【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本公開涉及半導(dǎo)體加工，尤其涉及一種輔助加工碳化硅晶體的治具。
技術(shù)介紹
1、碳化硅生產(chǎn)工藝復(fù)雜，需要經(jīng)過多種工序，在進(jìn)行碳化硅粗加工過程中，需要使用多種加工設(shè)備，其所需要的治具不同，導(dǎo)致晶體在加工過程中需要對碳化硅進(jìn)行多次裝或卸的工作，其過程中需要使用蠟沾工藝，需要加熱治具后再冷卻，從而固定碳化硅，取下碳化硅時再對治具進(jìn)行加熱，使得碳化硅的加工過程費時費力，降低了碳化硅的加工效率。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本公開所要解決的一個技術(shù)問題是提供一種輔助加工碳化硅晶體的治具，以解決碳化硅在加工過程中，需要多次拆卸治具的費時費力，降低加工效率的問題。
2、為解決上述技術(shù)問題，本公開實施例提供一種輔助加工碳化硅晶體的治具，包括：外圓治具，外圓治具用于放置有碳化硅晶體；治具底座，治具底座用于安裝外圓治具；外圓治具與治具底座之間設(shè)置有鎖緊機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)。
3、在一些實施例中，治具底座設(shè)有用于安裝外圓治具的安裝槽，外圓治具至少部分位于安裝槽內(nèi)。
4、在一些實施例中，定位機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)柱，導(dǎo)柱設(shè)置于外圓治具靠近安裝槽底部一側(cè)，安裝槽的底部設(shè)置有與導(dǎo)柱相配合的導(dǎo)向槽。
5、在一些實施例中，定位機(jī)構(gòu)包括定位銷，定位銷設(shè)置于外圓治具和安裝槽中一者，另一者設(shè)置有與定位銷相配合的定位銷槽，以限制外圓治具和安裝槽之間繞導(dǎo)柱中心軸線的轉(zhuǎn)動自由度。
6、在一些實施例中，治具底座為圓柱型件，外圓治具為圓柱型件，外圓治具、治具底座和導(dǎo)柱同軸設(shè)置。
7、在一些
8、在一些實施例中，多個溝槽環(huán)形排布在安裝槽的周壁上。
9、在一些實施例中，鎖緊機(jī)構(gòu)包括螺絲，安裝槽的側(cè)壁上形成有螺紋孔，螺絲穿過螺紋孔抵接于外圓治具的周壁。
10、在一些實施例中，外圓治具周壁上對應(yīng)螺紋孔部位設(shè)置有沉孔，螺絲穿過螺紋孔至少部分位于沉孔內(nèi)。
11、在一些實施例中，多個螺紋孔于治具底座周壁環(huán)形排布，多個沉孔于外圓治具周壁環(huán)形排布。
12、通過上述技術(shù)方案，本公開提供一種輔助加工碳化硅晶體的治具，包括外圓治具，外圓治具用于放置碳化硅晶體，外圓治具安裝在治具底座上，外圓治具與治具底座之間設(shè)置有鎖緊機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)，在對碳化硅晶體加工時，對外圓治具進(jìn)行加熱用蠟將碳化硅晶體固定，對外圓治具和治具底座進(jìn)行裝配后加工，加工完成后取下碳化硅晶體，加工過程中無需裝卸碳化硅晶體，有效提升了碳化硅晶體的加工效率。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點】
1.一種輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，所述治具底座(2)設(shè)有用于安裝所述外圓治具(1)的安裝槽(7)，所述外圓治具(1)至少部分位于所述安裝槽(7)內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，所述定位機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)柱(3)，所述導(dǎo)柱(3)設(shè)置于所述外圓治具(1)靠近所述安裝槽(7)底部一側(cè)，所述安裝槽(7)的底部設(shè)置有與所述導(dǎo)柱(3)相配合的導(dǎo)向槽(4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，所述定位機(jī)構(gòu)包括定位銷(5)，所述定位銷(5)設(shè)置于所述外圓治具(1)和所述安裝槽(7)中一者，另一者設(shè)置有與所述定位銷(5)相配合的定位銷槽(6)，以限制所述外圓治具(1)和所述安裝槽(7)之間繞所述導(dǎo)柱(3)中心軸線的轉(zhuǎn)動自由度。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，所述治具底座(2)為圓柱型件，所述外圓治具(1)為圓柱型件，所述外圓治具(1)、所述治具底座(2)和所述導(dǎo)柱(3)同軸設(shè)置。p>
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，所述安裝槽(7)的側(cè)壁設(shè)置有溝槽(8)，所述溝槽(8)底部低于所述安裝槽(7)的底部表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，多個所述溝槽(8)環(huán)形排布在所述安裝槽(7)的周壁上。
8.根據(jù)權(quán)利要求2-7中任一項所述的輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，所述鎖緊機(jī)構(gòu)包括螺絲，所述安裝槽(7)的側(cè)壁上形成有螺紋孔(9)，所述螺絲穿過所述螺紋孔(9)抵接于所述外圓治具(1)的周壁。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，外圓治具(1)周壁上對應(yīng)所述螺紋孔(9)部位設(shè)置有沉孔(10)，所述螺絲穿過所述螺紋孔(9)至少部分位于所述沉孔(10)內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，多個所述螺紋孔(9)于所述治具底座(2)周壁環(huán)形排布，多個所述沉孔(10)于所述外圓治具(1)周壁環(huán)形排布。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，所述治具底座(2)設(shè)有用于安裝所述外圓治具(1)的安裝槽(7)，所述外圓治具(1)至少部分位于所述安裝槽(7)內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，所述定位機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)柱(3)，所述導(dǎo)柱(3)設(shè)置于所述外圓治具(1)靠近所述安裝槽(7)底部一側(cè)，所述安裝槽(7)的底部設(shè)置有與所述導(dǎo)柱(3)相配合的導(dǎo)向槽(4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，所述定位機(jī)構(gòu)包括定位銷(5)，所述定位銷(5)設(shè)置于所述外圓治具(1)和所述安裝槽(7)中一者，另一者設(shè)置有與所述定位銷(5)相配合的定位銷槽(6)，以限制所述外圓治具(1)和所述安裝槽(7)之間繞所述導(dǎo)柱(3)中心軸線的轉(zhuǎn)動自由度。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的輔助加工碳化硅晶體的治具，其特征在于，所述治具底座(2)為圓柱型件，所述外圓治具(1)為圓柱型件，所述外圓治具(1)...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：張瑋，翟虎，林宏達(dá)，孫金梅，
申請(專利權(quán))人：浙江兆晶新材料科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發(fā)表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。