置的電力消耗信息、氣體消耗量信息或者運行信息的各種信息，從所累積的信息中獲取滿足規定的條件的信息，計算并顯示被基板處理裝置消耗的電力消耗量、非活性氣體消耗量以及基板處理裝置的裝置運行率中的至少任一者。
2、現有技術文獻
3、專利文獻
4、專利文獻1：國際公開第2014/050808號
技術實現思路
1、專利技術要解決的問題
2、本公開提供一種能夠期待估計半導體制造裝置的動作狀態等的信息處理方法、計算機程序以及信息處理裝置。
3、用于解決問題的方案
4、一個實施方式所涉及的信息處理方法包括以下處理：在使設置有多個傳感器的第一半導體制造裝置運轉了時，獲取所述第一半導體制造裝置的運轉數據和所述傳感器所輸出的傳感器數據；基于所獲取到的所述運轉數據和所述傳感器數據，通過機器學習來生成根據所述運轉數據的輸入而輸出所述傳感器數據的學習模型；以及將所生成的所述學習模型配置于與所述第一半導體制造裝置不同的第二半導體制造裝置。
5、專利技術的效果
6、根據本公開，能夠期待估計半導體制造裝置的動作狀態等。
【技術保護點】
1.一種信息處理方法，包括以下處理：
2.根據權利要求1所述的信息處理方法，其中，
3.根據權利要求1所述的信息處理方法，其中，
4.根據權利要求1所述的信息處理方法，其中，
5.根據權利要求1所述的信息處理方法，其中，
6.根據權利要求1所述的信息處理方法，其中，
7.一種計算機程序，使計算機執行以下處理：
8.一種計算機程序，使計算機執行以下處理：
9.根據權利要求7所述的計算機程序，其中，
10.根據權利要求9所述的計算機程序，其中，
11.根據權利要求9所述的計算機程序，其中，
12.根據權利要求8所述的計算機程序，其中，
13.根據權利要求8所述的計算機程序，其中，
14.根據權利要求8所述的計算機程序，其中，
15.根據權利要求8所述的計算機程序，其中，
16.一種信息處理裝置，具備：
17.一種信息處理裝置，具備：
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】
1.一種信息處理方法，包括以下處理：
2.根據權利要求1所述的信息處理方法，其中，
3.根據權利要求1所述的信息處理方法，其中，
4.根據權利要求1所述的信息處理方法，其中，
5.根據權利要求1所述的信息處理方法，其中，
6.根據權利要求1所述的信息處理方法，其中，
7.一種計算機程序，使計算機執行以下處理：
8.一種計算機程序，使計算機執行以下處理：
9.根據權利要...
【專利技術屬性】
技術研發人員：高良穰二，吉田晃一，賽松，舟久保隆男，紀野國祐太，
申請(專利權)人：東京毅力科創株式會社，
類型：發明
國別省市：
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